- •Конспект по предмету
- •Раздел 1 Технологический процесс обработки изделий микроэлектроники
- •Устройство для выращивания монокристаллического слитка вытягиванием из расплава:
- •Формирование слоев с заданными свойствами
- •Процессы формирования рисунка методом литографии
- •Формирование рисунка маски из резиста:
- •Последовательность получения оксидной маски на пластине:
- •Последовательность операций при формировании рисунка поликремния:
- •Последовательность получения рисунка алюминиевой коммутации, контактов и затвора в моп-имс:
- •Сборка и монтаж имс
- •Типы и основные характеристики подложек
- •Конструктивно-технологические особенности биполярных имс
- •Структуры биполярной кремниевой имс (а) и интегрального транзистора (б) (все размеры указаны в микрометрах):
- •Структуры конденсаторов для биполярных имс:
- •Электрическая схема (а) и топология (б) логического элемента:
- •1, 5, 7, 8 — Входы; 2 —наиболее положительный потенциал; 3 — выход; 4 — земля
- •Влияние конструктивно-технологических факторов на электрические параметры имс
- •Основные этапы технологии биполярных имс
- •Технологический процесс формирования биполярных полупроводниковых структур
- •Шаблон, используемый для создания области скрытого слоя коллектора, (а) и набор фотошаблонов для фотолитографии (б):
- •Основные конструктивно-технологические варианты мпд-имс
- •Конструкция мдп-транзистора имс:
- •Структура моп-транзистора, используемая для расчета:
- •Влияние физико-технологических факторов на параметры моп-имс
- •Базовый технологический процесс получения моп-имс
- •Технология моп-имс с кремниевым затвором
- •Основные этапы изготовления моп-имс с кремниевыми затворами:
- •Раздел2 Устройство, принцип работы, наладка и регулировки узлов и механизмов специального технологического оборудования
- •Классификация оборудования.
- •Особенности техники безопасности в п/п производстве.
- •2.2 Оборудование для создания и контроля чистых сред. Наладка и регулировка
- •Пылезащитные камеры с вертикальным ламинарным потоком воздуха для выполнения операций без выделения продуктов химических реакций (а) и с выделением их (б):
- •Приборы для измерения параметров атмосферы производственных помещений
- •Гигрометры: а - волосяной, б - пленочный; 1 - груз, 2 -волос, 3 - стрелка, 4 - неравномерная шкала, 5 - пленочная мембрана
- •Анализатор запыленности:
- •Установки для очистки газов и воды
- •Приборы для измерения давления и расхода
- •Пружинный манометр: 1 - стрелка, 2 - триб, 3, 5 – спиральная и трубчатая пружины, 4 - сектор, 6 - поводок, 7 - держатель, 8 - штуцер
- •Термопарный манометрический преобразователь: 1, 2 - стеклянные трубки и баллон. 3 - платиновый подогреватель, 4 - хромель-копелевая термопара, .5 - цоколи 6 - штырьки
- •Ионизационный манометрический преобразователь:
- •Структурная схема ионизационно-термопарного вакуумметра вит-3:
- •2.3 «Оборудование для механической обработки полупроводниковых материалов»
- •Ориентация с помощью метода световых фигур.
- •Установка для световой ориентации монокристаллов:
- •Оптическая система установки световой ориентации монокристаллов:
- •Резка слитков на пластины.
- •«Алмаз 6м»
- •Станок резки слитков "Алмаз-6м":
- •Шпиндель станка "Алмаз-6м":
- •Барабан станка "Алмаз-6м":
- •Привод подачи слитка станка "Алмаз-6м":
- •Станция очистки и перекачки смазочно-охлаждающей жидкости станка "Алмаз-6м":
- •«Шлифовальное оборудование»
- •1 Рельефный слой, 2 трещенковый слой, 3 дислокационный слой, 4 напряженный слой
- •Планетарный механизм для двухстороннего шлифования пластин
- •Кинематическая схема станка двухстороннего шлифования
- •Принципиальная схема автомата снятия фасок
- •Принципиальная схема полуавтомата приклеивания пластин к блоку
- •2.4 Оборудование для химобработки
- •Автомат гидромеханической отмывки
- •Кинематическая схема агрегата (трека) автомата гидромеханической отмывки:
- •Пневмогидравлическая схема установки химической обработки: 1, 4 - ванны, 2 - подогреватель, 3 - насос-эжектор, 5 - поддон, 6 - рассеиватель, 7 - вентили, 8 - электропневматический клапан
- •2.5 Термическое оборудование
- •Схемы реакторов для газовой эпитаксии
- •Реактор установки унэс-2п-ка
- •Система газораспределения эпитаксиальной установки
- •Скруббер установки эпитаксиального наращивания унэс-101
- •Оборудование для диффузии и окисления
- •Камеры загрузки-выгрузки с ламинарным потоком воздуха термической диффузионной установки
- •Нагревательная камера термической диффузионной установки
- •Установка термической диффузии адс-6-100
- •Нагреватель диффузионной установки
- •Функциональная схема автоматической системы регулирования температуры термической диффузионной установки
- •Устройство загрузки-выгрузки подложек в реакционную трубу
- •Программатор время - команда
- •1.2. Основные технические данные.
