- •Введение
- •1. Высокие технологии в энергетике
- •1.1. Энергетическая проблема, стоящая перед человечеством
- •1.2. Атомная энергетика
- •1.3. Термоядерная проблема
- •1.4. Передача и хранение энергии
- •Контрольные вопросы
- •2. Технологическое применение электронных пучков
- •2.1. Получение и транспортировка электронных пучков
- •2.2. Взаимодействие электронных пучков с твердым телом
- •2.3. Применение электронных пучков для технологических целей
- •Контрольные вопросы
- •3. Физические основы ионной технологии
- •3.1. Взаимодействие ионного пучка с твердым телом
- •3.2 Основные направления использования ионных пучков для технологических целей
- •Контрольные вопросы
- •4. Основы лазерной обработки
- •4.1. Источники лазерного излучения
- •4.2. Взаимодействие лазерного излучения с веществом
- •4.3. Основные виды лазерной обработки
- •Контрольные вопросы
- •5. Плазменная технология
- •5.1. Физические характеристики плазмы
- •5.2. Принципы построения оборудования для плазменной технологии
- •5.3. Плазменная химия
- •5.4. Основные операции плазменной обработки материалов
- •Контрольные вопросы
- •6. Субмикронные технологии микроэлектроники
- •6.1. Задачи субмикронной и нанотехнологий в микроэлектронике
- •6.2. Получение монокристаллов кремния и подготовка подложек
- •6.3. Эпитаксия
- •Контрольные вопросы
- •7. Основы литографии
- •7.1. Литографический цикл
- •7.2. Экспонирование
- •7.3. Проявление изображения в резисте
- •7.4. Методы формирования рисунка в функциональных слоях интегральных схем
- •7.5. Литография высокого разрешения
- •Контрольные вопросы
- •Проявление изображения в резисте.
- •8. Введение в нанотехнологию
- •8.1. Возникновение и развитие нанотехнологии
- •8.2. Получение информации о микро- и наномире
- •8.3. Перспективы развития нанотехнологии
- •Контрольные вопросы
- •9. Нанотехнологии в медицине, фармацевтике и биотехнологии
- •9.1. Наночастицы – новая форма лекарств и средство их адресной доставки
- •9.2. Биосенсорная нанодиагностика
- •9.3. Наноинструменты и нанороботы в медицине
- •Контрольные вопросы
- •Вопросы по еновт для зачета (экзамена)
- •Методы формирования рисунка в функциональных слоях интегральных схем.
- •Литография высокого разрешения.
- •Возникновение и развитие нанотехнологии.
- •Наноинструменты и нанороботы в медицине. Рекомендуемая литература
5.2. Принципы построения оборудования для плазменной технологии
В промышленности наиболее часто встречаются плазмотроны, в которых используется электрический дуговой разряд или безэлектродный высокочастотный индукционный разряд. Если плазмотрон и изделие электрически связаны, то такая схема обработки называется плазменной дугой, а соответствующий плазмотрон называется плазмотроном прямого действия. В этом случае эффективность нагрева изделия, как правило, выше, но изделие должно быть электропроводно.
Принципиальная схема обработки изделия плазмотроном прямого действия представлена на рисунке 5.1.
Схема обработки изделия, не находящегося в электрическом контакте с плазмотроном, называется обработкой плазменной струей, соответственно, плазмотрон называется плазмотроном косвенного действия. Стабилизация дуги в плазмотроне может осуществляться аксиальным потоком газа, как представлено на рисунке. Используется также стабилизация дуги с помощью тангенциального напуска плазмообразующего газа или путем ограничения столба газового разряда охлаждаемой стенкой плазмотрона. |
газ |
|
|
Рис. 5.1. Схема плазмотрона прямого действия
|
Наибольшая температура плазменной струи реализуется на оси плазменной струи, она значительно выше, чем у открытой дуги. Плотность теплового потока у плазмотронов достигает и также больше, чем у открытой дуги. В плазменных источниках используется большая скорость плазмы при ее выходе из плазмотрона, чем достигается значительный газодинамический напор, что используется для различных технологических целей (например, получения неизотермической плазмы). Используются плазмотроны как с большим расходом газа и турбулентным потоком плазмы, так и с ламинарными плазменными струями, отличающимися большой длиной (до 0,4 м) и высокой стабильностью.
