10. Обгрунтувати хід залежності ргран дифузійних насосів від температури робочої рідини.

Граничний тиск спочатку зменшується, що пояснюється зменшенням протидифузіїї відкачуваного газу через струмінь робочої пари в міру збільшення її густини, потім проходить через мінімум і збільшується через те, що робоча пара потрапляє в відкачуваний об’єм.

11. Завдяки чому в бустерних насосах досягається можливість оптимальної відкачки в діапазоні тисків 10-1 – 10-4 торр? Обгрунтувати відповідь.

На верхній межі діапазону (високі тиски) механізм відкачки чисто вязкісний, на нижній – молекулярно-вязкісний. Для кращої відкачки використовуються струмені пару різної густини, випускаючи їх послідовним зєднанням ступенів відкачки. В останньому ступені густина пари найбільша, що забезпечує граничний тиск. В верхніх густина зменшується через те, що вони працюють в умовах меншого протиску.

12. Як зміняться хар-ки ступінчастого дифузійного паромасляного насоса, якщо в якості робочої рідини буде використовуватися ідеальне масло, яке не піддається крекінгу, а має за будь-яких обставин 1 фракцію? Пояснити детально.

Якщо фракція буде лише одна, то це звузить діапазон оптимальної відкачки, оск різні фракції працюють в різних діапазонах. Наприклад якщо залишатимуться тільки легкі фракції, то насос потребуватиме сильного попереднього розрідження, а якщо важкі – збільшиться граничний тиск.

13.Детально пояснити з фізичної точки зору такі параметри турбомолекулярного насоса, як рзап та ргран. Які значення цих параметрів мають сучані турбомолекулярні насоси?

Тиск запуску визначається тим, що при великому тиску виникає сильне тертя повітрям ротора і статора, велике навантаження на двигун, розігрів пластин, що призводить до їх розширення і несправності. На теперішній момент значення .

Тиск граничний визначається виділенням водню зі стінок насосу та перетіканням його збоку форвакууму. Щоб запобігти цим ефектам насос піддається попередньому розігріву до 400◦С.

, за новітніми даними .

14.Пояснити причини зменшення Sн турбомолекулярних насосів при р<10-8 торр та р>10-13 торр. Які типи насосів попереднього рорідження потребують турбомолекулярні насоси і чому?

Тиск запуску визначається тим, що при великому тиску виникає сильне тертя повітрям ротора і статора, велике навантаження на двигун, розігрів пластин, що призводить до їх розширення і несправності. На теперішній момент значення .

Тиск граничний визначається виділенням водню зі стінок насосу та перетіканням його збоку форвакууму. Щоб запобігти цим ефектам насос піддається попередньому розігріву до 400◦С.

, за новітніми даними .

для попередньої відкачки потрібні насоси з великою швидкістю відкачки, бо самі турбомолекулярні насоси також дуже швидкі.

15.Як будуть змінюватися параметри дифузійного насоса, якщо вимкнути охолодження його корпусу? Вважати, що до моменту вимкнення охолодження оптимальним був граничний тиск ргран, а Sн будо меншим за Sнопт.

Якщо вимкнути охолодження, то за рахунок збільшення температури спочатку спадає а потім знову зростає (див питання 10), а швидкість відкачки спочатку зростає через те, що збільшується потоку і густина пари і захоплюється більше газу, а потім спадає через те, що відсутня конденсація на стінках, пар не утримується і проникає в реципієнт.