- •Электронная Оже-спектроскопия (ЭОС)
- •Оже-спектрометр ‘’Шхуна-2’’
- •Профили концентраций элементов в ат/см2, полученные методом послойной ЭОС при исследовании эталона D2
- •Определение химического состава методом ЭОС
- •Изображение анализируемой поверхности
- •Профилометрия
- •Возможности
- •Оптическое изображение Трехмерное изображение объект-микрометра участка (70х17мкм2)
- •Трехмерное изображение эталона из стекла
- •Применение
- •Измерение твердости нанослоёв
- •Области применения
- •Исследования
- •Зависимость твердости слоя TiAl от глубины проникновения индентора
- •Определение адгезионной прочности покрытий
- •Изображение на экране компьютера после измерения величины адгезии титанового покрытия на керамике.
- •Трибологические испытания
- •Внешний вид датчиков и нагревательного элемента
- •Трехмерное изображение Изображение треков полученных на трибологических треков. TiAl слое.
- •Результаты трибологических испытаний слоя TiAl
- •Определение толщин покрытий.
- •Изображение шлифа
- •Вторично-ионная масс-спектроскопия
- •Результаты исследования бор-силикатного стекла методом ЭМСВИ
- ••ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ электронная (ЭОС), раздел спектроскопии, изучающий энергетич. спектры оже-электронов, которые возникают при облучении
- •• Толщина анализируемого слоя пов-сти твердого тела определяется глубиной выхода оже-электронов, к-рая зависит
- ••Концентрацию элемента в пробе можно оценить по интенсивности его пика в оже-спектре. Для
- ••По спектрам оже-электронов можно проводить качеств. и количеств. элементный анализ пробы. Для этого
- ••Для измерения кинетич. энергии электронов применяют дисперсионные электростатич. энергоанализаторы (с цилиндрич. или полусферич.электродами),
- ••Спектры оже-электронов регистрируют с помощью оже-спектрометров, к-рые состоят из источника ионизирующего излучения, камеры
- ••Оже-эффект заключается в следующем. Под действием ионизирующего излучения на одном из внутр. электронных
- ••Этот электрон называют оже-электроном, а его кинетич.
Измерение твердости нанослоёв
Внешний вид нанотвердомера NHT-S-AX-000Х
Технические |
|
|
характеристики |
|
|
установки |
“Nano |
|
Hardness Tester” |
|
|
|
|
|
Разрешение по |
|
0,03 нм |
глубине |
|
|
Максимальная |
|
20 мкм |
глубина |
|
|
Нагрузка |
|
|
|
|
|
Дискретность |
|
1 мкН |
нагрузки |
|
|
Максимальная |
|
300 мН |
нагрузка |
|
|
|
|
|
Размеры |
105 135 |
рабочего стола |
мм |
Область |
30 21 мм |
индентации |
|
Разрешение |
250 нм |
|
|
Оптический микроскоп |
|
|
|
Увеличение |
50 , 200 , |
|
1000 |
Области применения
Позволяет измерять твердость и модуль Юнга на толщинах от десятков нанометров, а также исследовать:
-Защитные покрытия на магнитных дисках
-Магнитные покрытия на подложках дисков
-Защитные покрытия на компакт-дисках
-Слои пассивации
-Металлизация
-Контактные линзы
-Стекла для очков
-Фиброоптика
-Оптические покрытия устойчивые к царапинам
-Краски и полимеры
-Лаки и полировка
Износостойкие покрытия:
-TiN
-TiC
-DLC
-Режущий инструмент и т.д.
Фармакология:
-Таблетки и пилюли
-Импланты
-Биоткань
Исследования
Изображение поверхности TiAl, с отпечатком индентера на поверхности зерна. Поверхность предварительно очищена пучком ионов Ar+.
Зависимость твердости слоя TiAl от глубины проникновения индентора
Определение адгезионной прочности покрытий
Внешний вид прибора Micro-Scratch Tester МST-S-AX-0000
Изображение на экране компьютера после измерения величины адгезии титанового покрытия на керамике.
5
1
3
2
4
1-сила нагружения; 2-сила трения; 3-коэффициент трения; 4- акустическая эмиссия; 5-глубина проникновения
Трибологические испытания
Внешний вид высокотемпературного трибометра
Внешний вид датчиков и нагревательного элемента
Трехмерное изображение Изображение треков полученных на трибологических треков. TiAl слое.
Результаты трибологических испытаний слоя TiAl
Темпера-тура С |
Износ образца, 10-3 мм3/Н/м |
Коэфф. трения |
||
|
TiAlx |
Ti |
TiAlx |
Ti |
25 |
1,16 |
1,30 |
0,419 |
0,387 |
200 |
1,88 |
3,12 |
0,411 |
0,515 |
400 |
1,23 |
2,96 |
0,428 |
0,563 |