- •Криовакуумная техника
- •Лекция №1
- •1.1. Понятие о вакууме
- •1.2. Степени вакуума
- •Лекция №2
- •2.1. Вывод уравнения состояния для идеального газа
- •2.2. Законы идеальных газов
- •2.3. Испарение и конденсация
- •2.4. Термины и определения вакуумной техники
- •Лекция №3
- •3.1. Расчетные понятия вакуумной техники
- •3.2. Понятие о процессе откачки газа из вакуумной системы
- •3.3. Режимы течения газа по трубопроводу
- •Лекция №4
- •4.1. Взаимодействие газов с твердыми телами
- •4.2. Основные понятия теории массообмена
- •Лекция №5
- •5.1. Перенос теплоты в вакууме
- •5.2. Вязкость газов
- •Лекция №6
- •6.1. Тепловые нагрузки на криогенные вакуумные насосы
- •6.2. Классификация вакуумных насосов
- •6.3. Области действия вакуумных насосов
- •6.4. Объемные вакуумные насосы
- •6.4.1. Поршневые насосы
- •6.4.2. Жидкостно-кольцевые насосы
- •6.4.3. Роторные вакуумные насосы
- •Лекция №7
- •7.1. Молекулярные вакуумные насосы
- •7.2. Струйные вакуумные насосы
- •Лекция №8
- •8.1. Ионные вакуумные насосы
- •8.2. Испарительные насосы
- •8.3. Криогенные вакуумные насосы
- •Лекция №9
- •8.1. Криоадсорбционные вакуумные насосы
- •8.2. Криоконденсационные вакуумные насосы
- •Лекция №10
- •10.1. Конструкция криоконденсационных насосов
- •10.2. Другие типы сорбционных вакуумных насосов
- •Лекция №11
- •11.1. Техника измерения общего и парциального давлений газа
- •Лекция №12
- •12.1. Специфика измерения вакуума при низких температурах
- •12.2. Герметичность вакуумных систем
- •12.3. Измерение и контроль основных параметров вакуумных насосов
- •Лекция №13
- •13.1. Запорно-регулирующая арматура вакуумных систем
- •13.2. Элементы вакуумных систем
- •13.3. Ловушки
- •Лекция №14
- •14.1. Типовые схемы вакуумных установок
- •Лекция № 15
- •15.1. Методика расчета вакуумных систем
- •Лекция №16
- •16.1. Выполнение принципиальных вакуумных схем
Лекция №13
Наибольшее давление запуска и время пуска сорбционного насоса
Измерение наибольшего давления запуска проводят главным образом у сорбционных насосов, нормальная работа которых во многом зависит от этого параметра.
Для этого натекателем устанавливают в измерительной камере давление, равное предполагаемому наибольшему давлению запуска. Если при последующей работе насоса в течение 1 ч давление в измерительной камере меняется не более чем на 10%, то давление на входе в насос принимают за наибольшее давление запуска.
При испытаниях сорбционных насосов иногда определяют время пуска насоса. Для этого откачивают измерительную камеру до давления
р = 10-4 Па и выключают насос. Затем натекателем напускают в измерительную камеру и насос сухой воздух (точка росы не выше -50°С) до атмосферного давления. С помощью насоса предварительного разрежения откачивают измерительную, камеру до давления запуска. Включают испытуемый насос и регистрируют время откачки измерительной камеры до давления р = 10-4 Па. Это время должно быть не более 30 мин.
13.1. Запорно-регулирующая арматура вакуумных систем
Запорно-регулирующая аппаратура представляет собой комплекс функциональных средств вакуумных систем, предназначенных для перекрытия газовых потоков, создания дозированных потоков газа, стабилизации давления газов в вакуумных системах и камерах, аварийной защиты вакуумных систем при разгерметизации, коммутации системы многопозиционной последовательной откачки и т.д.
Классификация различных вакуумных затворов приведена на рис. 13.1.
Клапан – устройство, позволяющее регулировать или полностью прекращать поток газа в вакуумной системе.
Затвор- вакуумный клапан, позволяющий соединять или разобщать элементы вакуумной системы.
Для перекрытия газовых потоков используют вакуумные клапаны и затворы, классифицированные по ряду признаков конструкционного и эксплуатационного характера.
Основными эксплуатационными характеристиками клапанов и затворов являются:
степень герметичности, определяемая потоком натекания газа через уп- лотнительную пару, которая в зависимости от эксплуатационных требований лежит в пределах 10-7… 10-11 Па·м3/с;
проводимость в открытом положении, определяемая отношением потока га- за Q, проходящего через полость вакуумного клапана, к разности давле- ний (p1 – р2 ) на его входном и выходном отверстиях;
быстродействие, определяемое временем герметичного перекрытия;
ресурс работы, определяемый числом циклов перекрытия уплотнитель- ной пары с обеспечением заданной степени герметичности;
минимальный поток газовыделения;
автоматизация.
Натекатель – вакуумный клапан, позволяющий регулировать и устанавливать малые потоки газа (например, при работе с газоанализаторами).
В качестве натекателей могут применяться пористые материалы, некоторые металлы, проницаемые для отдельных газов, например платина для водорода, серебро для кислорода и т.д.
Шибер – прямоугольная или фигурная пластина, используемая в качестве заслонки.
Напускной клапан – вакуумный клапан, предназначенный для напуска воздуха или газа в вакуумную систему до атмосферного или любого заданного давления.