- •Введение
- •Лекция № 1
- •I. Физические основы микрОэлектроники
- •1.1. Общие сведения о полупроводниках
- •1.2. Структура полупроводника
- •. Носители зарядов в полупроводниковых материалах
- •1.4. Зонная теория твердого тела
- •1.5. Зонные диаграммы собственных и примесных полупроводников, характерные потенциальные уровни
- •Лекция № 2
- •1.6. Распределение носителей в зонах
- •1.7. Количественная оценка уровня Ферми в примесных и собственных полупроводниках
- •Выводы:
- •Лекция № 3
- •1.8. Дрейфовые и диффузионные токи в полупроводнике
- •1.9. Электронно-дырочный переход
- •1.9.1. Общие сведения о n-p-переходе
- •1.9.2. Физика работы n-p-перехода
1.5. Зонные диаграммы собственных и примесных полупроводников, характерные потенциальные уровни
Разрешенные потенциальные уровни акцепторной и донорной примеси в полупроводниках чаще всего располагаются в ЗЗ. Потенциальные уровни донора располагаются ближе к зоне проводимости. Потенциальные уровни акцепторных примесей располагаются ближе к ВЗ. Поэтому для того, чтобы перейти электрону с уровней донора в зону проводимости, требуется совсем небольшая энергия (рис. 1.11,а) и при комнатной температуре практически все электроны донорной примеси переходят в ЗП, пополняя ее свободными носителями. Для р-полупроводника электроны из валентной зоны переходят на уровни акцепторной примеси (рис. 1.11,в), пополняя ВЗ дополнительными дырками. В собственном полупроводнике (рис. 1.11,б) электрону, чтобы попасть в зону проводимости, приходится преодолевать значительно больший потенциальный барьер (з), поэтому в собственном полупроводнике электронов в ЗП и дырок в ВЗ значительно меньше, чем у примесных полупроводников, что объясняет их значительно меньшую проводимость.
а б в
Рис. 1.11
Зонная диаграмма полупроводникового материала имеет характерные потенциальные уровни. Это потенциал, характеризующий ширину запрещенной зоны – з; величина этого потенциала для полупроводников составляет примерно 0,5–3 В. Так, для кремния = 1,11 В, а для германия = 0,76 В. Эта ширина постоянна для выбранного материала, только при постоянной температуре. С изменением температуры ширина ЗЗ меняется, а именно
,
где Т – температура в градусах Кельвина; – ширина ЗЗ при нулевой температуре; – температурная чувствительность (В/С).
Самый высокий энергетический уровень валентной зоны v носит название энергетического уровня крыши валентной зоны, самый низкий уровень зоны проводимости с – энергетического уровня дна зоны проводимости. называется уровнем электростатического потенциала, он проходит всегда по середине запрещенной зоны. Одна из основных величин полупроводниковой физики – температурный потенциал Т может быть найден из равенства выражений энергии движущейся частицы принятой в термодинамике и электротехнике. Энергия элементарных процессов в термодинамике находится как kT, где k – постоянная Больцмана (1,3710-23 Дж/С); T –температура в градусах Кельвина.
В электротехнике энергия может быть найдена как , где – заряд электрона; – разность потенциалов, которая обозначается как Т. Тогда , отсюда температурный потенциал . При комнатной температуре (Т = 293 К) Т 0,025 В.
Не менее важным в физике полупроводников является потенциал уровня Ферми (F). Этот потенциал характеризует среднюю энергию всех возбужденных атомов внутри кристалла, как бы неоднороден не был этот кристалл. Более подробно об уровне Ферми будет рассказано в последующих лекциях.
Лекция № 2
1.6. Распределение носителей в зонах
Концентрация носителей в ЗП и в ВЗ зависит от плотности потенциальных уровней Р() и от вероятности нахождения электронов на этих уровнях. Как известно из физики,
,
где а – физическая константа, равная , mэф – эффективная масса электрона или дырки, h – постоянная Планка, равная 6,610-34 Джс; φгр – граничный потенциал зоны проводимости или валентной зоны..
Вероятность нахождения электронов на том или ином уровне согласно распределительному закону Ферми-Дирака может быть определена следующим образом:
,
где φ – потенциал, на котором находится электрон; Т – температурный потенциал; φF – потенциал уровня Ферми или просто уровень Ферми. Это такой потенциал, вероятность нахождения электрона на котором равна 0,5.
Уровень Ферми в большинстве полупроводников находится внутри ЗЗ. Раз это так, то разница (φ – φF) >> φT, т.к. φT 0,025 В, поэтому можно пренебречь единицей и записать .
Вероятность нахождения дырки в ВЗ равна вероятности отсутствия электрона.
.
Поскольку
,
тогда
.
Концентрация электронов в зоне проводимости может быть найдена как интеграл от произведения вероятности нахождения электрона в ЗП Fn() и плотности потенциальных уровней Рп(). Пределы интегрирования от границы c до .
.
Множитель 2 означает, что на одном потенциальном уровне может находиться два электрона. Подставив значения Р( – c) и Fn(), получим
.
Решим интеграл методом замены переменных. Примем , тогда
; ;
;
.
Интеграл от является табличным и равен , тогда
, (1.1)
где – постоянный коэффициент; – эффективная плотность уровней в зоне проводимости.
Вывод 1: концентрация электронов в зоне проводимости зависит от температуры и разницы потенциалов и . Чем выше температура и меньше разница, или что тоже, больше концентрация примеси донора, тем больше электронов в зоне проводимости, и, следовательно, выше электропроводность полупроводника.
Аналогично можно найти концентрацию дырок в валентной зоне
,
или, подставляя значения плотности и вероятности, получим
.
Произведем замену переменных, обозначив через , тогда , , а пределы интегрирования от 0 до +.
, (1.2)
где – постоянный коэффициент; – эффективная плотность уровней в валентной зоне.
Вывод 2: концентрация дырок в валентной зоне зависит от температуры и разнице потенциалов и . Чем выше температура и меньше разница, или что тоже, больше концентрация акцепторной примеси, тем больше дырок в валентной зоне, а, следовательно, выше электропроводность полупроводника.
Для анализа проводимости собственных полупроводников (без примеси) найдем произведение концентраций электронов и дырок. Из формул (1.1) и (1.2)
.
Следовательно, произведение концентраций при постоянной температуре не зависит от , а определяется лишь шириной запрещенной зоны.
Так как в собственных полупроводниках
,
то
.
Отсюда можно сделать вывод, что собственная концентрация определяется лишь шириной запрещенной зоны и сильно зависит от температуры.
Произведение концентраций n и р в любом типе полупроводника есть величина постоянная при постоянной температуре и может быть найдена как
, (1.3)
где – концентрация электронов и дырок в n-полупроводнике; – концентрация электронов и дырок в р-полупроводнике; – концентрация электронов и дырок в собственном полупроводнике.