Руководство пользователя (NV8200P)

1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250

Дисплей осцилографа

Введение

Осцилограф выводит на дисплей два параметра пучка: ток пучка в верхней части экрана и форму сигнала развертки в нижней части дисплея. Форма сигнала развертки представляет собой сигнал, используемый для перемещения пучка по горизонтали по поверхности полупроводниковой пластины.

Верхняя часть дисплея

Верхняя часть дисплея осцилографа показывает ток пучка, заряженных ионов в пучке. Оптимальной является настройка осцилографа таким образом, чтобы целиком отоображалась одна развертка пучка в горизонтальном направлении. В этом случае форма сигнала тока пучка должна состоять из пары четко выраженных отрицательных импульсов. Ширина импульсов показывает диаметр пучка.

Должным образом сфокусированный, правильно развернутый пучок дает четкую W-образную форму волны с импульсами, имеющими крутые склоны и коротким, но четко определенным возвратом к базовому уровню между импульсами, известную как растянутая развертка (форма W слегка варьируется при применении поправочных коэффициентов).

Примечание: При низких энергиях пучок фокусируется не так хорошо, как при более высоких энергиях и поэтому может быть слегка расфокусирован.

Рисунок 1-15 Верхний дисплей на осцилографе

Базовый уровень

импульс 1	импульс 2
Недостаточно растянутая развертка		Достаточная растянутая развертка

Дисплей осциллографа при сканировании пучка

Недостаточно растянутая развертка

Достаточная растянутая развертка

Дисплей осцилографа при имплантации полупроводниковой пластины

Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

1-37

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Дисплей осцилографа (продолжение)

Нижняя часть дисплея

Нижняя часть дисплея на осцилографе показывает форму сигнала развертки. Когда начинается сканирование пучка, до корректировки дисплея, форма волны представляется как треугольная. Как показано на Рисунке 1-16, дисплей пучка отображается более скругленным после применения поправочных коэффициентов (поправочные коэффициент ускоряют пучок в центре волны для предупреждения передозировки).

Рисунок 1-16 Нижний дисплей на осцилографе

Неверный дисплей

Верный дисплей

Во время выполнения имплантации разумным будет следить за осцилографом, выявляя проблемы типа недостаточной развертки (показанной на Рисунке 1-15) или сильной расфокусировки или сильной флуктуации пучка. Сильная и повторяющаяся флуктуация пучка может означать присутствие внутренней дуги в ионном источнике из-за сильного загрязнения. Повторяющееся слышимое искрение может быть связано с высоковольтным терминалом. Если вы видите (или слышите) такие проблемы, немедленно сообщите о них администратору.

1-38	4640-0137-0001 Ред. A

1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250

Система подачи и транспортировки полупроводниковых пластин

Введение

В системе загрузки и транспортировки полупроводниковых пластин (или приемная станция) используется робот (macobot) для автоматической работы с полупроводниковыми пластинами, от их загрузки в технологическую камеру, где происходит имплантация, до их возврата в исходную кассету. Схемы, показывающие последовательность действий по загрузке и транспортировке полупроводниковых пластин см. в подразделе «Последовательность загрузки и транспортировки полупроводниковых пластин» на странице 5-9.

4640-0137-0001 Ред. A

1-39

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Вакуумная система

Введение

Что такое вакуум? Слово вакуум происходит от латинского слова, означающего «пустой». Фактически, вакуум является лишь отчасти пустым пространством. В вакууме часть воздуха и других газов удалена из ограниченного объема. Стенки вакуумной камеры отделяет вакуум от внешней среды.

Более наглядно вакуум можно описать как состояние, которое имеет место быть в любом объеме, в котором содержание газа меньше, чем в окружающей атмосфере. При взаимодействии молекул газа с поерхностью камеры возникает сила, приложенная к площади поверхности камеры. Мера этой силы на единицу площади называется давлением. Давление в камере можно измерять, сравнивая его с атмосферным давлением снаружи. Это может помочь определить количество газа, оставшегося в вакуумной камере.

Насосы

Для создания вакуума воздух и другие газы удаляются с помощью специальных насосов, называемых вакуумными насосами. Существует множество разных видов вакуумных насосов. Некоторые из них механически удаляют газы из откачиваемого объема. Другие насосы улавливают газы в ловушку или изменяют фазовое состояние вещества. В любом случае, работа насоса заключается в удалении максимально возможного количества газа.

Степени вакуумирования

Существуют разные степени вакуумирования – низкий вакуум, глубокий вакуум и ультраглубокий вакуум – каждая из них используется для разных целей. Чем лучше вакуум, тем меньше воздуха и газа присутствует в камере.

Вакуум в установке имплантации

Вакуумная система создает глубокий вакуум в системе генерации и управления пучком и технологической камере приемной станции в нормальном режиме работы. Это снижает вероятность столкновения частиц, которое могут ограничивать направленное движение ионов и загрязнять полупроводниковую пластину. Компоненты вакуумной системы располагаются внутри кожуха высоковольтного терминала и кожуха приемной станции.

1-40	4640-0137-0001 Ред. A

1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250

Требования обеспечения безопасности

Общее описание

Важное замечание

ПРИМЕЧАНИЕ

Как и руководство в целом, данный подраздел, «Требования обеспечения безопасности», предназначен только для операторов. Подробнее об угрозах для безопас-

ности см. в Подробном руководстве по безопасности серии Eaton NV-8200/8250.

