Литература

1. Анурьев В.И. Справочник конструктора-машиностроителя: В 3 т. / В.И. Анурьев; Под ред. И.Н. Жестковой. – 8-е изд., перераб. и доп. – М.: Машиностроение.

Т.1. – 2001. – 920 с.: ил., табл.

Т.2. – 2001. – 912 с.: ил., табл.

Т.3. – 2001. – 864 с.: ил., табл.

2. Дунаев П.Ф. Конструирование узлов и деталей машин: учебное пособие для студентов техническх специальностей вузов / П.Ф. Дунаев, О.П. Леликов. – 8-е изд., перераб. и доп. – М.: Академия, 2004. – 496 с.; ил.

3. Орлов П.И. Основы конструирования: Справ.-метод. пособие: В 2 кн. / Под ред. П.Н. Учаева. – 3-е изд., испр. – М.: Машиностроение.

Кн.1. – 1988. – 559 с.: ил.

Кн.2. – 1988. – 542 с.: ил.

4. Схиртладзе А.Г. Гидравлические и пневматические системы: учебник для студентов вузов / А.Г. Схиртладзе, В.И. Иванов, В.Н. Кареев. – 2-е изд., доп. – М.: СТАНКИН, 2003. – 544 с.: ил.

5. Свешников В.К. Станочные гидроприводы: справочник / В.К. Свешников. – 4-е изд., перераб. и дп. – М.: Машиностроение, 2004. – 512 с.: ил.

6. Машиностроение: Энцикл. Т.3. Вып. 8. Технологии, оборудование и системы управления в электронном машиностроении / Ю.В. Панфилов, Л.К. Ковалев, В.А. Блохин и др. – М.: Машиностроение, 2000. – 744 с.: ил.

7. Пипко А.И., Плисковский В.Я. Основы вакуумной техники: Учеб. – М.: Энергоатомиздат, 1992. – 336 с.: ил.

8. Вакуумная техника: Справ. / Е.С. Фролов, В.Е. Минайчев, А.Т. Александрова и др. – М.: Машиностроение, 1992. – 471 с.: ил.

9. Оборудование полупроводникового производства / Под ред. П.И. Масленникова. – М.: Радио и связь, 1995. – 336 с.: ил.

10. Красковский Е.Я., Дружинин Ю.А., Филатова Е.М. Расчет и конструирование механизмов приборов и вычислительных систем. – М.: Высшая школа, 1991. – 480 с.: ил.

11. Александрова А.Т., Ермаков Е.С. Гибкие производственные системы электронной техники. М.: Высшая школа, 1989. – 319 с.: ил.

12. Волчкевич Л.И. Автоматизация производства электронной техники. М.: Высшая школа, 1988. – 287 с.: ил.

13. Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового производства. – М.: машиностроение, 1986. – 284 с.: ил.

14. Николаев И.М. Оборудование и технология производства полупроводниковых приборов. М.: Высшая школа, 1977. 270 с.: ил.

15. Никифорова-Денисова С.Н. Механическая и химическая обработка. М.: Высшая школа, 1989. 95 с.: ил.

16. Быстров Ю.А., Колчин Е.А., Котлецов Б.Н. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. М.: Радио и связь, 1988. 168 с.: ил.

17. Козырь И.Я., Горбунов Ю.И., Чернозубов И.С. и др. Общая технология. М.: Высшая школа, 1989. 233.: ил.

18. Моряков О.С. Сварка и пайка в полупроводниковом производстве. М.: Высшая школа, 1982. 192 с.: ил.

19. Минайчев В.Е. Нанесение пленок в вакууме. М.: Высшая школа, 1989. 110 с.: ил.

20. Комплексная автоматизация производства в радиоэлектронной промышленности / В.Н. Тилипалов, Л.Н. Алексеев, А.И. Лобановский и др. М.: Машиностроение, 1990. 248 с.: ил.

21. Лебедовский М.С., Помухин Н.П., Федотов А.И. Автоматизация производства конденсаторов. М.: Энергия, 1976. 200 с.: ил.

22. Моряков О.С., Буганина Т.И. Пленки и ленты в производстве корпусов полупроводниковых приборов. М.: Высшая школа, 1982. 72 с.: ил.

23. Моряков О.С. Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства. М.: Высшая школа, 1989. 239 с.: ил.

24. Мартынов В.В., Базарова Т.Е. Литографические процессы. М.: Высшая школа, 1990. 128 с.: ил.

Приложение 1

ПЕРЕЧЕНЬ СТАНДАРТОВ НАИБОЛЬШЕЙ ЧАСТОТЫ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ

ГОСТ 2.102-68 Виды и комплектность конструкторских документов.

ГОСТ 2.108-68 Спецификация.

ГОСТ 2.109-73 Основные требования к чертежам.

ГОСТ 2.301-68 … 2.217-69 Общие правила выполнения чертежей.

ГОСТ 2.401-68 … ГОСТ 2.409-74 Правила выполнения чертежей различных деталей.

ГОСТ 25347-82 Основные нормы взаимозаменяемости. ЕСДП. Поля допусков и рекомендуемые посадки.

ГОСТ 8.417-81 ГСИ. Единицы физических величин.

ГОСТ 2.70-1-84 Схемы. Виды и типы.

ГОСТ 2.702-75 Правила выполнения электрических схем.

ГОСТ 2.703-68 Правила выполнения кинематических схем.

ГОСТ 2.704-76 Правила выполнения гидравлических и пневматических схем.

ГОСТ 2.770-68 Обозначение условные графические в схемах. Элементы кинематики.

ГОСТ 2.781-96 Обозначения условные графические. Аппараты гидравлические и пневматические, устройства управления и приборы контрольно-измерительные.

ГОСТ 2.782-96 Обозначения условные графические. Машины гидравлические и пневматические.

ГОСТ 2.783-69 Элементы привода и управления общего применения.

ГОСТ 7.1-2003 Библиографическая запись. Библиографическое описание. Общие требования и правила составления.

Приложение 2