- •Определение датчика. Виды датчиков.
- •Активные датчики
- •Пассивные датчики
- •Комбинированные датчики
- •Влияние внешних факторов на показания датчика
- •Эталоны и единицы физических величин
- •Пределы применимости датчиков
- •Чувствительность датчика
- •Линейность характеристик датчика
- •Быстродействие датчика
- •Параметры измерительной системы, влияющие на точность измерений
- •Погрешности измерений
- •Определение наиболее вероятного значения измеренных величин в результате статистической обработки
- •Градуировка датчика
- •Воспроизводимость результатов
- •Области применения датчиков
- •Материалы твердотельных сенсоров
- •Технологии изготовления тонкопленочных твёрдотельных сенсоров
- •Энергетические и светотехнические величины
- •Оптический спектр излучения
- •Закон Ламберта
- •Закон Кирхгофа
- •Законы Вина
- •Закон излучения Планка
- •Излучение нечерных тел
- •Источники ик-излучения. Их классификация.
- •Источники температурного излучения.
- •Классификация приемников ик-излучения.
- •Параметры и характеристики фп
- •Тепловые (неселективные) фп
- •Фотоприемники с внутренним фотоэффектом
- •Фотоэмиссионные датчики
- •Многодиапазонные приёмники
- •Многоэлементные фп
- •Датчики изображения
- •Охлаждение фп
- •Методы осаждения пленок фоточувствительных материалов
- •Физическое осаждение из паровой фазы
- •Методы химического осаждения
- •Гидрохимическое осаждение пленок
Классификация приемников ик-излучения.
Приемники ИК-излучения – это приборы, предназначенные для приема и преобразования энергии излучения в электрическую (или другие виды энергии). Это основной элемент ИК-прибора.
Выделяют три группы приборов:
-
тепловые приемники;
-
фотоэлектрические;
-
фотохимические.
Тепловые приемники чувствительны в широком , т.е. неселективны. Два других типа считаются селективными.
В тепловых приемниках ИК излучение сначала преобразуется в тепло, а затем в электрическую энергию.
В фотоэлектрических приемниках ( ФП) происходит изменение электрических свойств материала под воздействием излучения.
В фотохимических приемниках (фотопленка) энергия излучения преобразуется в процессе химических реакций в видимое изображение.
К тепловым ФП относят: термоэлементы, болометры, оптико-акустические, пироэлектрические и пневматические.
Фотоэлектрические ФП делят на приемники с внутренним фотоэффектом (фоторезисторы, фотодиоды, фототранзисторы, фотогальванические ФП) и внешним фотоэффектом (фотоэлементы, электронно-оптические преобразователи, фотоэлектронные умножители, видиконы, телевизионные трубки и т.д.).
Параметры и характеристики фп
В ИК-приемниках излучение может быть направлено на чувствительный элемент или в виде постоянного потока или прерывистого. Прерывание потока излучения по определенному закону называется модуляцией, а частота с которой поток прерывается называется частотой модуляции f . Модуляция необходима для выделения и обнаружения слабых сигналов от объектов и исключения фонового излучения (дневной свет, Солнце и т.д.), а также для измерения параметров ФП.
Параметр ФП – это величина, единственное значение которой характеризует свойство ФП. Параметр может быть измерен непосредственно или вычислен по данным измерений других величин. Основными параметрами ФП являются:
Rт – внутреннее (темновое) сопротивление;
– постоянная времени (инерционность);
Uш – уровень шумов;
вольт-ваттная чувствительность Su;
пороговая чувствительности Pi;
обнаружительная способность Д*.
Для расчета некоторых параметров необходимо также знать конструктивные особенности ФП qп – площадь чувствительного элемента, уровень облученности чувствительного элемента (А), Uп – напряжение питания и полосу пропускания усилительного тракта ∆f. Большое влияние на ряд свойств оказывает также частота модуляции излучения, температура слоя.
Внутреннее сопротивление ФП – это сопротивление чувствительного элемента при отсутствии облучения. Rт – определяет требования к выходной схеме усилителя сигнала ФП. От Rт зависит также уровень шумов ФП. Rт – может сильно изменяться от внешних условий (T, ). Rт ФП PbS при уменьшении температуры от 293К до 77К изменяется ~ 100 раз. Изменение Rт сильно сказывается на величине сигнала, снимаемого с ФП. Сопротивление: зависит от формы, размеров, Т, материала ФП, изменяясь от 10 до 109Ом.
Шумы ФП – это хаотические сигналы с переменной амплитудой и частотой, случайно возникающие в цепи приемника.
Уровень шумов ограничивает предельные возможности ФП в части регистрации слабых сигналов. Величина шума оценивается обычно среднеквадратичным значением его амплитуды. Различают 3 основных вида шумов: тепловые, токовые и радиационные.
Тепловые шумы вызываются хаотическим тепловым движением свободных электронов.
Токовые шумы вызываются изменением сопротивления цепи приемника при протекании темнового тока, возникающего вследствие теплового движения электронов и их рекомбинации с дырками. На эти шумы накладываются шумы контактов электродов. Эти шумы называются 1/f, где f – частота усилителя, т.к. эти шумы пропорциональны 1/f. Большинство ФП имеют токовые шумы, которые тем больше, чем тоньше чувствительный слой (особенно для тонкопленочных ФР).
