- •(Конспект лекцій по к. "Метрологія"за матеріалами підручника д.І.Левінзона " основы метрологии полупроводников")
- •Частина 1. Загальні і законодавчі основи метрології напівпровідників
- •1.Вступ в метрологію
- •Метрологія як наука
- •Гуманітарні і соціально економічні аспекти метрології
- •2.Основи законодавчої метрології
- •2.1.Предмет законодавчої метрології
- •2.2 Міжнародна співпраця в області законодавчої метрології
- •2.3.Структура і функції державної і відомчих метрологічних служб в Україні
- •Основні функції дмс:
- •2.4. Основні законодавчі і державні акти по стандартизації, метрології і сертифікації
- •2.5 Організація сертифікації товарів і виробів в Україні
- •3. Загальні принципи забезпечення єдності вимірювань
- •3.1. Помилки і невизначеність вимірювань
- •3.2. Показники якості і технологічності вимірювань
- •3.3. Засоби вимірювання і їх класифікація
- •3.4. Клас точності засобів вимірювань
- •3.5. Еталони і зразкові засоби вимірювань
- •3.6. Перевірка засобів вимірювання
- •3.7. Принципи розробки і оформлення методик виконання вимірювань (аналізів)
- •3.8. Утворення одиниць фізичних величин
- •3.9. Обчислення погрішностей і довірчих меж погрішності результату вимірювань
- •3.10.Поняття про кореляцію, рангова кореляція
- •3.11 Представлення результатів вимірювань
- •Основні положення метрології напівпровідників
- •4.1. Загальна характеристика метрології напівпровідників
- •4.2.Електрична активність дефектів кристалічної структури в напівпровідниках
- •4.2.1Основні характеристичні параметри напівпровідникових матеріалів і структур
- •4.2.Основні фізичні і технічні поняття, терміни і визначення метрології і матеріалознавства напівпровідників
- •4.3.Системи критеріїв оцінки якості напівпровідникових матеріалів і структур
- •4.6 Адаптаційний підхід до управління якістю напівпровідників
- •4.7 Геттерування дефектів в напівпровідниках
- •4.8 Об'єкти, методологія і принципи організації технологічного контролю напівпровідників
- •4.9.Експериментально-статистичний підхід до оцінки якості об'ємних кристалів і структур
- •4.10.Основні міжнародні стандарти в області напівпровідників
- •Література
3.9. Обчислення погрішностей і довірчих меж погрішності результату вимірювань
Представимо абсолютну погрішність вимірювань () у вигляді суми випадкової (к) і систематичної (s) складових: = до + s.
В остаточний результат може бути введений поправка з метою усунення або мінімізації внеску систематичної погрішності. Ця поправка може додаватися з своїм знаком, може виражатися у вигляді комбінації поправок обох типів. Але, як свідчить народна мудрість, "усунені погрішності вже не погрішності".
Оскільки, визначальну роль в отриманні ряду значень величини х, що виміряється, грають випадкові погрішності, до цих результатів можна застосувати теорію вірогідності і закони математичної статистики.
Згідно цієї теорії при вимірюванні будь-якої величини х необхідно виконати велике, прагнуче до нескінченності число вимірювань n: х1, х2. хi. хn. Такий ряд називають генеральною (загальної) сукупністю значень.
Для оцінки результатів вимірювань звичайно вводять наступні статистичні параметри:
Середнє арифметичне n вимірювань:
(3.8)
Середнє квадратичне відхилення окремого вимірювання:
(3.9)
Середнє квадратичне відхилення результату серії вимірювань:
(3.10)
Якщо ввести в розгляд т.з. густину вірогідності y=f(к), то при дотриманні нормального закону розподілу випадкових величин Гауса (n) має місце співвідношення:
(3.11)
Графічно нормальний закон розподілу представлений на рис.3.2.
Вірогідність того, що результати вимірювань не вийдуть за межі якого-небудь інтервалу випадкових погрішностей [-,+], визначається за розміром площі, обмеженої межами цього інтервалу (по осі абсцис) і самої кривої розподілу (на рис.3.2 вона заштрихована). Такий інтервал називають довірчим, а відповідну йому вірогідність отримання випадкової погрішності Р – довірчою вірогідністю.
Таким чином, результат вимірювань недостатньо характеризувати тільки середнім значенням і погрішністю – необхідно ще вказати величину довірчої вірогідності Р, яка свідчить кількісно про ступінь надійності цих вимірювань і показує, яка вірогідність того, що при повторному вимірюванні результат не вийде за рамки . При більшому довірчому інтервалі виходить велика довірча вірогідність.
Рис.3.2. Закон нормального розподілу помилок (123).
Прагнучи при визначенні довірчого інтервалу застрахуватися від можливої помилки, звичайно вибирають довірчу вірогідність, дуже близьку до 1 (наприклад, 0,99, 0,995 і т.д.). Проте такий підхід має і негативні наслідки, оскільки, чим більше Р, тим ширше довірчий інтервал (). В практичній метрології довірчої вірогідності додають значення показника якості вимірювань, що характеризує їх рівень значущості або ступінь надійності.
Нормальний розподіл справедливо при достатньо великому числі повторних вимірювань n. Якщо n мало (<<20 ), використовується розподіл Стьюдента. В цьому випадку густина вірогідності залежить не тільки від ?к, але і від n, т.е y=f(Дк,n):
(3.12)
де Г(n) – гамма – функція, значення якої залежить від числа вимірювань n, і володіюча властивістю: Г(n+1)= nГ(n); tст – параметр, визначуваний виразом
tст= Дк/у.
Звичайно обчислюється не параметр tст, а корелюючий з ним коефіцієнт Стьюдента tS:
(3.13)
В практичній метрології вирішують звичайно декілька взаємозв'язаних задач:
Визначити довірчу вірогідність Р, якщо відоме середнє квадратичне відхилення ?, довірчий інтервал ? і число вимірювань n.
Визначити довірчий інтервал для заданого значення Р і відомих значень ? і n.
Визначити кількість вимірювань n, необхідне для попадання в заданий довірчий інтервал ? із заданою довірчою вірогідністю Р і т.д.
Всі подібного роду розрахунки здійснюються на основі добре протабульованих функцій типу (3.11) і (3.12), які є додатками до відповідних метрологічних Гостів і керівництв по обробці результатів вимірювань.