- •Тема 1.
- •Глава 2. История науки и метрологии
- •Глава 3. Физические свойства и величины
- •3.4. Воспроизведение единиц физических величин и передача их размеров.
- •3.5. Измерение и его основные операции.
- •2 Этап: Планирование эксперимента:
- •3 Этап. Измерительный эксперимент.
- •4.4. Некоторые правила выполнения измерений и представления результатов.
- •Раздел 2. Характеристики измерительных систем.
- •Чувствительность.
- •2. Порог чувствительности.
- •3.Отклик ис на форму сигнала (чувствительность к форме сигнала).
- •3.4. Измерение сложных сигналов .
- •4.Разрешающая способность.
- •5.Нелинейность.
- •6.Пределы измерений, динамический диапазон.
- •7.Отклик измерительной системы.
- •Раздел1 . Первый источник ошибок.
- •1.2. Энергетическое согласование
- •Раздел 2. Второй источник ошибок – влияние наблюдателя (экспериментатора).
- •Раздел 3. Третий источник ошибок:
- •Термоэлектричество (термо эдс).
- •Емкостная наводка помехи
- •4. Индуктивная наводка помехи.
- •5. Помехи, возникающие из-за плохого или неправильного заземления.
- •Тема 1. Аналоговые измерительные приборы (аип).
3.4. Воспроизведение единиц физических величин и передача их размеров.
Процедура элементарного прямого измерения:
Воспроизведение ФВ заданного размера q[ ];
Сравнение измеряемой ФВ Q с воспроизводимой мерой q[ ].
В оспроизведение единицы физической величины – это совокупность операций по материализации единицы ФВ с наивысшей в стране точностью посредством государственного эталона или образцового средства измерения (СИ).
Эталон – средство измерений (или комплекс СИ), предназначенное для воспроизведения и (или) хранения единицы и передачи ее размера нижестоящим по поверочной схеме СИ и утвержденное в качестве эталона в установленном порядке (ГОСТ 8.057-80).
Различают две основных группы эталонов:
Первичные эталоны; Вторичные эталоны.
Первичный эталон (государственный эталон) - обеспечивает воспроизведение и хранение единицы с наивысшей в стране точностью.
Вторичные эталоны (эталон-копия, рабочий эталон) – хранит размер единицы, полученной соответствующей ФВ. Рабочий эталон применяется для передачи размера единицы ФВ рабочим СИ.
Передача размера единицы ФВ – это приведение размера единицы ФВ поверяемого СИ к размеру единицы ФВ, воспроизводимой эталоном.
Схема передачи размера единицы ФВ
Первичный эталон
Вторичные эталоны
Эталонная база России имеет в своем составе более 100 государственных эталонов (ГЭ) и более 250 вторичных эталонов единиц ФВ. В учебной литературе подробно описаны принципы построения эталонов и их точностные характеристики.
Необходимо отметить, что совершенствование эталонов с целью повышения их точности – процесс непрерывный, обусловленный стремительным развитием науки, технологии производства.
Часто существенное повышение точности эталона связано с использованием новых открытых физических эффектов. Важно отметить, что прорывные технологии (например, переход на нанотехнологии) напрямую связаны с возможностью воспроизводить (или измерять) требуемые характеристики (например, размер) с более высокой точностью, чем требует технология. Это говорит о том, что переходить к новым технологиям можно, если есть СИ, имеющие более высокую разрешающую способность (или точность).
Приведем пример из области микроэлектроники и вычислительной техники.
Создание и стремительное развитие ЭВМ потребовало (и постоянно это требование ужесточается) повысить точность измерения размеров элементов до максимальных пределов.
Вместе с тем, до 1960г. эталоном метра был платиновый концевой метр, изобретенный Архимедом в 1809г. и слегка улучшенный (сплав платины и иридия) в 1889г. Его погрешность (1-2*10-7м). Но уже в конце 50-х, когда была создана первая в мире интегральная схема (1959г., Джек Килби), потребовались методы измерения и контроля более совершенные.
