- •1 Часть. Электромагнитные преобразователи информации Лекция №1.Определения магнитных величин. Эталоны. Параметры магнитного поля
- •Лекция № 2. Классификация электромагнитных измерительных преобразователей Преобразование параметров магнитного поля в электрический сигнал
- •Лекция №3. Индукционные измерительные преобразователи
- •5 Уравнение:
- •Лекция №4. Индукционные измерительные преобразователи (продолжение)
- •Лекция №5. Магнитомодуляционные измерительные преобразователи
- •Лекция №6. Феррозонд на основе магнитного компаратора
- •Лекция №7. Макроквантовые измерительные преобразователи
- •Лекция № 8. Вихретоковые индуктивные преобразователи
- •Лекция №9. Индуктивные измерительные преобразователи
- •Лекция №10. Трансформаторные измерительные преобразователи
- •Лекция №11. Магнитоупругие измерительные преобразователи
- •Лекция №12. Микроквантовые измерительные преобразователи на основе ядерно-магнитного резонанса
- •Лекция №13. Гальваномагнитные преобразователи, основанные на эффекте Холла
- •Лекция № 14. Магниторезистивные и гальваномагниторекомбинационные преобразователи
- •2 Часть. Лекции по фопи. Лекция 1. Резистивные преобразователи
- •Лекция 2. Тензодатчики
- •Лекция 3. Измерительные цепи тензорезисторов
- •Лекция 4. Пьезоэлектрические преобразователи
- •Лекция 5. Пьезоэлектрические преобразователи силы, давления и ускорения
- •Лекция 6. Пьезорезонансные преобразователи
- •Лекция 7. Измерительные преобразователи, Основанные на использовании Поверхностных акустических волн
- •Лекция 8. Электростатические преобразователи
- •Лекция 9. Емкостные преобразователи
- •Лекция 10. Измерительные цепи емкостных преобразователей
- •Лекция 1. Тепловые преобразователи
- •Лекция 2. Термоэлектрические преобразователи, их принцип действия и применяемые материалы
- •Лекция 3. Терморезисторы, основы их расчета и применяемые материалы
- •Лекция 4. Разновидности термочувствительных элементов и их применение
- •Лекция 5. Оптоэлектрические преобразователи
- •Лекция 6. Источники излучения. Каналы передачи световой энергии в оптических ип
- •Лекция 7. Приемники излучения
- •Лекция 8. Основные структурные схемы оптоэлектрических преобразователей и приборов
Лекция № 14. Магниторезистивные и гальваномагниторекомбинационные преобразователи
МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ
Сопротивление проводящего канала при наличии носителей заряда двух знаков определяется выражением
(14.1)
где е - заряд электрона; n и un - соответственно средняя концентрация и подвижность электронов (анионов); р к up - средняя концентрация и подвижность дырок (катионов); / и S - соответственно длина и сечение проводящего канала.
При воздействии на канал магнитного поля изменяется его электрическое сопротивление вследствие изменения подвижности носителей заряда, их средней концентрации и изменения соотношения размеров проводящего канала. Магниторезистивный эффект можно наблюдать в чистых металлах, в полупроводниках, а также в электролитах.
К магниторезистивным преобразователям относятся магниторезисторы, магнитодиоды, биполярные магнитотранзисторы, гальваномагниторекомбинациониые преобразователи и полевые магнитотриоды. В настоящее время для создания средств измерений практическое применение нашли магниторезисторы и гальваномагниторекомбинационные преобразователи. Остальные типы магниторезиставных преобразователей, за исключением магнитодиодов, находятся еще в стадии развития. Магнитодиоды применяются главным образом в качестве бесконтактных переменных резисторов.
Магниторезисторы представляют собой гальваномагнитные преобразователи (ГМП), изменение сопротивления которых обусловлено изменением подвижности носителей заряда. Под действием магнитного поля траектории носителей искривляются, вследствие чего скорость их движения в направлении электрического поля уменьшается. Уравнение преобразования магниторезистора имеет вид RВ = , где u - подвижность носителей заряда; R - сопротивление преобразователя при В = 0; А - магниторезистивный коэффициент, зависящий от свойств материала и формы преобразователя; m - показатель степени, равный 2 в слабых магнитных полях (В ≤ 0,2 ÷ 0,5 Тл), для которых uВ≤ 1, и равный 1 в сильных магнитных полях, для которых uB ≥ l.
