Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
1-37.docx
Скачиваний:
3
Добавлен:
17.11.2019
Размер:
301.45 Кб
Скачать
  1. Кріозахоплюючі насоси

Ці насоси дозволяють поглинати гази, які не конденсуються, завдяки постійній подачі на кріопанель газів, що легко конденсуються.

Принцип дії такий: на кріопанель подають газ, що швидко конденсується, який “замуровує” частинки газу які потрапили на кріопанель, але не конденсуються на ній, і тому якби не було допоміжного газу, то вони б не утримувались на кріопанелі.

При відкачці водню потрібно велику кількість діоксиду вуглецю, що збільшує теплове навантаження на кріонасос.

  1. Кріоконденсаційні насоси:

Метод базується на конденсації газів на металах, охолоджених до температури 20 К і нижче. Охолоджена поверхня грає роль насоса. У даних насосах відкачка можлива у випадку, коли тиск відкачуваного газу у вакуумній системі вищий вищий за тиск його насиченої пари у насосі. Для наглядності температури 20,4 К (зріджений водень) достатньо для відкачки N2, O2, Ar, Co до тиску 10^(-10) мм рт. ст., але не достатньо для відкачки водню,неону, гелію...тому спочатку використовують традиційну відкачку (~10^(-6) мм рт.ст.) яка зменшує парціальний тиск газів що не конденсуються до 10^(-10).На практиці часто використовується гелій замість водню, хоча він дорожчий...Параметри такого насосу: за Т=4,2 К (зріджений гелій) є відкачка водню ~10^(-7) мм рт. ст. без попередньої відкачки; за Т=2,8 К вже йде відкачка гелію + тиск насиченої пари водню ~ 10^(-12)мм рт. ст.

  1. Конденсаційно-адсорбційні насоси

Це той самй кріоадсорбційний метод, тільки тут сорбент використовується у вигляді пористих шарів допоміжного газу(пара води, діоксид вуглецю,пара спирту, ацетону...),що легко конденсується.

Робота така: спочатку камеру відкачують форвакуумним та високовакуумним насосом до найнижчого тиску, потім їх від'єднують, тоді охолоджують кріопанель і запускають допоміжний газ, щоб на поверхні утворився шар конденсату. Конденсація допоміжних газів та пари дозволяє отримувати пористі адсорбенти з чистою поверхнею.

  1. Кріогетерні насоси

Принцип дії базується на фізичному та хімічному зв'язуванні газів на поверхні та в об'ємі плівки активної речовини (титан), що неперервно наноситься на кріопанель. Ці насоси мають питому ємність приблизно в три рази більшу, ніж насоси, у яких титан наноситься за нормальної температури. Справа в тім, що при низькій температурі міграція осаджуваних частинок гетера загальмована, і тому утворюється пориста плівка, з добре розвиненою поверхнею. До того при кріовідкачці не виділяються сторонні гази, і знижується рівноважний тиск газів, що легко конденсуються. Для роботи такого насоса достатньо 60-80 К.

  1. Кріоадсорбційні насоси

Метод базується на сорбції газів твердим сорбентом, нанесеним на кріоповерхню. Сорбентом переважно використовують активоване вугілля, цеоліти,окисні плівки металів. Кріопанель охолоджується закороткий час до температури <=4К , що дозволяє відкачувати водень, неон та гелій. У таких насосах важливо забезпечити хороший тепловий контакт між сорбентом та кріоповерхнею, та тепловий захист. Не слід допускати забруднення кріонасосів газами,що легко конденсуються, що призведе до зменшення імовірності конденсації водню. В порівнянні з простими сорбційними насосами, ці можуть відкачати об'єм до граничного тиску на декілька порядків нижчого (~ 10^(-6) мм рт. ст.)

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]