- •Криовакуумная техника
- •Лекция №1
- •1.1. Понятие о вакууме
- •1.2. Степени вакуума
- •Лекция №2
- •2.1. Вывод уравнения состояния для идеального газа
- •2.2. Законы идеальных газов
- •2.3. Испарение и конденсация
- •2.4. Термины и определения вакуумной техники
- •Лекция №3
- •3.1. Расчетные понятия вакуумной техники
- •3.2. Понятие о процессе откачки газа из вакуумной системы
- •3.3. Режимы течения газа по трубопроводу
- •Лекция №4
- •4.1. Взаимодействие газов с твердыми телами
- •4.2. Основные понятия теории массообмена
- •Лекция №5
- •5.1. Перенос теплоты в вакууме
- •5.2. Вязкость газов
- •Лекция №6
- •6.1. Тепловые нагрузки на криогенные вакуумные насосы
- •6.2. Классификация вакуумных насосов
- •6.3. Области действия вакуумных насосов
- •6.4. Объемные вакуумные насосы
- •6.4.1. Поршневые насосы
- •6.4.2. Жидкостно-кольцевые насосы
- •6.4.3. Роторные вакуумные насосы
- •Лекция №7
- •7.1. Молекулярные вакуумные насосы
- •7.2. Струйные вакуумные насосы
- •Лекция №8
- •8.1. Ионные вакуумные насосы
- •8.2. Испарительные насосы
- •8.3. Криогенные вакуумные насосы
- •Лекция №9
- •8.1. Криоадсорбционные вакуумные насосы
- •8.2. Криоконденсационные вакуумные насосы
- •Лекция №10
- •10.1. Конструкция криоконденсационных насосов
- •10.2. Другие типы сорбционных вакуумных насосов
- •Лекция №11
- •11.1. Техника измерения общего и парциального давлений газа
- •Лекция №12
- •12.1. Специфика измерения вакуума при низких температурах
- •12.2. Герметичность вакуумных систем
- •12.3. Измерение и контроль основных параметров вакуумных насосов
- •Лекция №13
- •13.1. Запорно-регулирующая арматура вакуумных систем
- •13.2. Элементы вакуумных систем
- •13.3. Ловушки
- •Лекция №14
- •14.1. Типовые схемы вакуумных установок
- •Лекция № 15
- •15.1. Методика расчета вакуумных систем
- •Лекция №16
- •16.1. Выполнение принципиальных вакуумных схем
6.4.1. Поршневые насосы
В этих насосах откачка осуществляется за счет периодического изменения объема цилиндра при перемещении поршня. Поршневые вакуумные насосы широко применяют в промышленности для откачки сухих газов и газов с примесью капельной жидкости.
Цилиндры поршневых насосов могут быть простого и двойного действия, с водяным или воздушным охлаждением. Обычные поршневые насосы с самодействующими клапанами имеют предельное давление откачки рпр = 4·103…1·104 Па. Улучшение рпр достигается перепуском газа из мертвого пространства в конце хода поршня во вторую полость цилиндра, где осуществляется процесс всасывания.
Преимуществами поршневых вакуумных насосов являются высокий КПД, надежность работы, возможность длительной эксплуатации.
К недостаткам данного типа насосов следует отнести неравномерность процесса откачки, большие потери на трение, большие массогабаритные показатели.
6.4.2. Жидкостно-кольцевые насосы
Эти насосы (рис.6.3) имеют в цилиндрическом корпусе 1 эксцентрично расположенное рабочее колесо 2 с неподвижно закрепленными лопатками.
Находящаяся в корпусе жидкость во время вращения под действием центробежных сил прижимается к стенкам корпуса и образует жидкостное кольцо 4.
Между жидкостным кольцом и лопатками насоса образуются отдельные ячейки неодинакового размера. Вначале их объем увеличивается, и газ через всасывающее отверстие 3 в торцевой крышке поступает в насос. Затем объем ячеек уменьшается, и сжатый газ через отверстие 5 удаляется из насоса.
Жидкостно-кольцевые вакуумные насосы по конструкции проще поршневых, так как не имеют клапанов и распределительных устройств. Предельное разрежение рпр таких насосов определяется давлением насыщенных паров рабочей жидкости.
Так, например, для водокольцевого насоса с рпр = (2…3)·103 Па быстрота действия составляет 25…500 л/с.
Достоинства жидкостно-кольцевых вакуумных насосов:
протекание процесса сжатия с интенсивным теплообменом позволяет откачивать легко разлагающиеся, полимеризующиеся и взрывоопасные газы и смеси;
наличие жидкостного кольца позволяет откачивать газы, содержащие пары, капельную жидкость, твердые инородные включения типа пыли и даже абразивные частицы.
К недостаткам данного типа насосов следует отнести:
высокую мощность, необходимую для вращения жидкостного кольца, и, как следствие этого, относительно низкий КПД;
высокое предельное остаточное давление 2,66…9,31 кПа для одноступенчатых и 0,133…0,665 кПа – для двухступенчатых;
невысокая окружная скорость на периферии рабочего колеса;
большая масса.
6.4.3. Роторные вакуумные насосы
Эти механические насосы с масляным уплотнением имеют несколько модификаций: пластинчато-роторные, пластинчато-статорные, и золотниковые (плунжерные).
Пластинчато-роторный насос
В цилиндрической камере 1 (рис. 6.4) насоса вращается эксцентрично расположенный ротор 2, в прорези которого свободно вставлены пластины 3 с пружиной 4. При вращении ротора пластины скользят по внутренней поверхности цилиндра и в камере образуется две области І – область всасывания и ІІ – область сжатия.
Полость І при вращении ротора увеличивает свой объем, в нее газ поступает через впускной патрубок 5, связанный с откачиваемым объемом. Объем полости сжатия ІІ, расположенный на выпускной стороне, уменьшается при вращении ротора, и в ней происходит сжатие газа. Эта полость соединена с клапаном 6. Когда давление газа в полости 2 станет достаточным для открытия клапана, произойдет выхлоп. Выхлопной клапан 6 находится под уровнем масла, что препятствует попаданию атмосферного воздуха в насос. В процессе работы зазоры в роторном механизме уплотняются рабочей жидкостью – маслом, благодаря чему отсутствует перетекание газа с выхода на вход. Масло заполняет вредное пространство (объем под клапаном), тем самым исключает его влияние, ведущее к повышению остаточного давления, а также обеспечивает смазку и частичное охлаждение насоса. Масло в камеру поступает через зазоры в корпусе из резервуара с маслом, где оно находится под атмосферным давлением, а через выхлопной клапан вновь возвращается в резервуар. Предельное давление определяется объемом вредного пространства, газовыделением материалов насоса и давлением насыщенных паров масла. Предельное давление для этого типа насосов Рпред = (3…6,6)·10-1 Па.
Пластинчато-роторные насосы выполняются обычно с быстротой действия до 6 л/с. Это объясняется тем, что в местах контакта пластин с камерой насоса достигаются достаточно высокие относительные скорости, что и ограничивает, главным образом, создание крупных пластинчато-роторных насосов.