Список литературы

1. Степаненко И. П Основы микроэлектроники: Учеб. пособие для вузов. – М.: Сов. радио, 1980.

2. Мурога С. Системное проектирование сверхбольших интегральных схем: В 2‑х кн. Кн. 1 / Пер. с англ. - М.: Мир, 1985.

3. Технология СБИС: В 2‑х кн. / Пер. с англ. – М.: Мир, 1986.

Принятые сокращения

БИС – большая интегральная схема

ГР – графический редактор

САПР – система автоматизации проектирования

ТС – технологический слой

ТЧ – топологический чертеж

ФСС – фосфорсиликатное стекло

ФШ – фотошаблон

ЯОТ – язык описания топологии

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ 3

1. ОПИСАНИЕ ЛАБОРАТОРНЫХ РАБОТ 3

1.1. Техническое задание 3

1.2. Этапы работы 8

1.2.1. Топологическое проектирование 9

1.2.2. Описание подфрагментов на языке ASP 10

1.2.3. Работа в системе «Спектр» 10

2. КМОР-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС 11

3. ЯЗЫК ОПИСАНИЯ ТОПОЛОГИИ 21

3.1. Элементы языка 22

3.2. Описание фрагмента 24

4. КРАТКИЕ СВЕДЕНИЯ 0 СИСТЕМЕ «СПЕКТР» 29

4.1. Трансляция описания топологии в структуру графической базы данных 29

4.2. Просмотр топологии на экране 30

Список литературы 32

Принятые сокращения 33

Редактор И.Б. Синишева

Подп. к печ. 04.08.95. Формат 6084 1/16. Бумага тип. № 2. Офсетная печать. Усл. печ. л. 1.86. Усл. кр. -отт. 1.98. Уч.-изд. л. 2.0. Тираж 150 экз. План 1993 г. Изд. № 13. Зак. № 166. Бесплатно. Редакционно‑издательский отдел СПбГЭТУ им. В.И. Ульянова (Ленина).

Ротапринт СПбГЭТУ 197376, Санкт‑Петербург, ул. проф. Попова, 5.

0