Общее предупреждение

ВНИМАНИЕ

Многие потенциальные опасности, присутствующие в установке имплантации, могут быть неочевидными. Для выполнения работ по техническому обслуживанию и ремонту требуется обучение. Неверные действия могут привести к получению травм или гибели. Не выполняйте действий, выходящих за уровень ваших знаний.

В данном подразделе

Данный подраздел включает следующие темы:

Тема	См. страницу
Общие опасности для операторов	1-42
Риск поражения электрическим то-	1-45
ком
Риски, связанные с механическими	1-47
повреждениями
Опасные материалы	1-49

4640-0137-0001 Ред. A

1-41

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Общие опасности для операторов

Введение

Несмотря на то, что в установке имплантации серии Eaton NV-8200/8250 приняты все меры по исключению угроз для безопасности, отдельные опасности являются неустранимыми для всех установок ионной имплантации.

Опасность со стороны установки имплантации

В качестве оператора установки имплантации серии NV-8200/8250, вам необходимо знать обо всех опасностях, связанных с машиной. Эти опасности можно классифицировать по следующим категориям:

•риск поражения электрическим током

•риски, связанные с механическими повреждениями

•опасные материалы

•экстремальные температуры

•излучение

•

Опасность для операторов

Пока вы ограничиваетесь процедурами, относительно выполнения которых вы получили инструкции в настоящем руководстве, при вашем обучении или от вашего руководства вы не подвергаетесь воздействию излучения, экстремальных температур или высокого напряжения. Потенциальными опасностями, которые касаются вас как оператора, являются следующие:

•риск поражения электрическим током

•риски, связанные с механическими повреждениями

•опасные материалы

Продолжение на следующей странице

1-42	4640-0137-0001 Ред. A

1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250

Общие опасности для операторов (продолжение)

Общий список обязательных и недопустимых действий

Всегда соблюдайте следующие меры предосторожности:

•Запрещается использовать средства управления, выполнять регулировки или процедуры помимо тех, что указаны в настоящем руководстве, за исключением случаев, когда вам специально поручено это сделать.

•Всегда проверяйте, чтобы все дверцы, панели и защитные крышки были закрыты, прежде чем приступить к эксплуатации установки имплантации.

•Запрещается обеспечивать посторонним лицам доступ к системе.

•Запрещается стоять в воде или на сырой поверхности при работе с необесточенным оборудованием.

•Запрещается держать руки вблизи деталей, способных двигаться, не деактивировав предварительно эти детали.

•

Автоматическое выключение машины

При возникновении неожиданных опасных событий установка имплантации может выключаться автоматически в качестве защитной меры.

ОСТОРОЖНО

В случае автоматического выключения установки имплантации немедленно обратитесь к администратору. Не пытайте запустить вновь машину или предпринимать какие-либо меры по исправлению ситуации.

Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

1-43

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Общие опасности для операторов (продолжение)

Опасности связанные с использованием программного интерфейса оператора

Интерфейс оператора является основным программным обеспечением, посредством которого вы взаимодействуете с установкой имплантации серии NV-8200/8250. Для безопасного использования интерфейса оператора вы должны пройти обучение и обладать опытом.

ОСТОРОЖНО

При клике по отдельным кнопкам программного интерфейса, оператор приводит в действие автоматические алгоритмы работы электрических и механических узлов. Эти алгоритмы могут вызвать повреждение узлов в случае их неверной текущей конфигурации. Не нажимайте какие-либо элементы интерфейса оператора, если у вас нет на это полномочий, и вы не знаете точно, какой алгоритм при этом будет приведен в действие.

1-44	4640-0137-0001 Ред. A

1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250

Риск поражения электрическим током

Введение

В данном подразделе описываются два разных типа опасностей, связанных с электричеством: риск поражения высоковольтным напряжением и риск поражения сетевым напряжением 220 В (стандартным бытовым напряжением).

Символы

На некоторых частях установки ионной имплантации можно увидеть следующие символы, обозначающие потенциальные опасности поражения электрическим током:

Рисунок 1-17 Символы электрических опасностей

Риск поражения высоковольтным напряжением

В установках имплантации серии NV-8200/8250 используется потенциально смертельно-опасные напряжения до 250000 Вольт (250 кВ). Области машины с такими высокими напряжениями закрыты панелями, крышками, наружными дверцами корпусов и защищены блокировками. Если эти средства защиты находятся на месте и должным образом зафиксированы, вы защищены от высоковольтного напряжения, присутствующего в установке имплантации.

ОПАСНО

Запрещается открывать и снимать дверцы установки имплантации или панели. Это может привести к травмированию или гибели.

Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

1-45

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Риск поражения электрическим током (продолжение)

Зоны риска поражения высоковольтным напряжением

За панелями по обеим сторонам установки имплантации присутствуют зоны высокого напряжения. Местонахождение зон высокого напряжения показано на следующем рисунке:

Рисунок 1-18. Зоны риска поражения высоковольтным напряжением

Высокое напряжение за дверцами

Высокое напряжение за дверцами

Риск поражения сетевым напряжением 220 В

В качестве оператора вы подвергаетесь риску, связанным с поражением сетевым напряжением 220 В, как и при использовании любого стандартного бытового электрического прибора типа телевизора или электрического фена. Соблюдайте такие же меры предосторожности при работе на установке имплантации, которых вы придерживались бы при пользовании любым электрическим прибором.

ОСТОРОЖНО

Если вы заметите подтекание воды из корпуса установки имплантации, держитесь в стороне от воды и немедленно уведомите администратора установки. Запрещается становиться в воду или на влажную поверхность при работе с любым электрическим оборудованием.

1-46	4640-0137-0001 Ред. A