Как видно из рис. 14.1, а, функция преобразования магниторезисторов является четной, поэтому как в постоянном магнитном поле любой полярности, так и в переменном магнитном поле их сопротивление увеличивается. Максимум приращения сопротивления при данном значении магнитной индукции имеет место, если угол между вектором магнитной индукции и осью направленности магниторезистора равен 0 или 180°.
Первые магниторезисторы выполнялись из висмута (висмутовые спирали). В настоящее время магниторезисторы изготовляются из полупроводниковых материалов группы АIIIВV - антимонида индия (InSb), арсенида индия (InAs) и др., в которых сильно проявляется магниторезистивный эффект вследствие большой подвижности носителей заряда.
Магниторезистивный коэффициент А зависит от формы магниторезистора. Чем меньше отношение длины резистора к площади его сечения, тем больше коэффициент Л. В этом отношении оптимальна конструкция в виде диска Корбино (рис.14.1, б), у которой один электрод укреплен в центре, а другой - в виде обода на окружности.
Рис. 14.1
У такого преобразователя нет граней для концентрации носителей заряда, вследствие чего уменьшается влияние эффекта Холла. Недостатком магниторезисторов в виде дисков Корбино и коротких прямоугольных пластинок является их малое начальное сопротивление. Для увеличения этого сопротивления магниторезисторы выполняются в виде ряда коротких полупроводниковых резисторов, соединенных последовательно проводящими слоями (растрами) (рис. 14.1, в). Это позволяет создавать магниторезисторы с сопротивлением несколько килоом при сохранении большого значения коэффициента А.
В последнее время магниторезисторы выполняют из эвтектического сплава, в котором методом направленной кристаллизации образуются тонкие (d = 1 мкм) иглы из антимонида никеля (NiSb), которые равномерно располагаются параллельно друг к другу на расстоянии 20-400 мкм в толще полупроводника. Поскольку удельная проводимость NiSb на 2-3 порядка больше, чем у InSb, то эти иглы выполняют роль проводящих растров высокоомных магниторезисторов.
Рис. 14.2
Основными метрологическими характеристиками магниторезисторов являются начальное сопротивление R0, которое лежит в пределах от долей ома до десятков килоом, и магниторезистивпая чувствительность SВ dR/dB. Обычно для характеристики магниторезистивных преобразователей используют зависимости ∆ RВ/R0 = F (В), где ∆ RВ = RВ – R0. На рис. 14.2 показано семейство таких зависимостей для четырех магниторезисторов, отличающихся отношением длины резистора к площади его сечения. Наибольшую чувствительность имеет магниторезистор в виде диска Корбино (кривая 4). Значение допустимого тока IB1 определятся по формуле Начальный ток /о для разных типов магниторезисторов лежит в диапазоне 1-100 мА. Рабочий диапазон температур магниторезисторов составляет от -271 до +327 °С. Для работы при низких температурах весьма перспективны магниторезисторы из антимонида индия.
Температурный коэффициент сопротивления магниторезисторов (ТКС) зависит от состава материала, магнитной индукции и температуры. Чем больше чувствительность магниторезистора, тем больше его ТКС. Значения ТКС различных типов магниторезисторов имеют пределы 0,0002-0,012 К-1.
Частотные характеристики магниторезисторов в основном определяются межэлектродными емкостями. У дисков Корбино частотная погрешность меньше, чем у прямоугольных преобразователей, для которых при изменении частоты от 0 до 10 МГц магниторезистивная чувствительность уменьшается на 5-10%.
Магниторезистивные преобразователи находят применение в качестве бесконтактных переменных резисторов и делителей напряжения с плавно регулируемым коэффициентом деления, модуляторов малых постоянных токов и напряжений. используются для создания тесламетров для работы при сверхнизких температурах и датчиков для измерения ряда неэлектрических величин, легко преобразуемых в изменение магнитной индукции, и бесконтактного измерения токов.
Магнитодиоды представляют собой диоды с несимметричным р-n-переходом, в котором под действием магнитного поля уменьшается подвижность и концентрация носителей зарядов, вследствие чего увеличивается прямое сопротивление перехода и при заданном токе увеличивается падение напряжения на р-n-переходе. Характеристики выпускаемых магнитодиодов приведены в табл. 14.1. Допустимая мощность для всех приведенных в табл. 14.1 диодов составляет 0,2 Вт при температуре окружающей среды 25 °С, допустимый диапазон температур от -60 до +85 °С, частотный диапазон по электрическому и магнитному полям 0-1 кГц.
