- •Криовакуумная техника
- •Лекция №1
- •1.1. Понятие о вакууме
- •1.2. Степени вакуума
- •Лекция №2
- •2.1. Вывод уравнения состояния для идеального газа
- •2.2. Законы идеальных газов
- •2.3. Испарение и конденсация
- •2.4. Термины и определения вакуумной техники
- •Лекция №3
- •3.1. Расчетные понятия вакуумной техники
- •3.2. Понятие о процессе откачки газа из вакуумной системы
- •3.3. Режимы течения газа по трубопроводу
- •Лекция №4
- •4.1. Взаимодействие газов с твердыми телами
- •4.2. Основные понятия теории массообмена
- •Лекция №5
- •5.1. Перенос теплоты в вакууме
- •5.2. Вязкость газов
- •Лекция №6
- •6.1. Тепловые нагрузки на криогенные вакуумные насосы
- •6.2. Классификация вакуумных насосов
- •6.3. Области действия вакуумных насосов
- •6.4. Объемные вакуумные насосы
- •6.4.1. Поршневые насосы
- •6.4.2. Жидкостно-кольцевые насосы
- •6.4.3. Роторные вакуумные насосы
- •Лекция №7
- •7.1. Молекулярные вакуумные насосы
- •7.2. Струйные вакуумные насосы
- •Лекция №8
- •8.1. Ионные вакуумные насосы
- •8.2. Испарительные насосы
- •8.3. Криогенные вакуумные насосы
- •Лекция №9
- •8.1. Криоадсорбционные вакуумные насосы
- •8.2. Криоконденсационные вакуумные насосы
- •Лекция №10
- •10.1. Конструкция криоконденсационных насосов
- •10.2. Другие типы сорбционных вакуумных насосов
- •Лекция №11
- •11.1. Техника измерения общего и парциального давлений газа
- •Лекция №12
- •12.1. Специфика измерения вакуума при низких температурах
- •12.2. Герметичность вакуумных систем
- •12.3. Измерение и контроль основных параметров вакуумных насосов
- •Лекция №13
- •13.1. Запорно-регулирующая арматура вакуумных систем
- •13.2. Элементы вакуумных систем
- •13.3. Ловушки
- •Лекция №14
- •14.1. Типовые схемы вакуумных установок
- •Лекция № 15
- •15.1. Методика расчета вакуумных систем
- •Лекция №16
- •16.1. Выполнение принципиальных вакуумных схем
2.4. Термины и определения вакуумной техники
Полный перечень терминов и определений вакуумной техники представлен в следующих нормативных документах: ГОСТ 5197-70, ГОСТ 24054-80, ОСТ 11066.001-73), ОСТ11293.031-81.
Ниже приведены основные термины и определения.
Предельное остаточное давление – наименьшее давление, которое может быть достигнуто в определенных условиях конкретными устройствами для откачки.
Откачка – уменьшение молекулярной концентрации газа с помощью устройств, удаляющих или поглощающих газ.
Форвакуум – вакуум, создаваемый насосом, более низкого вакуума при последовательной работе нескольких насосов.
Натекание – проникновение газа из окружающей среды в откачиваемый (откачанный) сосуд.
Газовыделение – выделение газа из материала в вакуум.
Остаточный газ – газ, оставшийся в вакуумной системе после откачки.
Молекулярное течение – течение газа, при котором средняя длина свободного пути молекул больше или сравнима с минимальными размерами элемента вакуумной системы.
Вязкостное течение – ламинарное течение, в котором определяющее значение имеют вязкостные силы.
Обратный поток паров рабочей жидкости – перемещение паров рабочей жидкости в направлении, обратном направлению откачки.
Нормальное состояние газа – состояние газа при нормальных условиях: давление 101325Па (760мм рт. ст.) и температуре 273К (00С).
Коэффициент захвата – отношение числа молекул, захваченных поверхностью к общему числу молекул, попадающих на эту поверхность.
Коэффициент аккомодации – отношение энергии, действительно полученной молекулами газа от твердого тела, к энергии, которую они получили бы при ударе, если бы при ударе установилось температурное равновесие между твердым телом и отраженными от него молекулами.
Лекция №3
Герметичность вакуумной системы – свойство элементов вакуумной систем и их соединений обеспечивать настолько малое проникновение газа через них, чтобы им можно было пренебречь в рабочих условиях.
Вакуумная система – совокупность устройств для создания вакуума, приборов для вакуумных измерений, а также сосудов и связывающих их трубопроводов.
Элемент вакуумной системы – прибор, сборочная единица или деталь, предназначенная для выполнения определенных функций в вакуумной системе.
Вакуумная установка – установка, состоящая из вакуумной системы и устройств, обеспечивающих ее действие (например, электродвигатели, аккумуляторы, печи).
Вакуумный агрегат – вакуумная установка, конструктивно выполненная как единое целое.
Откачиваемый сосуд – сосуд, в котором создается вакуум.
Откачиваемая камера – откачиваемый сосуд, в котором создается вакуум, необходимый для различных технологических процессов.
Предохранительный баллон – сосуд, предназначенный для предохранения элементов вакуумной системы от попадания в них посторонних тел.
Вакуумный клапан – устройство, позволяющее регулировать или полностью прекращать поток газа в вакуумной системе.
Вакуумный затвор – вакуумный клапан, позволяющий соединять и разобщать элементы вакуумной системы.
Вакуумный кран – вакуумный клапан, изменение проводимости в котором осуществляется поворотом вокруг оси детали конической или цилиндрической формы с одним или несколькими проходами.
Натекатель – вакуумный клапан, позволяющий регулировать и устанавливать малые потоки газа.
Напускной клапан – вакуумный клапан, предназначенный для пуска воздуха или газа в вакуумную систему до атмосферного или любого заданного давления.
Ловушка – устройство для улавливания паров или газов, применяемое с целью предотвращения их проникновения из одной части вакуумной системы в другую или снижения их парциального давления.
Конденсационная ловушка – ловушка, улавливающее действие которой основано на конденсации паров и газов на внутренних охлаждаемых поверхностях. В зависимости от места расположения в вакуумной системе различают ловушки конденсационные форвакуумные и ловушки конденсационные высоковакуумные.
Сорбционная ловушка – ловушка, улавливающее действие которой основано на сорбции паров и газов на поверхности сорбента.