6. Обработка результатов эксперимента

1. Обработать полученные спектры на ЭВМ с помощью стандартных программ: сглаживание, дифференцирование.

2. Вывести обработанные спектры на печатающее устройство.

3. Провести расшифровку полученных оже-спектров с учетом возможной зарядки образца.

4. Рассчитать количественный состав образца. Полученные данные представить в виде таблицы.

Элемент
С, %(ат.)

5. Построить профиль распределения элементов ( указанных преподавателем по глубине образца С = f(х), где х  толщина распыленного слоя, нм. х  определить по номограмме (из справочника), учитывая плотность тока первичных ионов j, мА/см² и коэффициент распыления S.

7. Контрольные вопросы

1. Принцип работы энергоанализатора?

2. Чем определяется разрешающая способность спектрометра?

3. Какова толщина анализируемого слоя методом oже-спектроскопии?

4. От чего зависит интенсивность линий оже-спектра?

5. Методы определения количественного состава с помощью ЭОС?

6. Глубина выхода оже-электронов.

7. Механизм оже-процесса.

8. Вероятность оже-эффекта.

9. Энергетическое разрешение в ЭОС.

Литература

1. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии/ Под ред. Д. Бриггса, М. П. Сиха –М.: Мир, 1987.

2. Фелдман Л., Майер Д., Основы анализа поверхности и тонких пленок. –М.: Мир, 1989.