Таблица 14.1
Тип магнитодиода |
Параметр |
|
U, B (при I=3мА, В=0) |
S, В/Тл |
|
КД301А |
6-7,5 |
15 |
КД301Б |
7,5-9 |
15 |
КД301В |
9-10,5 |
30 |
КД301Г |
10,5-12 |
30 |
КД301Д |
12-13,5 |
45 |
КД301Е |
13,5-15 |
45 |
КД301Ж |
15-20 |
60 |
Очевидным преимуществом магнитодиодов является их высокая чувствительность, однако пока метрологические характеристики магнитодиодов, такие, как нелинейность и разброс характеристик, чувствительность к температуре, трудность ориентации в магнитном поле, затрудняют их применение для измерения параметров магнитных полей. Магнитодиоды применяются в качестве бесконтактных потенциометров, переключателей и реле.
ГАЛЬВАНОМАГНИТОРЕКОМБИНАЦИОННЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ
Гальваномагниторекомбинационные преобразователи (ГМРП) основаны на изменении средней концентрации носителей заряда под действием магнитного поля, проявляющемся в проводниках, которые имеют поверхности с разной скоростью
рекомбинации носителей зарядов. ГМРП обычно представляет собой тонкую полупроводниковую пластинку (рис. 14.3), у которой одна из боковых поверхностей (1) грубо обработана (пескоструйка, грубая шлифовка), а другая (2) - отполирована. Вследствие этого у поверхности / скорость рекомбинации носителей зарядов на 2-3 порядка больше, чем у поверхности 2.
Рис. 14.3
Если ГМРП находится в магнитном поле так, что вектор магнитной индукции направлен перпендикулярно вектору плотности тока через ГМРП и параллельно плоскостям рекомбинации, то под действием силы Лоренца произойдет смещение носителей зарядов к одной из боковых поверхностей. Если направление магнитного поля таково, что заряды перемещаются к поверхности 1, то общая концентрация носителей зарядов уменьшается и соответственно возрастает сопротивление ГМРП. При обратном направлении вектора магнитной индукции изменяется направление силы Лоренца, что приведет к перемещению зарядов к поверхности 2, у которой малая скорость рекомбинации, и к общему увеличению концентрации зарядов, т. е. к уменьшению сопротивления ГМРП.
Таким образом, в отличие от магниторезисторов, у которых изменение сопротивления не зависит от полярности магнитной индукции, у ГМРП изменение сопротивления зависит от направления вектора магнитной индукции. При неизменном направлении магнитной индукции изменения знака приращения сопротивления можно достигнуть изменением направления тока через ГМРП. Следовательно, в магнитном поле ГМРП имеет свойства, аналогичные свойствам диода.
Рис. 14.4
ГМРП обычно включается последовательно с сопротивлением нагрузки в цепь, питаемую от стабилизированного источника постоянного или переменного напряжения. При питании ГМРП переменным током (рис. 14.4, а) и воздействии постоянного магнитного поля происходит модуляция сопротивления ГМРП R, обусловливающая переход цепи в режим квадратичного детектирования, что приводит к появлению на зажимах ГМРП постоянной составляющей, пропорциональной значению магнитной индукции.
При питании ГМРП постоянным током и воздействии переменного магнитного поля (рис. 14.4, б) на зажимах ГМРП возникает переменная составляющая падения напряжения. На рис. 14.5 приведены зависимости выходного напряжения от магнитной индукции (а), тока (б) и температуры (е) для ГМРП типа ГМР-1.
Рис. 14.5
Чувствительность к магнитной индукции ГМРП SB = ∆Uвых /∆В на 2-3 порядка больше чувствительности преобразователей Холла.
Однако порог чувствительности ГМРП из-за сильной зависимости сопротивления ГМРП от температуры, влияния шумов и выпрямляющего действия контактов такого же порядка, как у преобразователей Холла. Частотный диапазон указанных типов ГМРП составляет 0-1014 Гц. В переменных магнитных полях достигнут порог чувствительности ГМРП 5*10-7 Тл. ГМРП применяются для измерений магнитной индукции переменных и постоянных магнитных полей, бесконтактного измерения токов, малых перемещений и других величин.