Министерство образования и науки Российской Федерации

Государственное образовательное учреждение

высшего профессионального образования

«Омский государственный технический университет»

Физико-химические основы технологии электронных средств

Методические указания к лабораторным работам

Омск

Издательство ОмГТУ

2010

Составители: Н. И. Алексеева, канд. техн. наук, доцент;

Р. Ю. Гошля, ст. преподаватель

Методические указания предназначены для студентов, обучающихся по направлению 210201.65 – «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и специальности 210106.65 – «Промышленная электроника» очной и заочной форм обучения.

Печатается по решению редакционно-издательского совета

Омского государственного технического университета

Редактор К. В. Муковоз

Компьютерная верстка Е. В. Беспалова

ИД № 06039 от 12.10.2001 г.

Сводный темплан 2010 г.

Подписано в печать 01.11.10. Формат 60×84 ¹/₁₆. Бумага офсетная.

Отпечатано на дупликаторе. Усл. печ. л. 2,5. Уч.-изд. л. 2,5.

Тираж 100 экз. Заказ 673.

_________________________________________________________

Издательство ОмГТУ. 644050, г. Омск, пр. Мира, 11; т. 23-02-12

Типография ОмГТУ

© ГОУ ВПО «Омский государственный

технический университет», 2010

Лабораторные работы содержат теоретический, исследовательский и прак­тический разделы, способствующие изучению и усвоению лекционных курсов по «Физико-химическим основам технологии электронных средств», «Вакуумной и плазменной электронике», «Микроэлектронике».

Работы выполняются в установленной последовательности группами 3–5 человек. Выполнение лабораторной работы включает:

1. теоретическую подготовку;

2. экспериментальную работу в лаборатории;

3. выполнение и защиту отчёта.

Каждый студент должен ознакомиться с описанием лабораторной работы, в том числе с оборудованием и приборами, применяемыми в процессе; заранее подготовиться к собеседованию с преподавателем по теории и практике в объеме контрольных вопросов, приведенных в методических указаниях по данной лабораторной работе. Рекомендуется использовать при этом конспект лекций, методические указания и дополнительную литературу.

Собеседование проводится преподавателем с каждым студентом отдельно.

Отчет по лабораторной работе должен содержать: цель работы, краткое описание работы, последовательность операций, таблицы с экспериментальными данными, графики, расчеты и заключение. В заключении на основании данных, полученных экспериментально, следует сделать краткие выводы, содержащие объяснения полученных результатов.

Каждый студент допускается к выполнению цикла лабораторных работ после изучения инструкции по технике безопасности.

Инструкция по технике безопасности

При выполнении лабораторных работ необходимо помнить и соблюдать следующие правила безопасности:

1. При работе на всех вакуумных установках ЗАПРЕЩАЕТСЯ:

а) включать тумблер электрической сети с напряжением 220, 380 В, а также высоковольтные блоки без разрешения преподавателя или инженера;

б) производить переключения на лицевой панели и пультах управления вакуумных установок, так как неправильное переключение или выключение может привести к выходу из строя вакуумного оборудования;

в) оставлять работающие вакуумные установки без присмотра.

2. В случае внешнего отключения электрической сети необходимо немедленно об этом сообщить преподавателю или инженеру.

3. Не производить настройку и регулировку блоков вакуумных установок и других измерительных приборов.

4. После ознакомления с работой, принципами включения измерительных при­боров необходимо получить разрешение преподавателя или инженера на включение источников питания и проведение необходимых измерений.

5. Измерение электрических величин производить приборами, снабженными изолированными щупами. При возникновении резких изменений от нормальных режимов приборов сообщить об этом преподавателю или инженеру.

6. При выполнении работы по фотолитографии:

а) при работе с ультрафиолетовым облучателем необходимо оберегать глаза от прямого воздействия излучений!

б) при работе с фоторезистом, щелочами и кислотами соблюдать осторожность. Не допускать их попадания на лицо и руки, одежду, так как эти вещества вы­зывают ожоги участков кожного покрова, разрушение одежды. Кислоты и щелочи, попавшие на кожу, необходимо смыть про­точной водой сразу же после попадания их на участки кожи.