Руководство пользователя (NV8200P)

Semiconductor Equipment Operations

Серия Eaton NV-8200/8250

Системы ионной имплантации Руководство пользователя

4640-0137-0001 Ред. A

Направляйте комментарии по настоящему руководству или любой иной документации NV-8200/8250 на адрес электронной почты [e-mail]

VCR является зарегистрированной торговой маркой компании «CAJON».

Корпорация «Eaton» подготовила настоящее руководство для использования персоналом, лицензиатами и клиентами корпорации «Eaton».

Информация, включенная в настоящее руководство, является собственностью корпорации «Eaton». Такая информация должна использоваться только в целях выполнения процедур, рассматриваемых в настоящем руководстве, и не подлежит разглашению третьим лицам без письменного разрешения корпорации «Eaton».

Корпорация «Eaton» оставляет за собой право на внесение без уведомления изменений в материалы и спецификации, указанные в настоящем руководстве, и не несет ответственности за любой ущерб в результате действий, основанных на представленном материале.

ЯНВАРЬ 1998 г.

Авторское право 1998 г. Корпорация «Eaton». Все права защищены. Корпорация «Eaton»

Компания «Semiconductor Equipment Operations» 10000 Спектрум Драйв Остин, Техас 78717 США

	Содержание
Раздел 1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250 .........................................	1-1
Общее описание..........................................................................................................................	1-1
Общее описание оборудования .................................................................................................	1-2
Основные функции оборудования ........................................................................................	1-3
Зоны установки имплантации ...............................................................................................	1-4
Консоль оператора..................................................................................................................	1-5
Средства управления питанием ................................................................................................	1-8
Кнопки экстренной остановки ..............................................................................................	1-9
Главный выключатель..........................................................................................................	1-11
Выключатель высоковольтного питания с ключом ..........................................................	1-12
Кнопка остановки робота.....................................................................................................	1-13
Общее описание программного обеспечения ........................................................................	1-14
Интерфейс оператора ...........................................................................................................	1-15
Командная среда ICS............................................................................................................	1-17
Общее описание системы управления....................................................................................	1-18
Общее описание систем установки ионной имплантации ...................................................	1-29
Система генерации и управления ионным пучком ...........................................................	1-30
Дисплей осцилографа...........................................................................................................	1-37
Система подачи и транспортировки полупроводниковых пластин ................................	1-39
Вакуумная система ...............................................................................................................	1-40
Требования обеспечения безопасности ..................................................................................	1-41
Общее описание........................................................................................................................	1-41
Общие опасности для операторов.......................................................................................	1-42
Риск поражения электрическим током...............................................................................	1-45
Риски, связанные с механическими повреждениями........................................................	1-47
Опасные материалы..............................................................................................................	1-49
Раздел 2. Пользовательский интерфейс ...................................................................................	2-1
Общее описание..........................................................................................................................	2-1
Строка меню и описание........................................................................................................	2-4
Использование раскрывающихся меню .................................................................	2-7
Выпадающее меню Operator (Оператор).................................................................	2-8
Выпадающее меню Engineer (Инженер) ...............................................................	2-11
Выпадающее меню Supervisor (Администратор) ................................................	2-14
Выпадающее меню Detail (Детали процесса).......................................................	2-16
Выпадающее меню Status (Состояние) .................................................................	2-18
Выпадающее меню Help (Справка) .......................................................................	2-22
Строка статуса.......................................................................................................................	2-29
Постоянное окно уведомлений ...........................................................................................	2-32
Область состояния ................................................................................................................	2-35
Элементы окна приложений................................................................................................	2-37
Кнопки .....................................................................................................................	2-38
Диалоговые окна .....................................................................................................	2-39
Поля ввода и считывания .......................................................................................	2-40
Цветовые коды.........................................................................................................	2-42
Общая панель управления ...................................................................................................	2-43
Командная среда ICS................................................................................................................	2-44
Доступ к командной среде ICS............................................................................................	2-45
Использование горячих клавиш ICS...................................................................................	2-47
Операции с окнами ...............................................................................................................	2-49
Организация меню ICS.........................................................................................................	2-52

