- •Электронная Оже-спектроскопия (ЭОС)
- •Оже-спектрометр ‘’Шхуна-2’’
- •Профили концентраций элементов в ат/см2, полученные методом послойной ЭОС при исследовании эталона D2
- •Определение химического состава методом ЭОС
- •Изображение анализируемой поверхности
- •Профилометрия
- •Возможности
- •Оптическое изображение Трехмерное изображение объект-микрометра участка (70х17мкм2)
- •Трехмерное изображение эталона из стекла
- •Применение
- •Измерение твердости нанослоёв
- •Области применения
- •Исследования
- •Зависимость твердости слоя TiAl от глубины проникновения индентора
- •Определение адгезионной прочности покрытий
- •Изображение на экране компьютера после измерения величины адгезии титанового покрытия на керамике.
- •Трибологические испытания
- •Внешний вид датчиков и нагревательного элемента
- •Трехмерное изображение Изображение треков полученных на трибологических треков. TiAl слое.
- •Результаты трибологических испытаний слоя TiAl
- •Определение толщин покрытий.
- •Изображение шлифа
- •Вторично-ионная масс-спектроскопия
- •Результаты исследования бор-силикатного стекла методом ЭМСВИ
- ••ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ электронная (ЭОС), раздел спектроскопии, изучающий энергетич. спектры оже-электронов, которые возникают при облучении
- •• Толщина анализируемого слоя пов-сти твердого тела определяется глубиной выхода оже-электронов, к-рая зависит
- ••Концентрацию элемента в пробе можно оценить по интенсивности его пика в оже-спектре. Для
- ••По спектрам оже-электронов можно проводить качеств. и количеств. элементный анализ пробы. Для этого
- ••Для измерения кинетич. энергии электронов применяют дисперсионные электростатич. энергоанализаторы (с цилиндрич. или полусферич.электродами),
- ••Спектры оже-электронов регистрируют с помощью оже-спектрометров, к-рые состоят из источника ионизирующего излучения, камеры
- ••Оже-эффект заключается в следующем. Под действием ионизирующего излучения на одном из внутр. электронных
- ••Этот электрон называют оже-электроном, а его кинетич.
•Спектры оже-электронов регистрируют с помощью оже-спектрометров, к-рые состоят из источника ионизирующего излучения, камеры для размещения исследуемых образцов, энергоанализатора и детектора электронов. В качестве ионизирующего излучения используют электронные пучки с энергией от 3 до 10 кэВ, а в приборах с пространств. разрешением менее 0,1 мкм-с энергией выше 10 кэВ.
•Оже-эффект заключается в следующем. Под действием ионизирующего излучения на одном из внутр. электронных уровней (напр., К- уровне) атома образуется вакансия, на к-рую переходит электрон с более высокого уровня
(напр., L3-подуровня). Возникший при переходе электрона избыток энергии может привести к испусканию рентгеновского фотона (излучат. переход) или к выбрасыванию еще одного электрона, напр. с подуровня
L1 (безызлучат. переход). Оже-эффект открыл П. Оже в 1923; для аналит. целей впервые его использовал Дж. Ландер в 1953.
•Этот электрон называют оже-электроном, а его кинетич.
энергия Е определяется ур-нием: Е = Ек — EL1 - EL3 , где Ек, EL1 и EL3-энергии связи электронов на уровнях К, L1, и L3 соотв. (с учетом влияния ионизации атома).
Рассмотренный оже-переход обозначается KL1L3. Существуют и др. переходы, напр. типа LMM, MNN, KLM. Оже-эффект наблюдается у всех элементов периодич. системы, начиная с Li, причем его вероятность для легких элементов достигает 0,99 и убывает с увеличением порядкового номера. В твердом теле наряду с переходами между внутр.
уровнями атома наблюдаются переходы (типа LMV, LVV и т.д.) с участием электронов валентной зоны.