Был разработан принципиально новый эталон метра (1960г.). В качестве такого эталона принят метр длины, равной 1650763,73 длин волн в вакууме излучения, соответствующего переходу между уровнями 2р10 и 5d5 атома криптона-86 (криптоновый метр). Точность криптонового метра ~0,01 – 0,02 мкм (т.е.1-2*10-8м).
Это позволило перейти к 1968г. на технологию молекулярно-лучевой эпитаксии, позволяющей буквально «выращивать» микросхему на кремниевой пластине. Главные принципы этой технологии не изменились по сей день, вот только в современных процессорах на той же площади помещаются не десятки тысяч, а десятки миллионов транзисторов.
Согласно правилу Мура каждые 2 года технологические возможности микроэлектроники удваиваются! Современная технология производства ИС: размер элемента на подложке диаметром 300 мм составляет ~0,13мкм – это так называемая 0,13-микронная технология (или просто 0,13).
Известно, что точность всех оптических элементов, формирующих изображение ИС должна быть от этой длины волны (эффект дифракции).
Сейчас для засветки используют мягкое рентгеновское излучение из плазменного облака, образующегося при лазерном облучении специальной мишени. В настоящее время для этого используются эксимерные (например, ArF – аргонфторовые) лазеры с = 193 нм (ультрафиолет).
Отсюда и получаем возможное разрешение 10нм = 0,01мкм.
В 2005- 2006г.г. совершен переход на технологию 0,1; по подсчетам аналитиков – к 2007г. должны достигнуть технологии 0,07, к 2014г. – 0,035 (при этом на 1см2 ~100 миллиардов транзисторов).
Уменьшение длины волны (до уровня 0,035 – технологии) может потребовать создания рентгеновских лазеров (таких еще нет), либо создания новых принципов технологии ИС.
Но нас интересуют метрологические проблемы. Для реализации технологии 0,035 нужны средства измерения длины (размеров) с погрешностью 5-10нм = 5-10*10-8м)
Это потребует эталонов с погрешностью ~10-9 м
В 1983г. за эталон метра принят эталон основанный на длине волны в вакууме монохроматического излучения стабилизированного лазера.
Достигнута погрешность
Сегодня этой метрологической базы достаточно, но для 0,035-технологии уже мало.
Пример 2: Самым точным эталоном в настоящее время является государственный первичный эталон и государственная первичная схема для средств измерения времени и частоты. Основой этих устройств являются активные квантовые стандарты частоты на пучке молекул аммиака (молекулярные генераторы) и атомов водорода (водородные генераторы).
Стабильность таких эталонов: (1-5)*10-14 (!)
До 1967г. эталоном времени была секунда: (определялась через период вращения Земли вокруг Солнца). Средние солнечные сутки определялись с погрешностью до 10-7с.
Пример 3: Важной основной единицей в механике является килограмм. Вместе с тем, за эталон килограмма до сих пор принимается платино-иридивая гиря. Относительная погрешность ~2*10-6 .
С развитием работ по созданию более точного эталона возник вопрос о связи единицы массы с атомными константами. Например, масса атома углерода могла бы быть использована в качестве естественной единицы массы. Действительно, массы макроскопических объектов (килограмм) могут быть измерены в атомных единицах массы (а.е.м.), т.к. известно:
1 кг = (103 моль)*NA*1a.е.м., где NA постоянная Авогадро.
К сожалению, погрешность измерения NA составляет ~10-6 и пока не может быть уменьшена доступными средствами. Эта погрешность соответствует старому, гораздо более простому и удобному эталону килограмма.
Таким образом, создание новых эталонов с более высокой точностью воспроизведения единиц ФВ – чрезвычайно сложная задача. С открытием учеными новых эффектов (эффекты Джозефсона, эффект Холла и т.п.) они, несмотря на сложность и, зачастую, громадные затраты, реализуются прежде всего в создании принципиально новых типов эталонов, мер, образцовых приборов. И только благодаря этому сегодня удается продвигаться в знаниях и технологиях.