4640-0142-0001 Ред. A

i

Содержание

Использование меню «ICS Commands» .............................................................................	2-53
Использование меню «Operator Interface».........................................................................	2-55
Использование меню «Background Daemons» ...................................................................	2-57
Использование меню «Engineer» или «Supervisor»...........................................................	2-59
Раздел 3. Задачи, не связанные непосредственно с имплантацией ....................................	3-1
Общее описание..........................................................................................................................	3-1
Вход в систему ............................................................................................................................	3-2
Выход из системы.......................................................................................................................	3-4
Задание активного или пассивного управления установкой имплантации ..........................	3-5
Правила активного/ пассивного управления .......................................................................	3-6
Вывод на дисплей диалогового окна «Active / Passive Control» ........................................	3-7
Запрос активного управления................................................................................................	3-9
Запрос пассивного управления............................................................................................	3-10
Реакция на сообщение об ошибке активного / пассивного управления .........................	3-11
Просмотр «Alarm History» (Хронология предупреждений).................................................	3-12
Экран «Alarm Filters» (Фильтры предупреждений) ..........................................................	3-13
Фильтры Status и Group........................................................................................................	3-15
Типы фильтров Status..............................................................................................	3-16
Типы фильтров Group ............................................................................................	3-17
Добавление фильтров Status или Group ................................................................	3-19
Исключение фильтров Status или Group ...............................................................	3-21
Фильтры цепочек ....................................................................................................	3-23
Фильтры времени ....................................................................................................	3-27
Фильтры по умолчанию..........................................................................................	3-32
Активация поиска ...................................................................................................	3-33
Экран «Alarm Database» (База данных предупреждений) ................................................	3-34
Просмотр журналов данных имплантаций ............................................................................	3-36
Просмотр файлов IDL ..........................................................................................................	3-37
Объяснение содержания файла IDL ...................................................................................	3-40
Сводка по процессам ..............................................................................................	3-41
Сводка по имплантации .........................................................................................	3-43
Использование фильтров для поиска конкретных файлов IDL .......................................	3-45
Использование существующих фильтров ............................................................	3-45
Создание фильтра ...................................................................................................	3-46
Критерии поиска .....................................................................................................	3-48
Печать файлов IDL ...............................................................................................................	3-61
Просмотр состояния блокировок ............................................................................................	3-63
Просмотр и редактирование параметров конфигурации......................................................	3-65
Просмотр параметров конфигурации .....................................................................................	3-66
Редактирование параметров конфигурации.......................................................................	3-69
Поиск параметров конфигурации .......................................................................................	3-71
Использование журнала регистрации.....................................................................................	3-73
Системный журнал регистрации.........................................................................................	3-74
Персональный журнал регистрации ...................................................................................	3-79
Печать ........................................................................................................................................	3-82
Раздел 4. Автоматическая имплантация .................................................................................	4-1
Общее описание..........................................................................................................................	4-1
Сравнение экранов «Automatic Implants» («Автоматическая импланта-ция») и «Implant»
(«Имплантация») ........................................................................................................................	4-2
Использование экрана «Automatic Implants» ...........................................................................	4-3
Использование экрана «Implant»...............................................................................................	4-6

