Контрольные вопросы

1. Какова роль фотолитографии в технологии изготовления интегральных схем?

2. Какие требования предъявляются к фоторезистам?

3. Какие методы нанесения фоторезистов известны?

4. Какие физические явления имеют место при экспонировании фоторезистов актиничным излучением?

5. Какие типы фотошаблонов вам известны?

6. В чем преимущества цветных фотошаблонов?

7. Поясните назначение позитивных и негативных фоторезистов.

8. Какие методы удаления фоторезистов вам известны?

9. Для чего проводится сушка фоторезистов?

10. В чем преимущества ИК- и СВЧ-сушки перед обычной термической?

11. Перечислите особенности проявления позитивных и негативных фоторезистов.

12. Перечислите способы удаления фоторезистов.

132