Радиационные (фоновые) шумы появляются при изменении температуры ФП из-за теплообмена с окружающей средой (фоном). Теплообмен приводит к появлению некоторого изменяющегося во времени излучения. Радиационный шум фактически определяет предел пороговой чувствительности ФП. Часто за идеальный принимают ФП у которого все шумы кроме радиационного незначительны:
-
у термоэлементов преобладают тепловые шумы;
-
у полупроводниковых болометров – тепловые и 1/f;
-
у фоторезисторов 1/f и радиационное.
Для практического использования необходимо знать распределение шумов по частотам.
Типичное распределение для фоторезисторов:
I область – преобладают шумы 1/f, граница ~ 1000Гц.
II область – генерационно рекомбинационные шумы (они характерны для полупроводниковых приборов)
III область – тепловые шумы (>10000Гц).
Зная распределения шумов можно выбрать оптимальную частоту модуляции излучения, рабочую частоту усилителя, чтобы Uш было минимальным.
Чувствительность. Различают вольтовую или токовую чувствительность, вольт-ваттную и спектральную чувствительность.
Вольтовая чувствительность – это значение амплитуды эффективного напряжения снимаемого с нагрузочного сопротивления при заданных значениях Uп, облученности ФП и т.д. Измеряется в В. В случае токовой чувствительности это значение фототока в А. Более объективной с точки зрения чувствительности является вольт-ваттная чувствительность. Это уже отношение амплитуды напряжения сигнала к амплитуде синусоидально-модулированного потока излучения (т.е. к величине облученности ФП) (Su=Uc/Ф, [Su]=B/Вт (В/лм). При работе в токовом режиме чувствительность по току определяется аналогичным соотношением Si=i/Ф [Si]=А/Вт или А/лм.
Спектральная чувствительность. Sλ вводится в связи с тем, что S зависит от λ принимаемого излучения. Это отношение величины чувствительности при данной λ к максимальной чувствительности.
Sλ=Sλi/Sλmax. [S] – измеряется в относительных единицах.
Порог чувствительности – важнейший параметр ФП. Это минимальное значение потока излучения вызывающее на выходе ФП сигнал равный Uш
Pп = Ф/Uc/Uш [P]=Вт, т.к. при Uc=Uш , Pп = Ф , Pп = Ф Uш/ Uc
Если известна облученность приемника и площадь чувствительного элемента q, то P=Uш E qп/Uc.
Порог чувствительности зависит также от ширины полосы частот, ∆f. Если отнести полосу пропускания измерительного устройства к 1 Гц, то P = UшEqп/Uc√∆f, т.к. Uш пропорциональна √∆f
И далее для сравнения порогов чувствительности различных фотоприемников Р относят к единичной площади чувствительного элемента, учитывая опять же Uш ~ √qп. Отсюда Р будет определяться из формулы:
или [P] = Вт/Гц1/2см.
Обнаруживающая способность. Величина Р обычно очень мала (10-10 – 10-14), поэтому удобнее пользоваться обратной величиной:
см Гц1/2Вт-1 .
С учетом коэффициента использования излучения ки, выражающего отношение спектрального распределения излучения воспринимаемого ФП и излучаемого источником обнаружительная способность будет рассчитываться из выражения:
Дλ * = Д*/ки ,
т. е. как обнаружительная способность в λmax.
Чем больше Д*, тем чувствительнее ФП. При записи Д* часто указывают условия измерения:
Д*(573К, 800, 1Гц) или Д*(6,3мкм, 800, 1)
ИК - датчик дополнительно преобразует в ток шумы флуктуации теплового излучения окружающих предметов. Этот добавочный шум определяет максимально достижимую Д*. В связи с этим существует и может быть изображена кривая предельной обнаружительной способности Д* от длины волны воспринимаемой фотоприемниками при данной температуре.
Д* можно повысить за счет:
-
охлаждения корпуса ФП;
-
уменьшения угла зрения на окружающие предметы, т.е. при характеристике Д* нужно указывать Траб. и угол зрения.
Так уменьшение угла зрения со 120 до 200 увеличивает обнаружительную способность в 3 раза.
Постоянная времени. Это промежуток времени от начала облучения ФП до момента, когда выходная величина сигнала достигает 63% от установившегося значения при длительном времени облучения. Она определяет максимально возможную f модуляции оптического потока. При большом значении постоянной времени при увеличении f до определенной частоты снижается Su и Д*. Диапазон изменения постоянной времени: от 10-8 с до нескольких секунд. Для ФП с внутренним фотоэффектом постоянная времени обычно ≤ 400 мкс.
Характеристики ФП – это свойство выражающееся в функциональной зависимости от какого-либо параметра (выраженное обычно графически). Различают следующие характеристики:
а) спектральная Su (Д*) = f(λ);
б) частотная Su = f(f);
в) световая Su = f(Ф);
г) вольтовая Su = f(Uпит.);
Рекомендуемое значение для фоторезисторов Uпит. ≤ 50 В/мм
д) температурная Su (Д*) = f(Тсл);
Для PbS Su увеличивается в 100 раз при снижении температуры чувствительного элемента до 173К.
Для InSb Su увеличивается также в 100 раз при снижении температуры чувствительного элемента до 78К.
Для KРТ Su увеличивается в 104 раз при снижении температуры до 30К.