1
.5.pdf
Page 1 
Зонная плавка 3.vi G:\ТМиЭТ\Зонная плавка 3.vi Last modified on 09.12.2018 at 17:17
Printed on 09.12.2018 at 17:54
Выращивание кристаллов методом зонной плавки
Исходные данные:
|
|
|
Тип расчета |
|
Материал |
1 |
Первая примесь |
|
|
2 |
Первая примесь летучая, вторая нелетучая |
|
||
Ge |
|
|||
3 |
Три графика для трех примесей |
|
||
|
4 |
Первая примесь после одного прохода, вторая после многих |
||
|
Примесь 1 |
Примесь 2 |
Примесь 3 |
|
|
|
Ga |
Ga |
Zn |
Условия выращивания:
Скорость
кристаллизации
Длина расплавленной зоны
Диаметр кристалла
f (мм/мин) (см/c)
0,50 |
0,0008 |
L0 (см) |
|
8,00 |
|
DКР (мм) (см) |
|
50,00 |
5,00 |
f (мм/мин) (см/c) |
f (мм/мин) (см/c) |
||
0,50 |
0,0008 |
15,00 |
0,0250 |
L0 (см) |
|
L0 (см) |
|
8,00 |
|
3,00 |
|
DКР (мм) (см) |
DКР (мм) (см) |
||
50,00 |
5,00 |
50,00 |
5,00 |
Длина слитка |
L (см) |
L (см) |
L (см) |
|
60,00 |
60,00 |
60,00 |
||
|
||||
Начальная |
C0 (см-3) |
C0 (см-3) |
C0 (см-3) |
|
|
|
|
||
концентрация примеси |
5,00E+16 |
5,00E+16 |
5,00E+16 |
|
Концентрация примеси |
CП (см-3) |
CП (см-3) |
CП (см-3) |
|
в подпитывающем слое |
5,00E+16 |
5,00E+16 |
5,00E+16 |
Справочные и рассчитанные параметры технолог. процесса:
Равновесный коэффициент |
k0 |
k0 |
k0 |
|
распределения |
8,70E-2 |
8,70E-2 |
0,00E+0 |
|
Линейный коэффициент |
a |
a |
a |
|
0,00E+0 |
0,00E+0 |
0,00E+0 |
||
испарения |
||||
|
|
|
||
Коэффициент диффузии |
D |
D |
D |
|
7,00E-5 |
7,00E-5 |
0,00E+0 |
||
|
||||
Эффективный коэффициент |
k |
k |
k |
|
распределения |
2,39E-1 |
2,39E-1 |
0,00E+0 |
|
Приведенный |
kИ |
kИ |
kИ |
|
|
|
|
||
коэффициент испарения |
0,00E+0 |
0,00E+0 |
0,00E+0 |
|
Обобщенный коэффициент |
kОБ |
kОБ |
kОБ |
|
|
|
|
||
распределения |
2,39E-1 |
2,39E-1 |
0,00E+0 |
|
|
k*C0 |
k*C0 |
k*C0 |
|
|
1,19E+16 |
1,19E+16 |
0,00E+0 |
Примесь 1 
Примесь 2 
Примесь 3 
1,00E+17
1,00E+16
1,00E+15
1,00E+14
1,00E+13
1,00E+12
1,00E+11
1,00E+10
1,00E+9
1,00E+8
1,00E+7
1,00E+6
1,00E+5
1,00E+4
1,00E+3
1,00E+2
0,0 |
2,5 |
5,0 |
7,5 |
10,0 |
12,5 |
15,0 |
17,5 |
20,0 |
22,5 |
25,0 |
27,5 |
30,0 |
32,5 |
35,0 |
37,5 |
40,0 |
42,5 |
45,0 |
47,5 |
50,0 |
52,5 |
55,0 |
57,5 |
60,0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
x, см |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
x, см |
C_T1(x) |
C_T2(x) |
C_T3(x) |
|
0,00 |
11,93E+15 |
704,81E+0 |
|
|
0,05 |
11,99E+15 |
725,95E+0 |
|
|
0,10 |
12,04E+15 |
747,72E+0 |
|
|
0,15 |
12,10E+15 |
770,15E+0 |
|
|
0,20 |
12,16E+15 |
793,24E+0 |
|
|
0,25 |
12,21E+15 |
817,04E+0 |
|
|
0,30 |
12,27E+15 |
841,54E+0 |
|
|
0,35 |
12,33E+15 |
866,78E+0 |
|
|
0,40 |
12,38E+15 |
892,78E+0 |
|
|
0,45 |
12,44E+15 |
919,55E+0 |
|
|
0,50 |
12,49E+15 |
947,13E+0 |
|
|
0,55 |
12,55E+15 |
975,54E+0 |
|
|
0,60 |
12,60E+15 |
1,00E+3 |
|
|
0,65 |
12,66E+15 |
1,03E+3 |
|
|
0,70 |
12,72E+15 |
1,07E+3 |
|
|
0,75 |
12,77E+15 |
1,10E+3 |
|
|
0,80 |
12,83E+15 |
1,13E+3 |
|
|
0,85 |
12,88E+15 |
1,16E+3 |
|
|
0,90 |
12,94E+15 |
1,20E+3 |
|
|
0,95 |
12,99E+15 |
1,24E+3 |
|
|
1,00 |
13,05E+15 |
1,27E+3 |
|
|
1,05 |
13,10E+15 |
1,31E+3 |
|
|
1,10 |
13,16E+15 |
1,35E+3 |
|
|
1,15 |
13,21E+15 |
1,39E+3 |
|
|
1,20 |
13,27E+15 |
1,43E+3 |
|
|
1,25 |
13,32E+15 |
1,48E+3 |
|
|
1,30 |
13,38E+15 |
1,52E+3 |
|
|
1,35 |
13,43E+15 |
1,57E+3 |
|
|
1,40 |
13,49E+15 |
1,61E+3 |
|
|
1,45 |
13,54E+15 |
1,66E+3 |
|
|
1,50 |
13,60E+15 |
1,71E+3 |
|
|
1,55 |
13,65E+15 |
1,76E+3 |
|
|
1,60 |
13,70E+15 |
1,81E+3 |
|
|
1,65 |
13,76E+15 |
1,87E+3 |
|
|
1,70 |
13,81E+15 |
1,92E+3 |
|
|
1,75 |
13,87E+15 |
1,98E+3 |
|
|
1,80 |
13,92E+15 |
2,04E+3 |
|
|
1,85 |
13,97E+15 |
2,10E+3 |
|
|
1,90 |
14,03E+15 |
2,17E+3 |
|
|
1,95 |
14,08E+15 |
2,23E+3 |
|
|
2,00 |
14,13E+15 |
2,30E+3 |
|
|
2,05 |
14,19E+15 |
2,37E+3 |
|
|
2,10 |
14,24E+15 |
2,44E+3 |
|
|
2,15 |
14,29E+15 |
2,51E+3 |
|
|
2,20 |
14,35E+15 |
2,59E+3 |
|
|