Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
8 лекций / 16751.ppt
Скачиваний:
22
Добавлен:
11.03.2016
Размер:
407.55 Кб
Скачать

Усовершенствованные методы фотолитографии для формирования наноразмерных структур

Оптическая коррекция фотошаблонов

Фазовая коррекция

Программные

Sentaurus Lithography

41

Соседние файлы в папке 8 лекций