5.3. Плазменная химия
Основные технологические концепции в металлургии, энергетике и химии имеют многовековую историю, а сами технологии доведены до высокой степени совершенства. Для дальнейшей модернизации этих производств требуются нетрадиционные подходы. Основной проблемой для любого производства является увеличение производительности промышленных установок. Так как скорость протекания химических и металлургических процессов экспоненциально зависит от температуры процесса (k ~ , где k – постоянная скорости реакции, – величина энергетического барьера реакции , T – температура системы) в зоне реакции. Поэтому проведение химического процесса в плазме, когда температуры в реакторе достигают нескольких тысяч градусов, позволит существенно повысить скорости химических процессов.
Однако создание таких высоких температур невозможно при традиционных способах подвода теплоты в зону реакции, так как в настоящее время не существуют материалы способные выдержать такие высокие температуры. В плазменных технологиях естественным решением этой проблемы является использование для нагрева электромагнитной энергии и ее превращение в тепловую непосредственно в зоне протекания реакции. Процесс осуществляется в плазмотронах, использующих дуговой, сверхвысокочастотный или высокочастотный разряды. Для высокой производительности установки требуется создание мощных плазменных генераторов. В настоящее время созданы плазмотроны, превышающие 10 МВт для дуговых и 1 МВт для высокочастотных генераторов. Использование высокотемпературных плазменных установок большой мощности целесообразно для организации технологических процессов газификации угля, серы, восстановления металлов, синтеза оксидов азота, получения энергоносителей и т.д.
Эффективность протекания плазмохимического процесса существенным образом зависит от условий, создаваемых в реакционной зоне. В квазиравновесных (изотермических) условиях реализуется равенство температур T0 » Te » Ti » Tr » Tv, где T0, Tr, Tv, Te, Ti соответственно поступательная, вращательная, колебательная, электронная и ионная температуры. В неравновесных (неизотермических) условиях указанное равенство не реализуется, а для плазменно-химических процессов наиболее интересны условия, когда Te >> T0, Ti, Tv, Tr или Te >> Tv >> T0 » Ti » Tr, т.е. условия, при которых наблюдается значительный отрыв электронной или электронной и колебательной температур молекул от вращательной и поступательной температур газа.
В неравновесных условиях возможно оптимизировать процесс с точки зрения энергетической эффективности, так как в этом случае электромагнитная энергия целенаправленно вкладывается в определенные степени свободы частиц и реакция направляется по нужному каналу. В равновесных условиях энергия вкладывается во все степени свободы частиц (в том числе и те, которые не нужны для получения конечного продукта). Поэтому неравновесные системы более перспективны с экономической точки зрения. Однако в этом случае, так как механизмы протекания химических реакций в неравновесных условиях весьма разнообразны, требуется тщательное изучение всех деталей превращения вещества и энергии, происходящего в плазмохимической системе. К примеру, целый ряд химических процессов (получение оксидов азота, углерода и др.) протекает с наибольшей энергетической эффективностью, если вкладывать энергию в колебательные степени свободы частиц, повышая их колебательную температуру.
Приведем некоторые примеры использования плазмохимических технологий в промышленности.
Плазмотрон небольших размеров (длиной 65 см и диаметром 15 см) за сутки производит 75 т ацетилена, не уступая по производительности огромному заводу. При этом энергозатраты на производство единицы продукции в два раза меньше, чем при традиционном процессе в паровом реакторе пиролиза метана.
В настоящее время созданы плазмохимические технологии производства мелкодисперсных порошков – сырья для быстроразвивающейся порошковой металлургии. Разработан плазмохимический метод получения оксидов азота из атмосферного воздуха, который экономичнее традиционного аммиачного способа. Созданы эффективные плазмохимические методы синтеза карбидов и нитридов титана, молибдена, ванадия, ниобия. Отличительной чертой плазмохимических процессов получения многих видов химической продукции является их высокая производительность и экономичность.