ii	4640-0142-0001 Ред. A

	Содержание
Просмотр технологических рецептов.....................................................................................	4-10
Выполнение автоматической имплантации...........................................................................	4-13
Организация очередности партий...........................................................................................	4-19
Использование автоматической настройки Autotune............................................................	4-20
Диалоговое окно «Autotune» ...............................................................................................	4-21
Режимы работы автоматической настройки ......................................................................	4-24
Настройка пучка с помощью автоматической настройки ................................................	4-28
Приостановка, возобновление и прерывание автоматической настройки .....................	4-30
Диагностирование ошибки автоматической настройки посредством вставки маркера 4-35
Приостановка, возобновление и прерывание имплантаций.................................................	4-36
Приостановка имплантации ................................................................................................	4-37
Возобновление имплантации ..............................................................................................	4-39
Прерывание имплантации ...................................................................................................	4-40
Прерывание имплантации при наличии других партий в очереди .................................	4-43
Прерывание имплантации в автоматической настройке при наличии других партий в
очереди...................................................................................................................................	4-44
Раздел 5: Подача и транспортировка полупроводниковых пластин .................................	5-1
Общее описание..........................................................................................................................	5-1
Компоненты подачи и транспортировки полупроводниковых пластин ...............................	5-2
Последовательность подачи и транспортировки полупроводниковых пластин ..................	5-9
Добавление и удаление кассет ................................................................................................	5-13
Мониторинг подачи и транспортировки полупроводниковых пластин .............................	5-15
Мониторинг с экрана «End Station Control».......................................................................	5-16
Мониторинг по таблицам состояния полупроводниковых пластин ...............................	5-20
Мониторинг в экране «Implant» ..........................................................................................	5-24
Другие способы мониторинга подачи и транспортировки полупроводниковых пластин ...
................................................................................................................................................	5-25
Приостановка операции на приемной станции .....................................................................	5-27
Возобновление операции на приемной станции ...................................................................	5-29
Инициализация приемной станции.........................................................................................	5-30
Удаление полупроводниковых пластин из приемной станции............................................	5-32
Остановка Macobot ...................................................................................................................	5-33
Возобновление работы Macobot..............................................................................................	5-34
Приложение: Общие правила для операторов
Общее описание.........................................................................................................................	А-1
Что требутеся от оператора системы.......................................................................................	А-2
Действия, недопустимые для оператора системы ..................................................................	А-3
Словарь терминов

4640-0142-0001 Ред. A

iii

	Список рисунков
Рисунок 1-1	Общий вид установки имплантации .................................................................................	1-4
Рисунок 1-2	Компоненты консоли оператора........................................................................................	1-5
Рисунок 1-3	Местонахождение средств управления питанием ...........................................................	1-8
Рисунок 1-4	Местонахождение внешних кнопок экстренной остановки..........................................	1-10
Рисунок 1-5	Местонахождение главного выключателя......................................................................	1-11
Рисунок 1-6	Местонахождение выключатель высоковольтного питания с ключом .......................	1-12
Рисунок 1-7	Местонахождение кнопки остановки робота .................................................................	1-13
Рисунок 1-8	Общее описание системы управления ............................................................................	1-18
Рисунок 1-9	Пример отклика систему контроля..................................................................................	1-20
Рисунок 1-14	Электростатическая линза ...............................................................................................	1-35
Рисунок 1-15	Верхний дисплей на осцилографе ..................................................................................	1-37
Рисунок 1-16	Нижний дисплей на осцилографе ...................................................................................	1-38
Рисунок 1-17	Символы электрических опасностей...............................................................................	1-45
Рисунок 1-18	Зоны риска поражения высоковольтным напряжением................................................	1-46
Рисунок 1-19	Символы, обозначающие опасность получения механическх повреждений ..............	1-48
Рисунок 1-20	Символы опасных материалов ........................................................................................	1-49
Рисунок 2-1	Перемещение мыши ...........................................................................................................	2-2
Рисунок 2-2	Наведение мыши ................................................................................................................	2-2
Рисунок 2-3	Разделы окна интерфейса оператора ................................................................................	2-4
Рисунок 2-4	Строка меню, в полном виде и с доступом только для оператора .................................	2-6
Рисунок 2-5	Меню «Operator Interface» ..................................................................................................	2-7
Рисунок 2-6	Ниспадающие меню «Operator».........................................................................................	2-8
Рисунок 2-7	Ниспадающие меню «Engineer».......................................................................................	2-11
Рисунок 2-8	Ниспадающее меню «Supervisor» ...................................................................................	2-14
Рисунок 2-9	Меню «Detail», в экранах «Automatic Implant» и «Implant»..........................................	2-16
Рисунок 2-10	Ниспадающее меню «Status» ...........................................................................................	2-18
Рисунок 2-11	Диалоговое окно «System Status» ...................................................................................	2-19
Рисунок 2-12	Диалоговое окно «Implant Status»....................................................................................	2-20
Рисунок 2-13	Меню «Help» .....................................................................................................................	2-23
Рисунок 2-14	Список тем в экране «Help» .............................................................................................	2-24
Рисунок 2-15	Кнопки навигации экрана «Help» ...................................................................................	2-25
Рисунок 2-16	Рамка экрана «Help» ........................................................................................................	2-26
Рисунок 2-17	Увеличение и уменьшение экрана «Help» ......................................................................	2-26
Рисунок 2-18	Кнопки перехода по страницам экрана «Help» ..............................................................	2-27
Рисунок 2-19	Кнопочная строка статуса ...............................................................................................	2-29
Рисунок 2-20	Постоянное окно уведомлений ........................................................................................	2-32
Рисунок 2-21	Окно сброса предупреждения ..........................................................................................	2-34
Рисунок 2-22	Область состояния ............................................................................................................	2-35
Рисунок 2-23	Диалоговое окно «Run Batch» (Выполнение партии) ...................................................	2-39
Рисунок 2-24	Поле ввода .........................................................................................................................	2-40
Рисунок 2-25	Поле считывания ...............................................................................................................	2-40
Рисунок 2-26	Список прокрутки .............................................................................................................	2-41