- •1.3. Устройство пвк
- •1.4. Работа пвк
- •2. Меры безопасности
- •Время-параметр
- •1.2. Основные технические требования
- •1.3. Устройство
- •1.4. Работа
- •2.6 Оборудование для элионной обработки
- •Установки для нанесения тонких пленок в вакууме
- •Метод термического испарения
- •Метод распыления материалов ионной бомбардировкой
- •Испарители
- •Способы ионного распыления для осаждения тонких пленок
- •2.7 Оборудование для контактной фотопечати
- •Компоновочная схема эм-576
- •Блочная схема эм-576
- •Механизм выравнивания поверхности подложки и фотошаблона
- •2.8 Оборудование для проекционной фотопечати
- •Привод подъема стола.
- •Система совмещения.
- •Система автофокусировки.
- •2.9 Оборудование для нанесения и проявления фоторезиста
- •Устройство нанесения фоторезиста:
- •2.10 Сборочное оборудование
- •Установка резки алмазными кругами:
- •Узел крепления алмазного круга:
- •Установка монтажа кристаллов эм-438а
- •Кинематическая схема установки эм-438а
- •Автомат присоединения кристаллов эм-4085
- •Назначение микроскопа мт-2
- •Технические данные
- •Устройство и работа микроскопа
- •Устройство и работа составных частей микроскопа
- •Оборудование для разварки межсоединений эм-4020б
- •Последовательность монтажа проволочных перемычек
- •Механизм микросварки
- •Механизм микросварки
- •Координатный стол микросварочной установки проверка технического coctояhия
- •Возможные неисправности и методы их устранения
- •Оборудование для герметизации интегральных микросхем
- •Способы герметизации металлостеклянных и металлокерамических корпусов ис
- •Функциональная схема герметизации
- •Установка угп-50 для герметизации интегральных микросхем пластмассой
- •Раздел 3 Устройство, принцип работы наладка, регулировка специального технологического оборудования
- •Тема 1. Износ деталей машин.
- •Тема 2. Система планово-предупредительного ремонта (ппр).
- •Виды ппр.
- •Периодичность ремонта и нормы простоя оборудования при ремонте.
- •Организация ремонтного обслуживания цехах, участках и на предприятии.
- •Раздел 4 Ремонт специального технологического оборудования Основы технологии ремонта то
- •Алгоритм диагностики схемы синхронизации
- •Раздел 5 Контрольно-измерительное и испытательное оборудование
- •Контактирующее устройство зондовых установок эм-6010:
- •Устройство зондовой установки эм-6010
Приборы для измерения давления и расхода
Для измерения давления газов широко применяют U-образные манометры (напоромеры), манометры других типов, вакуумметры и др.
Напоромеры (рис. ниже), обычно используемые для измерения давления воздуха выше атмосферного, неагрессивных газов до 0,1 МПа и вакуума до 0,101 МПа, представляют собой открытую с двух сторон стеклянную трубку, изогнутую по форме буквы U и до половины заполненную рабочей жидкостью, уровни которой можно отсчитывать по специальной шкале.
U-образный манометр:
1 - стеклянная трубка, 2 - шкала, 3 - рабочая жидкость
Измеряемое давление (разрежение или разность давлений) уравновешивается и определяется столбом h рабочей жидкости, представляющим собой сумму столбов h1 и h2 в обоих коленах трубки. Для измерения давления выше атмосферного правое колено трубки соединяют с газовой средой объекта, а левое оставляют открытым, сообщающимся с атмосферой. Давление ниже атмосферного измеряют, подключая колена трубки наоборот, т.е. левое соединяют с газовой средой объекта, а правое оставляют открытым. Разность давлений измеряют, подключая правое колено к большему давлению, а левое — к меньшему.
