63

Частина 1. Загальні і законодавчі основи метрології напівпровідників

(Конспект лекцій по к. "Метрологія"за матеріалами підручника д.І.Левінзона " основы метрологии полупроводников")

Лектор: ст.викладач каф. МЕНП ЗНТУ

Багинський А.М.

ЗМІСТ

Частина 1. Загальні і законодавчі основи метрології напівпровідників

1. Введення в метрологію......... ...............……….....4

1. Метрологія як наука..... ..............4

   1. Гуманітарні і соціально-економічні аспекти метрології.. 5

2. Основи законодавчої метрології......……………………………………………............7

2.1. Предмет законодавчої метрології....…………………………………….........7

2.2. Міжнародна співпраця в області законодавчої метрології………...……….8

2.3. Структура і функції державної і відомчих метрологічних служб в Україні..…….9

2.4. Основні законодавчі і державні акти по стандартизації, метрології і сертифікації.... .......……………………………………………………………………...11

2.5. Організація сертифікації товарів і виробів в Україні. ………………....13

3. Загальні принципи забезпечення єдності вимірювань. ...………………………...16

3.1. Помилки і невизначеність вимірювань. ...……………………………........16

3.2. Показники якості і технологічності вимірювань. ………………………....18

3.3. Засоби вимірювань і їх класифікація..……………………………….... ......20

3.4. Клас точності засобів вимірювань..... .……………………………….........21

3.5. Еталони і зразкові засоби вимірювань... …………………………….........22

3.6. Перевірка засобів вимірювань... ………………………………...............25

3.7. Принципи розробки і оформлення методик виконання вимірювань.……26

3.8. Утворення одиниць фізичних величин......………………………………....27

3.9. Обчислення погрішності і довірчих меж погрішності результату вимірювань..................………………………………………………………….………..30

3.10. Поняття про кореляцію, рангова кореляція.....………………………......32

3.11. Представлення результатів вимірювань.....…………………………. ...33

4. Основні положення метрології напівпровідників....……………………………......35

4.1. Загальна характеристика метрології напівпровідників………………......35

4.2. Електрична активність дефектів кристалічної структури в

напівпровідниках...........………………………………………………………................36

4.3. Основні характеристичні параметри напівпровідникових матеріалів і структур.. ..................…………………………………………………………………….38

4.4. Основні фізичні і технічні поняття, терміни і визначення метрології і матеріалознавства напівпровідників..…………………………………………………...40

4.5. Системи критеріїв оцінки якості напівпровідникових матеріалів

і структур.....…………………………………………………………....................48

4.6. Адаптаційний підхід до управління якістю напівпровідників……………49

4.7. Гетерування дефектів в напівпровідниках.....…………………………....52

4.8. Об'єкти, методологія і принципи організації технологічного контролю напівпровідників.....…………………………………………………………....................53

4.9. Експериментально-статистичний підхід до оцінки якості об'ємних кристалів і структур.......…………………………………………………………...........55

4.10. Основні міжнародні стандарти в області напівпровідників..........…………………………………………………………...............56