4640-0142-0001 Ред. A

v

Список рисунков

Рисунок 2-27	Общая панель управления ................................................................................................	2-43
Рисунок 2-28	Меню «ICS Commands» ....................................................................................................	2-45
Рисунок 2-29	Меню «Window Commands» ............................................................................................	2-49
Рисунок 2-30	Меню ICS ..........................................................................................................................	2-52
Рисунок 2-31	Меню «ICS Commands» ....................................................................................................	2-53
Рисунок 2-32	Меню ICS «Operator Interface».........................................................................................	2-55
Рисунок 2-33	Меню «Background Daemons»..........................................................................................	2-57
Рисунок 3-1	Экран Login при регистрации ............................................................................................	3-2
Рисунок 3-2	Экран Login при выходе из программы ............................................................................	3-4
Рисунок 3-3	Диалоговое окно «Active/ Passive Implanter Control» в пассивном режиме ..................	3-7
Рисунок 3-4	Диалоговое окно «Active/ Passive Control Error» (Ошибка активного / пассивного
управления)	.............................................................................................................................................	3-11
Рисунок 3-5	Экран «Alarm Filters» (Фильтры предупреждений) ......................................................	3-13
Рисунок 3-6	Диалоговое окно «Alarm Status Filters» (Фильтры состояния предупреждений)........	3-16
Рисунок 3-7	Диалоговое окно «Alarms Group Filters» (Фильтры групп предупреждений) ............	3-17
Рисунок 3-8	Экран «Alarm Database» (База данных предупреждений) .............................................	3-34
Рисунок 3-9	Диалоговое окно «Filter Creation» (Создание фильтра).................................................	3-48
Рисунок 3-10	Кнопка Interlocks (Блокировки) на кнопочной панели статуса ....................................	3-62
Рисунок 3-11	Экран «Interlocks» .............................................................................................................	3-62
Рисунок 3-12	Экран «Configuration Editor» ............................................................................................	3-65
Рисунок 3-13	Пример окна точек конфигурации программного обеспечения ..................................	3-66
Рисунок 3-14	Экран «System Log» ..........................................................................................................	3-74
Рисунок 3-15	Кнопка расширения в экране «System Log» ..................................................................	3-75
Рисунок 3-16	Экран «Personal Log» .......................................................................................................	3-78
Рисунок 4-1	Экран «Automatic Implant» ................................................................................................	4-3
Рисунок 4-2	Экран «End Station Control» ..............................................................................................	4-4
Рисунок 4-3	Экран «Implant» ..................................................................................................................	4-5
Рисунок 4-4	Экран только для чтения «Recipe Editor» .........................................................................	4-9
Рисунок 4-5	Диалоговое окно «Autotune» ...........................................................................................	4-20
Рисунок 4-6	Диалоговое окно «Abort Batches» ...................................................................................	4-42
Рисунок 5-1	Экран только для чтения «End Station Control» ...............................................................	5-2
Рисунок 5-2	Область транспортировки полупроводниковых пластин................................................	5-3
Рисунок 5-3	Компоненты шлюза ............................................................................................................	5-6
Рисунок 5-4	Компоненты слотового шлюза ..........................................................................................	5-7
Рисунок 5-5	Последовательность подачи и транспортировки полупроводниковых пластин,
	общий вид ............................................................................................................................	5-9
Рисунок 5-6	Последовательность подачи и транспортировки полупроводниковых пластин,
	средняя детализация ........................................................................................................	5-10
Рисунок 5-7	Последовательность подачи и транспортировки полупроводниковых пластин,
	полная детализация ..........................................................................................................	5-12
Рисунок 5-8	Поля экрана «End Station Control»...................................................................................	5-17
Рисунок 5-9	Таблицы состояния полупроводниковых пластин в экране «End Station Control».....	5-21
Рисунок 5-10	Пример Таблицы состояния полупроводниковой пластины ........................................	5-22
Рисунок 5-11	Диалоговое окно «Clear Buffer».......................................................................................	5-23
Рисунок 5-12	Экран «Implant» ................................................................................................................	5-24
Рисунок 5-13	Диалоговое окно «Implant Status»....................................................................................	5-25
Рисунок 5-14	Кнопка End Station на кнопочной панели статуса .........................................................	5-26
Рисунок 5-15	Местонахождение выключателя остановки робота .......................................................	5-33