Рабочей жидкостью U-образных манометров может быть вода (внутренний диаметр трубки при этом должен быть не менее 8—10 мм, так как иначе нельзя точно определить уровень жидкости), спирт, ртуть. Обычно измеренное такими приборами давление выражают в миллиметрах столба рабочей жидкости, а для перевода в паскали пользуются следующей формулой: p=hg(p - рс), где g - ускорение свободного падения, м/с2; h - разность уровней, м; р — плотность рабочей жидкости, кг/м3; рс — плотность среды над рабочей жидкостью, кг/м3.
Точность измерения давления U-образным манометром при строго вертикальной его установке составляет ± 2 мм столба рабочей жидкости.
Манометры, мановакуумметры, вакуумметры-приборы с упругими чувствительными элементами (сильфонами и одновитковыми трубчатыми пружинами) - имеют одинаковое устройство.
Технические манометры, мановакуумметры, вакуумметры выпускаются классов точности 1; 1,5; 2,5 и 4 и могут иметь трубчатые пружины эллиптического и плоскоовального сечения или с эксцентриковым каналом. Тонкостенные пружины эллиптического сечения (пружины Бурдона) имеют приборы для измерения как низкого (до 0,1 МПа), так и высокого (до 6 МПа) давления, толстостенные пружины овального сечения - приборы для измерения высокого давления (до 20-160 МПа), а пружины с эксцентриковым каналом — приборы для измерения сверхвысоких давлений (1000 МПа и выше).
Рассмотрим показывающий манометр с одновитковой трубчатой пружиной Бурдона (рис. ниже).
Пружинный манометр: 1 - стрелка, 2 - триб, 3, 5 – спиральная и трубчатая пружины, 4 - сектор, 6 - поводок, 7 - держатель, 8 - штуцер
Один конец этой пружины 5 закреплен к корпусу прибора держателем 7, имеющим штуцер 8 с шестигранником под ключ и резьбу для ввертывания в магистраль, в которой необходимо измерить давление. Другой свободный конец трубчатой пружины, закрытый пробкой с серьгой и герметично запаянный, соединен поводком 6 с сектором 4, который своим зубчатым венцом находится в зацеплении маленькой шестеренкой (трибом) 2. На оси триба 2 закреплена стрелка 1. Спиральная пружина 3 прижимает зубья триба к зубьям сектора и выводит эту систему из крайних положений.
Манометр работает следующим образом. Под действием измеряемого давления трубчатая пружина деформируется, увеличиваясь в поперечном сечении, и тянет за собой поводок, поворачивающий зубчатый сектор, триб и стрелку, которая показывает на шкале значение давления. Так как перемещение свободного конца трубчатой пружины и угол поворота стрелки пропорциональны измеряемому давлению, шкалы подобных приборов равномерны. Ход стрелки регулируют изменением длины плеча сектора со стороны поводка.
При измерении манометром давления ниже атмосферного трубчатая пружина скручивается и ее свободный конец перемещается не вверх, как при измерении высокого давления, а вниз. Следовательно, стрелка будет двигаться справа налево и прибор будет работать как вакуумметр. Если необходимо, можно изменить движение стрелки, установив трубчатую пружину с правой стороны.
Мановакуумметры отличаются от рассмотренных приборов наличием двусторонней шкалы: слева от нуля измеряют давление от 0,1 до 0 МПа, а справа - от 0,06 до 2,4 МПа.
При выборе прибора с одновитковой трубчатой пружиной необходимо, чтобы рабочий предел измерения был не менее ¾ шкалы при измерении постоянного и переменного давлений.
Термопарный манометрический преобразователь ПМТ (рис. ниже) предназначен для измерения давлений от 2•101 до 10-1 Па и состоит из стеклянной трубки 1, заполненной газопоглотителем, которой он присоединяется к вакуумной системе, стеклянного баллона 2 и цоколя 5 с четырьмя штырьками 6. Внутри баллона расположены находящиеся в тепловом контакте платиновый подогреватель 3 и хромель-копелевая термопара 4. Преобразователь имеет два ввода подогревателя и два ввода термопары. Подогреватель питается от измерительного блока вакуумметра постоянным током.