9-2-6-01__2014__Metody_poluchenija_nanostrukturirovannyh_pokrytij_v_mashinostroenii
.pdf
Характеристика |
Метод нанесения покрытия |
|
|
|
|
|
|
|
CVD |
PVD |
ФПУ |
|
|
|
|
Толщина |
210 (покрытия |
0,16 (покрытия |
0,01 2 |
наносимого |
увеличивают |
толщиной 36 мкм |
|
покрытия, мкм |
радиус скругления |
увеличивают |
|
|
режущей кромки) |
радиус скругления |
|
|
|
режущей кромки) |
|
|
|
|
|
Состав наносимого |
TiC, TiN, TiCN, Al2O3 |
TiN, TiC, TiCN, |
На основе |
покрытия |
|
TiAlN, ZrC, HfN, |
соединений |
|
|
HfC, CrN, Al2O3 и |
кремния и бора |
|
|
др. |
|
|
|
|
|
Микротвердость |
2024 |
2135 |
до 34 |
наносимого |
|
|
|
покрытия, ГПа |
|
|
|
|
|
|
|
Коэффициент |
0,40,6 |
0,10,5 |
0,070,15 |
трения |
|
|
|
|
|
|
|
Температура |
400600 |
4001100 |
1100 |
окисления, °С |
|
|
|
|
|
|
|
121
Характеристика |
Метод нанесения покрытия |
|
|
|
|
|
|
|
CVD |
PVD |
ФПУ |
|
|
|
|
Остаточные |
Высокие |
Растягивающие |
Сжимающие |
напряжения в |
растягивающие |
|
|
поверхностном |
|
|
|
слое металла |
|
|
|
|
|
|
|
Термическая |
Требуется |
Не требуется |
Не требуется |
обработка после |
дополнительная |
|
|
нанесения |
термическая |
|
|
покрытия |
обработка для |
|
|
|
снятия остаточных |
|
|
|
напряжений |
|
|
|
|
|
|
Расходные |
Дорогостоящие |
Дорогостоящие |
Доступные и |
материалы |
высокочистые |
катоды (мишени) |
дешевые |
|
химические |
вакуумного |
материалы: |
|
материалы |
переплава |
аргон, жидкий |
|
|
|
Сетол (расход при |
|
|
|
односменной |
|
|
|
работе 0,5 л/год) |
|
|
|
|
122
|
Характеристика |
Метод нанесения покрытия |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
CVD |
PVD |
ФПУ |
|
|
|
|
|
|
Объем камеры, мм |
Ø325х1250 (Bernex |
Ш 400, Г 380, В 520 |
Процесс |
|
|
BPX 325S); |
(PLATIT PL70); Ø400 |
осуществляется |
|
|
Ø530х1250 (Bernex |
UNICOAT 600 |
без применения |
|
|
BPX Pro 530L) |
(«ЭЛАНПРАКТИК»); камер |
|
|
|
|
Ø600, Н 600 (ННВ |
|
|
|
|
6,6И1) |
|
|
|
|
|
|
|
Максимальная |
По твердосплавным |
Осевой инструмент |
Не |
|
загрузка, кг |
пластинам – 200 кг |
Ø10х70 162 шт., |
ограничивается |
|
|
(установка Bernex |
червячные фрезы |
|
|
|
BPX 325S); 400 кг |
Ø80х180 6 шт., |
|
|
|
(установка Bernex |
пластины Ø20х6 |
|
|
|
BPX Pro 530L) |
1248 шт. (установка |
|
|
|
|
PLATIT PL70). |
|
|
|
|
Осевой инструмент |
|
|
|
|
Ø20х60 108 шт., |
|
|
|
|
червячная фреза |
|
|
|
|
Ø80х80 32 шт. |
|
|
|
|
(установка UNICOAT |
|
|
|
|
600 |
|
123 |
|
|
(«ЭЛАНПРАКТИК»). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Характеристика |
Метод нанесения покрытия |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
CVD |