vi	4640-0142-0001 Ред. A

О настоящем руководстве

Введение

Руководство ползьзователя системой серии NV-8200/8250 предназначено, главным образом, для оператора, проводящего стандартные операций. Под оператором понимается лицо, использующее программное обеспечение для выполнения базовых задач, связанных с ионной имплантацией, включая регистрацию в программном обеспечении, загрузку и выгрузку полупроводниковых пластин, выполнение имплантации в автоматическом режиме, мониторинг хода выполнения имплантации и доступа к файлам данных по предыдущим процедурам имплантаций. Это задачи, следующие четко заданным процедурам, в которых не требуется принятие решений.

Оператор обычно получает доступ только к интерфейсным окнам программного обеспечения, необходимым для выполнения этих задач. В настоящем руководстве описываются интерфейсные окна и заложенные в них концепции простым для понимания языком, в технически необходимом объеме. Интерфейсные окна и процедуры, требующие более глубоких знаний и подготовки, не рассматриваются в настоящем руководстве.

Одновременно, настоящее руководство включает описания систем установки имплантации, с которыми оператор не имеет дела непосредственно. Эти разделы предназначены для оператора, интересующегося процессами, лежащими в основе базовых операций установки имплантации. Они рассчитаны также на оператора, рассчитывающего перейти на более высокий уровень.

Руководство пользователя системой серии NV-8200/8250 распространяется на версии программного обеспечения вплоть до версии 3.5.

Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

ix

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

О настоящем руководстве (продолжение)

Организация настоящего руководства

Настоящее руководство организовано следующим образом.

		Раздел		Содержание
1. Установка ионной им-				Представляет основные компоненты, программное
плантации серии NV-8200/				обеспечение установки ионной имплантации серии NV-
8250				8200/8250 и ее систему управления, а также системы,
				задействованные в имплантации. В этом разделе дается
				также обзорная информация по средствам управления
				питанием и правилам безопасности, необходимым при
				выполнении имплантаций.
2.	Пользовательский интер-			Объясняется пользовательский интерфейс, то есть
фейс				программные и аппаратные средства, используемые
				при взаимодействии с установкой имплантации серии
				NV8200/8250
3. Задачи, не связанные				Обсуждаются отдельные функции интерфейса опера-
непосредственно с			имплан-	тора, используемые до или после выполнения имплан-
тацией				тации.
4.	Автоматический		режим	Объясняется порядок выполнения имплантации в авто-
имплантации				матическом режиме и порядок использования функции
				автоматической настройки пучка, Autotune (Автомати-
				ческая настройка).
5. Загрузка и транспорти-				Описываются функции системы загрузки и транспор-
ровка		полупроводниковых		тировки полупроводниковой пластины, ее местонахож-
пластин				дение и порядок пользования ею.
Приложение: Общие прави-				Представляет перечень правил и список действий, не-
ла для операторов				допустимых для операторов стандартных операций
Список		используемых тер-		Включает определения отдельных терминов, которые
минов				необходимо знать при использовании машины.

Продолжение на следующей странице

x	4640-0137-0001 Ред. A