- •Электронно–оптическая система установки для размерной обработки алмазов
- •Зав. Кафедрой эп
- •Задание
- •Реферат
- •1. Введение.
- •2. Электронно–оптическая система для размерной обработки.
- •3. Расчет пушки Пирса.
- •4.1. Тепловой расчет системы.
- •4.2. Расчет импульсного режима пушки
- •4.3. Расчет первой магнитной линзы
- •4.4. Расчет второй магнитной линзы
- •4.5. Расчет магнитной отклоняющей системы
- •5. Расчет траектории фокусировки электронов.
- •6. Заключение
- •7.Список использованной литературы
- •Приложение а
3. Расчет пушки Пирса.
Начальные данные для электронно лучевой пушки ,а так же параметры для катода из Гексаборида Лантана (LaB6):
Таблица 3.1 – таблица начальных данных.
Ток эмиссии с катода |
Ik = 10A |
Радиус эмитирующей поверхности катода |
Rk = 0,691 см |
Площадь катода |
см2 |
Рабочая температура |
оК |
Плотность тока |
|
Напряжение анода |
кВ |
На рисунке 3.1 представлена пушка Пирса.
Рис.3.1- Изображение сходящегося потока, сформированного пушкой сферического типа.
Степень влияния объемного заряда в электронном пучке оценивается первеансом пучка. Рассчитаем его:
А/В3/2 (3.1)
Пушка - высокопервеансная, следовательно необходимо учитывать действие пространственного заряда.
Зная первеанс, найдем угол сходимости пучка:
(3.2)
Так как пушка представляет собой две сферы с общим центром, необходимо рассчитать радиусы кривизны этих сфер. Найдем радиус катодной сферы:
см (3.3)
Найдем радиус анодной сферы:
Для расчетов будем использовать соотношение
см (3.4)
Расстояние между анодом и катодом найдем, зная их радиусы:
см (3.5)
Радиусы отверстий в катодной и анодной сферах.
см (3.6)
см (3.7)
Проверим, сможет ли наш катод обеспечить ток эмиссии. Так как отверстие в модуляторе имеет радиус не много меньше чем радиус катода:
(3.8)
Где σ = 10 скважность, а je = 1А/см2 – плотность тока с катода. Заданные 10А входят в расчётные.
Найдем расстояние, где толщина пучка будет минимальна:
см (3.9)
Толщина пучка.
см (3.10)
Максимальный ток:
(3.11)
Угол расхождения пучка в скрещении:
(3.12)
Радиус скрещения можно найти из следующего уравнения:
(3.13)
где Т - температура катода, k - постоянная Больцмана, rс - радиус скрещения,
rк - радиус катода, Ua - потенциал анода (ускоряющего электрода)
(3.14)
4.1. Тепловой расчет системы.
Для расчета зададимся исходными данными:
Таблица 4.1 – таблица начальных данных.
Удельная теплоемкость алмаза, Дж/0С.г |
|
Температура испарения алмаза, 0С |
|
Комнатная температура, 0С |
|
Плотность алмаза, г/м3 |
|
Диаметр пучка, мкм |
|
Радиус отверстия, мм |
|
По заданию необходимо сделать отверстие в алмазе заданного радиуса, для этого электронный луч, двигаясь по кругу заданного радиуса, будет испарять алмаз. Когда луч прорежет алмаз, оставшийся материал в центре удаляется вручную. Для того чтобы электронный луч не расплавил алмаз, а только удалял нужное нам количество материала, пушка должна работать в импульсном режиме. Электронный луч диаметром 50 мкм должен проходить вглубь алмаза на мкм за один импульс, а так же описывать окружность радиусом 1.5мм, следовательно, объем испаряемого лучом алмаза, равен объему кольца с толщиной стенки равной диаметру пучка:
Рис 4.1.1 – объем, который должен убирать луч за один импульс.
Площадь кольца найдем, отняв из площади большей окружности меньшую:
(4.1.1)
Получаем объём:
(4.1.2)
Масса алмаза в этом объеме будет равна:
(4.1.3)
Количество теплоты необходимое для испарения алмаза весом m:
(4.1.4)