Фотоионизация
Схема процесса |
Существует порог процесса |
Зависимость сечения фотоионизации атома гелия от длины падающего излучения
Зависимость сечения фотоионизации атомов кремния, находящегося в
основном состоянии от длины волны фотона
Page 11
Фотоионизация
Зависимость сечения фотоионизации атомов и молекул из основного состояния у порога
Page 12
Гибель заряженных частиц
Рекомбинация ионов и электронов
h
|
Фоторекомбинация |
Тройная рекомбинация |
|
(радиационная) |
|
|
h
h
или h
|
Рекомбинация в парных |
Ударно- радиационная |
столкновениях |
рекомбинация |
|
Гибель заряженных частиц
Кинетика объемной рекомбинации
r – коэффициент объемной рекомбинации
– плотность плазмы
|
Плотность |
Характерное время |
|
электронов |
|
рекомбинации |
|
рекомбинирующей |
|
|
|
плазмы |
|
|
При наличии |
|
Коэффициент |
|
|
рекомбинации |
|
ионизации |
|
|
|
ионов |
|
|
|
|
Page 14 |
|