2.3 Чотирьохзондовий холівський метод
Підготовча робота по виготовленню омічних контактів є досить трудомістка підготовча операція, таким чином використання холівських методів на практиці є проблематичним. Тому для контролю не дуже высокоомных пластин і епітаксіальних шарів напівпровідникових матеріалів, коли вплив перехідних контактних опорів на похибку вимірів незначний, запропоновано застосувати для оперативних вимірів постійної Хола чотирьохзондовий метод із розташуванням зондів по вершинах квадрата (мал.2.5). Можна показати, що різниця потенціалів на потенційних зондах, розташованих на зразках із товщиною багато меншої відстані між зондами підкоряється співвідношенню:
(2.11)
де Ср і Сн - поправочні коефіцієнти, .
Перший доданок Up являє собою робочу формулу чотирьохзондового методу з поправкою на крайові ефекти.
Другий доданок Uм відображає дію магнітного поля на холівськи струми, що виникають при замиканні ЕРС Хола периферійною областю зразка.
Третій доданок - Uх - ЕРС Хола.
П
Малюнок 2.5
Для зразків круглої і півкруглої форми окреме визначення Up і Uн проводять шляхом розташування зондів у центрі зразка при орієнтуванні діагоналі зондового квадрата уздовж радіальної лінії симетрії. При вимірі Uн у якості потенційних використовують зонди, що лежать по діагоналі, перпендикулярної радіальній лінії симетрії. Поправочні функції Сн показаний на мал.2.6 (криві 4, 5, 6).
Схема вмикання зондів при вимірюванні Up і поправочні функції Ср подані кривими 1, 2, 3.
Таким чином, міряючи незалежно Uн і Up можна обчислити питомий опір:
(2.12)
і постійну Хола:
Малюнок 1.6
3 Мета роботи
Визначення параметрів напівпровідникових матеріалів шляхом виміру ефекту Хола різноманітними методами.
4 Порядок виконання роботи
Ознайомитися з основними теоретичними положеннями і методами виміру ефекту Хола.
Ознайомитися з експериментальною установкою.
Одержати зразки і звдання на вимір ЕРС Хола зазначеним викладачем методом.
Визначити постійну Хола, знак носіїв заряду і їх концентрацію.
Визначити ширину забороненої зони по температурній залежності постійної Хола.
5 Зміст звіту
Стислі теоретичні положення по ефекту Хола і методам його виміру.
Схема експериментальної установки.
Таблиця експериментальних даних
Результати розрахунку постійної Хола і концентрації носіїв заряду.
Висновки по проведеній роботі.
6 Контрольні запитання
Фізична сутність ефекту Хола.
Супутні гальванотермомагнітні ефекти Еттингсхаузена, Нернста, Рігі-Ледука.
Метод чотирьох вимірів для усунення побічних ефектів при вимірі ефекту Хола.
Методи виміру ефекту Хола.
Класичний метод виміру ефекту Хола.
Метод Ван-дер-Пау при вимірі ефекту Хола.
Чотирьохзондовий метод виміру ефекту Хола.
Зв'язок постійної Хола з концентрацією носіїв заряду.
Джерела похибок при вимірі ефекту Хола.