PVD |
ФПУ |
|
|
|
|
|
|
Типичное время |
35 час. |
Для PLATIT PL70 |
От 3 сек. до 20 мин |
|
цикла |
|
откачка+нагрев 50 |
|
|
|
|
мин, |
|
|
|
|
очистка+травление |
|
|
|
|
1020 мин, осаждение (2 |
|
|
|
|
мкм) 1,5ч, охлаждение |
|
|
|
|
(в Не) 2030 мин. |
|
|
|
|
Для UNICOAT 600 |
|
|
|
|
(«ЭЛАНПРАКТИК») |
|
|
|
|
откачка 25 мин., |
|
|
|
|
очистка 20 мин., |
|
|
|
|
осаждение (3 мкм) 120 |
|
|
|
|
мин., охлаждение 15 |
|
|
|
|
мин. |
|
|
|
|
|
|
|
Производительнос |
35 час. на |
3,25 час. на 162 шт. |
От 15 до 200 мм2/с |
|
ть |
загрузку |
Ø10х70; |
упрочняемой |
|
|
|
6 ч. на 6 шт. червячных |
поверхности |
|
|
|
фрез Ø80х180; 3 ч на |
|
|
|
|
1248 шт. пластин Ø20х6 |
|
124 |
|
|
(PLATIT PL70) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Характеристика |
Метод нанесения покрытия |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
CVD |
PVD |
ФПУ |
|
|
|
|
|
|
Экологические |
Токсичность |
Необходимость |
Использование |
|
проблемы |
используемых |
постоянной |
местной вытяжной |
|
|
реагентов, |
вытяжки, |
вентиляции при |
|
|
взрывоопасность |
обеспечивающей |
профилактике |
|
|
|
отсутствие паров |
плазмохимического |
|
|
|
масла в рабочих |
реактора |
|
|
|
помещениях и |
|
|
|
|
местной вытяжной |
|
|
|
|
вентиляции, |
|
|
|
|
включаемой при |
|
|
|
|
открытии |
|
|
|
|
вакуумной камеры |
|
|
|
|
и выгрузке |
|
|
|
|
инструмента |
|
|
|
|
|
|
|
Потребляемая |
2040 |
30 (UNICOAT 600); |
5 |
|
мощность |
|
60 (ННВ 6,6И1); 40 |
|
|
установки, кВт |
|
(Станкин АПП950) |
|
|
|
|
60 (Станкин |
|
|
|
|
АПП1600); 15 |
|
125 |
|
|
(PLATIT PL70) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Характеристика |
Метод нанесения покрытия |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
CVD |
PVD |
ФПУ |
|
|
|
|
|
|
Масса, кг |
2000 |
600 (UNICOAT 600); |
110 |
|
|
|
1200 (PLATIT PL70); |
|
|
|
|
2000 (Станкин |
|
|
|
|
АПП950); 3200 |
|
|
|
|
(Станкин АПП1600) |
|
|
|
|
|
|
|
Минимальная |
100150 (под |
100150 (под |
15 |
|
площадь участка |
напыление), |
напыление), |
|
|
для реализации |
100150 (для |
100150 (для |
|
|
процесса, м2 |
подготовки |
подготовки |
|
|
|
инструмента) |
инструмента) |
|
|
|
|
|
|
|
Обслуживающий |
Оператор |
Оператор установок |
Оператор, рабочий |
|
персонал |
установок |
вакуумного |
для подготовки |
|
|
вакуумного |
напыления (PECVD), |
инструмента |
|
|
напыления |
вакуумщик, электрик, |
|
|
|
(PECVD), |
электронщик, |
|
|
|
вакуумщик, |
рабочие для |
|
|
|
электрик, |
подготовки |
|
|
|
электронщик, |
инструмента |
|
|
|
рабочие для |
|
|
126 |
|
подготовки |
|
|
|
|
инструмента |
|
|
|
|
|
|
|