9-2-6-01__2014__Metody_poluchenija_nanostrukturirovannyh_pokrytij_v_mashinostroenii

Рабочая температура DLC покрытия до 350 Со, свыше этой температуры коэффициент трения возрастает, в результате чего алмазоподобные покрытия имеют более высокую скорость износа.

DLC покрытия хорошо зарекомендовали себя и успешно применяются в машиностроении, медицине, оборонном производстве, производстве товаров народного потребления.

Вакуумная установка для нанесения алмазоподобных покрытий на металлы, оптику, сплавы с применением ионноплазменных источников плазмы. Установка позволяет наносить покрытия на изделия с низкой рабочей температурой. Установка может работать как в ручном, так и в автоматическом режиме по заданной программе с помощью персонального компьютера.

Состав вакуумной установки:

Размеры камер:

-диаметр, мм - 500-2000,

-высота или длина, мм - 500-2500,

-Вакуумные камеры вертикального и горизонтального 61 исполнения.

Турбомолекулярный насос. Форвакуумный агрегат. Форвакуумные клапаны.

Высоковакуумный пневмозатвор с пневмоцилиндром.

Сепарированные источники плазмы с электронным поджигом и импульсными блоками питания.

Ионный источник газа с импульсным блоком питания.

Система нагрева подложек с блоком управления и контроля температуры фирмы Siemens.

Система гидравлическая SMC, FESTA.

Система пневматическая SMC, FESTA.

Система контроля качества очистки поверхности и анализа остаточной среды PPC 1000.

Расходомеры технологического газа с комплектом натекателей.

Комплект технологической оснастки с блоком управления и приводом

вращения.

Вакуумметр.

62

Стойка управления на базе технологических контроллеров фирмы AdvanTech.

Стойка питания.

Бесконтактный прибор контроля температуры.

63

Вакуумное оборудование для нанесения защитнодекоративных и коррозионностойких покрытий

Вакуумное оборудование для нанесения защитно-декоративных покрытий включающее в себя несколько видов технологических источников позволяет получать покрытия широкого спектра цветов на изделия из различных материалов при пониженных температурах.

Для подготовки поверхности металлической подложки, особенно для декоративных покрытий, изготавливаются установки электролитно-плазменного полирования УПП, которые повышают качество поверхности на 2-3 класса (уменьшают шероховатость), тем самым обеспечивают получение покрытий с высокими свойствами.

64

Технические характеристики:

1. Размеры камер:

•Диаметр, мм - 500-2000

•Высота или длина, мм - 500-2500

•Вакуумные камеры вертикального и горизонтального исполнения Вакуумная система может быть построена с применением разных откачных средств. Технологические источники:

•Вакуумные дуговые испарители

•Ионные источники

•Магнетронные распылительные системы.

2. Технологическая оснастка планетарного типа.

3. Высоковакуумный пневмозатвор.

65

4.Азотная ловушка.

5.Вакуумные клапаны.

6.Импульсные блоки питания.

7.Стойка управления и питания.

8.Вакуумметр комбинированный.

9.Система автоматического управления расходом рабочих газов.

10.Гидравлическая и пневматическая системы

Установка может работать как в ручном, так и в автоматическом режиме по заданной программе с помощью персонального компьютера. Незначительная модернизация установки, по желанию Заказчика, может обеспечить нанесение алмазоподобных (DLC) покрытий.

66

Вакуумное оборудование для нанесения оптических покрытий

Установка позволяет наносить многослойные оптические покрытия широкого назначения в автоматическом режиме:

просветляющие,		отражающие,		интерференционные,
поляризующие,			токопроводящие,			защитные,
светопоглощающие и другие покрытия.
Технические характеристики:
Размеры						камер:
•	Диаметр,		мм	-		700-1300
•	Высота	или	длина,	мм	-	800-1500

• Вакуумные камеры вертикального исполнения.

Помимо традиционных средств откачки, применяются криогенные и турбомолекулярные насосы.

Технологическая оснастка может быть как с нижним, так и верхним приводом вращения, со сменным куполом, планетарного действия

67

Стойки питания и управления установки предусматривают применение импортных комплектующих стран Великобритании, Германии, Японии, США: контроллеры откачки, технологического процесса, температуры, привод вращения технологической оснастки, прибор анализа плазмы и управления расходом технологического газа, спектральная

система,

система

кварцевого

контроля.

Описание и взаимодействие основных частей установки.

Для традиционных средств откачки вакуумная система установки включает в себя форвакуумный агрегат с пластинчато-роторным и двухроторным насосом, высоковакуумный насос, азотную или фреоновую высоковакуумную ловушку, высоковакуумный затвор и клапаны пневматического действия.

68

В вакуумной камере размещаются: датчики контроля давлений, температуры, датчики спектрометрической системы, кварцевого контроля, технологическая оснастка, резистивные испарители, электронно-лучевой испаритель, ионизатор, дозатор напыляемого вещества, нагреватели, механизм перевода контрольных образцов с 8-ю сменными свидетелями. Технологическая оснастка планетарного вращения с 3-мя вращающимися дисками диаметром 300 мм, на которых размещаются оптические детали. Установка включает в себя две стойки управления и питания. Одна стойка обеспечивает управление установкой, вторая - питание и управление электронно-лучевым испарителем

69

70