Оборудование, приборы, инструмент, оснастка, материалы

1. Установка нанесения фоторезиста УНФ.

2. Установка экспонирования ЭМ-526.

3. Шкаф вытяжной 2Ш-НЖ.

4. Шкаф сушильный СНОЛ-2,5.

5. Плитка электрическая.

6. Микроскоп МЕТАМ-Р, Биолам-М.

7. Часы.

8. Фотошаблон.

9. Пинцет металлический.

10. Пинцет фторопластовый.

11. Пипетка.

12. Стакан фторопластовый.

13. Стакан кварцевый (ковш).

14. Тара фторопластовая для сушки.

15. Тара полистироловая для хранения пластин.

16. Перчатки тканевые.

17. Перчатки резиновые.

18. Пластина кремниевая с окислом кремния.

19. Пластинка кремниевая, окисленная с пленкой алюминия.

20. Фоторезист позитивный ФП-383 в склянке.

21. Проявитель: 0,5 % раствор гидроокиси калия в воде.

22. Травитель буферный для окисла кремния: фтористоводород- ная кислота 100 мл, фтористый аммоний 110 г, вода дистиллированная 220 мл.

23. Травитель для алюминия: ортофосфорная кислота 50 % , вода дистиллированная 50 %.

24. Ацетон.

25. Вода питьевая водопроводная.

Литература

1. Процессы микро- и нанотехнологии / Т.И. Данилина, К.И. Смир-нова, В.А. Илюшин, А.А. Величко. – Томск: ТУСУР, 2005.

2. Курносов А.И., Юдин В.В.Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. – М.: Высш. шк., 1986.

ПРОЦЕССЫ МИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИИ

Методическое руководство

к лабораторным работам

Редактор Т. П. Петроченко

Технический редактор Н. В. Гаврилова

Компьютерная верстка С. Н. Кондратенко

Подписано в печать 29.01.2007. Формат 60  84 1/16. Бумага офсетная.

Тираж 100 экз. Уч.-изд. л. 3,25. Печ. л. 3,5. Изд. № 322. Заказ № .

Цена договорная.

Отпечатано в типографии

Новосибирского государственного технического университета

630092, г. Новосибирск, пр. К. Маркса, 20