41.Негативная литография
42Позитивная литография
43. 10 Шагов фотолитографии
1.Подготовка поверхности (промывка и сушка)
Дегидратационная сушка в закрытой камере с откачкой
Результат: чистая обезвоженная поверхность
2.Нанесение фоторезиста
3.Сушка
Частичное испарение растворителей фоторезиста
Улучшение адгезии
Улучшение однородности
Улучшение сопротивляемости травлению
Оптимизация фотопоглощения
4.Совмещение фотошаблона и экспонирование
Нанесение изображения на Подложку с нанесенным резистом
Активация фоточувствительных компонентов фоторезиста
5.Проявление
Растворимые области фоторезиста растворяются подходящим хим. реагентом;
На поверхности возникают видимые островки и окна в фоторезисте;
6.Стабилизирующий отжиг
Испарение оставшегося фоторезиста
Улучшение адгезии
Повышенная температура
7.Контроль и исправление дефектов
8.Травление
9.Удаление фоторезиста
10.Заключительный контроль
44. Какие вещества являются предшественниками углеродных наноструктур
Предшественниками углеродных структур являются волокна:
полиакрилонитрил, (ПОЛИАКРИЛОНИТРИЛЬНОЕ, ПАН- ВОЛОКНО)
(акриловое волокно) - синтетическое волокно, формуемое из растворов полиакрилонитрила или его производных. По многим свойствам близко к шерсти, устойчиво к свету и другим атмосферным агентам, кислотам, слабым щелочам, органическим растворителям. Из полиакрилонитрильного волокна изготовляют верхний и бельевой трикотаж, ковры, ткани. Основные торговые названия: нитрон, орлон, акрилан, кашмилон, куртель, дралон, вольпрюла).
пек ( пека, м. (англ. pek) (тех.). Густое, быстро застывающее вещество, остающееся после переработки смолы, дегтя, нефти, перегонки сланцев и т. п. Пек идет на изготовление асфальта.
вискозное волокно (позднелат. viscosus - вязкий, клейкий, от лат. viscum - клей), концентрированный раствор ксантогената целлюлозы в разбавленном растворе едкого натра. В. применяют для получения вискозных волокон и плёнок ).
Около 95% углеродных волокон получают из полиакрилонитрила.
45. Методы получения и свойства углеродных нанотрубок и нановолокон
В сложной классификации методов получения этих материалов можно выделить две основные группы методов:
возгонка- (сублимация, переход вещества при нагревании из твердого прямо в газообразное состояние, без превращения в жидкость) графита и последующая десублимация;
пиролиз- ( Разложение и др. превращения химических соединений при нагревании) углеводородов.
Упрощенно механизм роста УНТ заключается в следующем. Углерод, образующийся при термическом разложении углеводорода, растворяется в наночастице металла. При достижении высокой концентрации углерода в частице на одной из граней частицы-катализатора происходит энергетически выгодное «выделение» избыточного углерода в виде искаженной полуфуллереновой шапочки. Так зарождается нанотрубка. Разложившийся углерод продолжает поступать в частицу катализатора, и для сброса избытка его концентрации в расплаве нужно постоянно избавляться от него. Поднимающаяся полусфера (полуфуллерен) с поверхности расплава увлекает за собой растворенный избыточный углерод, атомы которого вне расплава образуют связь С-С, представляющую собой цилиндрический каркас-нанотрубку.
Для практического применения УНТ в настоящее время ищется способ создания на их основе протяжённых волокон, которые в свою очередь можно будет сплести в многожильный провод. Уже удалось создать из углеродных нанотрубок протяженные волокна, которые обладают высокой электропроводностью и превосходящей сталь прочностью