1

Page 1

Зонная плавка 3.vi G:\ТМиЭТ\Зонная плавка 3.vi Last modified on 09.12.2018 at 17:17

Printed on 09.12.2018 at 17:20

Выращивание кристаллов методом зонной плавки

Примесь 1

Исходные данные:

Примесь 2

Примесь 3

Тип расчета

1,00E+15

x, см

C_T1(x)

C_T2(x)

C_T3(x)

Материал

1

Первая примесь

0,00

5,04E+12

5,43E+12

6,42E+12

2

Первая примесь летучая, вторая нелетучая

0,05

5,13E+12

5,53E+12

6,53E+12

Si

3

Три графика для трех примесей

0,10

5,21E+12

5,62E+12

6,63E+12

4

Первая примесь после одного прохода, вторая после многих

0,15

5,29E+12

5,71E+12

6,74E+12

Примесь 1

Примесь 2

Примесь 3

0,20

5,38E+12

5,80E+12

6,85E+12

0,25

5,46E+12

5,89E+12

6,96E+12

Zn

Zn

Zn

0,30

5,55E+12

5,98E+12

7,06E+12

Условия выращивания:

0,35

5,63E+12

6,07E+12

7,17E+12

0,40

5,71E+12

6,16E+12

7,28E+12

Скорость

f (мм/мин) (см/c)

f (мм/мин) (см/c)

f (мм/мин) (см/c)

0,45

5,80E+12

6,25E+12

7,38E+12

0,50

5,88E+12

6,34E+12

7,49E+12

кристаллизации

0,50

0,0008

5,00

0,0083

15,00

0,0250

0,55

5,97E+12

6,43E+12

7,60E+12

Длина расплавленной

L0 (см)

L0 (см)

L0 (см)

0,60

6,05E+12

6,52E+12

7,70E+12

1,00E+14

0,65

6,13E+12

6,61E+12

7,81E+12

зоны

3,00

3,00

3,00

0,70

6,22E+12

6,70E+12

7,92E+12

Диаметр кристалла

DКР (мм)

(см)

DКР (мм)

(см)

DКР (мм)

(см)

0,75

6,30E+12

6,79E+12

8,03E+12

50,00

5,00

50,00

5,00

50,00

5,00

0,80

6,39E+12

6,88E+12

8,13E+12

L (см)

L (см)

L (см)

0,85

6,47E+12

6,97E+12

8,24E+12

Длина слитка

0,90

6,55E+12

7,06E+12

8,35E+12

60,00

60,00

60,00

0,95

6,64E+12

7,16E+12

8,45E+12

Начальная

C0 (см-3)

C0 (см-3)

C0 (см-3)

1,00

6,72E+12

7,25E+12

8,56E+12

1,05

6,81E+12

7,34E+12

8,67E+12

концентрация примеси

5,00E+17

5,00E+17

5,00E+17

1,10

6,89E+12

7,43E+12

8,77E+12

Концентрация примеси

CП (см-3)

CП (см-3)

CП (см-3)

1,15

6,97E+12

7,52E+12

8,88E+12

в подпитывающем слое

5,00E+17

5,00E+17

5,00E+17

1,20

7,06E+12

7,61E+12

8,99E+12

1,25

7,14E+12

7,70E+12

9,10E+12

1,30

7,23E+12

7,79E+12

9,20E+12

Справочные и рассчитанные параметры технолог. процесса:

1,00E+13

1,35

7,31E+12

7,88E+12

9,31E+12

1,40

7,39E+12

7,97E+12

9,42E+12

Равновесный коэффициент

k0

k0

k0

1,45

7,48E+12

8,06E+12

9,52E+12

1,50

7,56E+12

8,15E+12

9,63E+12

распределения

1,00E-5

1,00E-5

1,00E-5

1,55

7,65E+12

8,24E+12

9,74E+12

a

a

a

Линейный коэффициент

1,60

7,73E+12

8,33E+12

9,84E+12

0,00E+0

0,00E+0

0,00E+0

1,65

7,81E+12

8,42E+12

9,95E+12

испарения

1,70

7,90E+12

8,51E+12

10,06E+12

Коэффициент диффузии

D

D

D

1,00E-4

1,00E-4

1,00E-4

1,75

7,98E+12

8,60E+12

10,17E+12

1,80

8,07E+12

8,70E+12

10,27E+12

k

k

k

1,85

8,15E+12

8,79E+12

10,38E+12

Эффективный коэффициент

1,90

8,23E+12

8,88E+12

10,49E+12

распределения

1,01E-5

1,09E-5

1,28E-5

1,95

8,32E+12

8,97E+12

10,59E+12

Приведенный

kИ

kИ

kИ

2,00

8,40E+12

9,06E+12

10,70E+12

2,05

8,49E+12

9,15E+12

10,81E+12

коэффициент испарения

0,00E+0

0,00E+0

0,00E+0

1,00E+12

2,10

8,57E+12

9,24E+12

10,91E+12

kОБ

kОБ

kОБ

10,0

12,5

15,0

17,5

20,0

22,5

25,0

27,5

30,0

32,5

35,0

37,5

40,0

42,5

45,0

47,5

50,0

52,5

55,0

57,5

60,0

Обобщенный коэффициент

0,0

2,5

5,0

7,5

2,15

8,66E+12

9,33E+12

11,02E+12

распределения

1,01E-5

1,09E-5

1,28E-5

x, см

2,20

8,74E+12

9,42E+12

11,13E+12

k*C0

k*C0

k*C0

5,04E+12

5,43E+12

6,42E+12