- •Физические особенности взаимодействия лазерного излучения с поверхностью твердых тел и формирования лазерной плазмы (обзор литературы)
- •1.1. Общие сведения
- •Разлет лазерной плазмы в вакууме
- •1.3 Энергетические и пространственные спектры ионов лазерной плазмы
- •Относительный выход ионов химических элементов из лазерной плазмы
- •Однозарядные ионы
- •Многозарядные ионы
- •Использование лазерной плазмы
- •2.1.1 Нагревание поверхности непрозрачного тела
- •2.1.2 Отражение и поглощение излучения.
- •2.1.3 Нагревание поверхности металла.
- •2.2.Плавление и испарение металлов
- •2.2.1 Плавление металлов.
- •3.1. Экспериментальная установка и ее основные модули
- •Особенности лазерного излучения. Фокусировка лазерного излучения
- •Параметры лазерного излучения
- •Монохроматичность
- •Форма и расходимость луча
- •Фокусировка лазерного излучения
- •1.3. Разрушение прозрачных твёрдых тел
- •1.3.1. Разрушение идеально чистых тел
- •1.3.2. Разрушения, обусловленные локальными микроскопическими примесями
- •1.3.3. Эффект накопления
- •1.3.4. Форма микродефектов
- •2.1. Установка для лазерной обработки материалов
- •4. Исследование формы микродефектов и визуализация рассеяния света в зависимости от угла падения
Относительный выход ионов химических элементов из лазерной плазмы
Лазерная плазма является импульсным эмиттером одно- и многократно ионизованных атомов, полиатомных и отрицательно заряженных ионов, нейтральных атомов и молекул с малой и большой энергией. Первые три типа частиц могут непосредственно регистрироваться детектором масс-спектрометра и оказывать влияние на аналитические возможности метода лазерной масс-спектрометрии.
Исследование свойств остальных типов частиц существенно дополняет картину процессов, протекающих в лазерной плазме. В некоторых случаях эти частицы можно также использовать для анализа твердых тел, подвергнутых действию лазерного излучения.
Начальным актом лазерного излучения с веществом является поглощение лазерного излучения на свободных электронах. Процесс поглощения происходит вне поля иона. Коэффициент поглощения kν определяется из выражения:
kν = (4/3) [2π/(3kT)]1/2[neniz2e6/(hcm3/2 ν3)]∙[1 – exp(-h ν/kT)], (6)
множитель [1 – exp(-h ν/kT)] учитывает уменьшение поглощения вследствие вынужденного излучения.
Если характерный размер образующегося плазменного сгустка оказывается около 1/ kν, плазма эффективно поглощает излучение и нагревается до значительной температуры.
Время равнораспределения энергии или время максвеллизации свободной плазмы можно получить из выражения
tee = 0.26 Te3/2/(ne lnΛ), (7)
где ne и Te – электронная плотность и температура соответственно; ln Λ - кулоновский логарифм; характерные значения ln Λ ≈ 10 и tee ~10 –14 c.
Значительная ионизация в образующемся паре достигается при температуре, заметно меньшей энергии ионизации I (kT ~ I/7). Оптическая толщина слоя частично ионизированного пара возникает до тех пор, пока в плазме не начинает поглощаться заметная часть светового потока, что приводит к уменьшению скорости испарения. При достаточной интенсивности лазерного излучения процесс практически не зависит от того, было ли твердое тело в начальный момент сильно поглощающим или слабо поглощающим (т.е. характерным металлом или диэлектриком). Оценим время, необходимое для процесса ионизации. Если пренебречь рекомбинацией ионов, то для концентрации электронов можно записать кинетическое уравнение:
dne/dt = αe (Te) na ne, (8)
где na – плотность атомов.
Константа скорости ионизации αe дается выражением:
αe (Te) = σe ve (2+I/kTe) exp (-I/kTe), (9)
где ve = [8kTe/(πme)]1/2 – средняя арифметическая скорость электронов; σe - сечение ионизации электронным ударом.
Практически концентрация электронов возрастает по экспоненциальному закону. Таким образом, энергия, получаемая электронами в результате поглощения света, тратится на ионизацию и передается атомам в результате упругих столкновений.
Характерное время развития лавинной ионизации
τион ~ 0,3·10 – 10 [ln (n (τион) /n(0))]1/2 (10)
Анализ этого выражения показывает, что время ионизации слабо зависит от начальной и конечной концентрации электронов и равно приблизительно 10 –10 с, что значительно меньше характерной длительности импульсов лазера в режиме модулированной добротности (около 10–8 с). Таким образом, это означает, что первоначальная степень ионизации лазерной плазмы, образующейся при действии лазерного излучения с плотностью потока более 109 Вт/см 2, практически составляет 100%.
В условиях лазерного термодинамического равновесия (ЛТР) заселенность состояний с разной степенью ионизации в плазме описывается уравнением Саха:
ne nz/ nz-1 ~ (2π mkT/h2)3/2 exp(-Iz-1/kT), (11)
где m - масса электрона; k – постоянная Больцмана; h - постоянная Планка; nz/ nz-1 – отношение плотностей атомов в состояниях z и z-1; ne – плотность электронов; I z-1 - энергия ионизации (z-1) – состояния.
Из вида выражения видно, что при слабых изменениях температуры в плазме вначале присутствуют наиболее высокоионизованные состояния. Экспериментальные исследования лазерной плазмы показывают, что состояния с меньшей кратностью ионизации появляются позже, на стадии разлета лазерной плазмы.
При разлете плазменного сгустка в вакууме происходит охлаждение лазерной плазмы, ЛТР в плазме нарушается и, как следствие этого, в плазме начинается процесс рекомбинации ионов. При плотности электронов выше 1017 см –3 наиболее вероятен процесс рекомбинации, в котором участвуют три частицы по схеме А+ + 2е ↔ А +е. Когда плотность плазмы становится ниже 1017 см –3, процессы рекомбинации в тройных столкновениях практически прекращаются. В этом случае возможна только излучательная рекомбинация по схеме A+ + e ↔ A + γ. Анализ работ, выполненных с помощью спектроскопических методов для лазерной плазмы, полученной в диапазоне плотности потока излучения 109 – 1011 Вт/см 2, и работ по масс-спектроскопической диагностике плазмы на поздних стадиях ее разлета позволяет прийти к выводу, что в плазме в момент ее образования имеется ЛТР. В дальнейшем ЛТР нарушается и процессы рекомбинации приводят к возникновению в плазме набора ионов с кратностью ионизации от 1 до zmax. Как только электронная плотность плазмы снижается до 1017 см –3, в плазме происходит ˝заморозка˝ ионного спектра, который и наблюдается на поздних стадиях разлета.