![](/user_photo/2706_HbeT2.jpg)
- •Физические основы микроэлектроники
- •Глава 1. Структура и физико-механические свойства твердых тел
- •1.1. Кристаллизация
- •Структура идеальных кристаллов
- •Обозначение узлов, направлений и плоскостей в кристалле.
- •Жидкие кристаллы
- •Молекул в кристаллической (а), жидкокристаллической (нематической) (б) и жидкой (в) фазах
- •И смектической (б) фазах
- •Типы межатомной связи и классификация твердых тел
- •Кристаллов с ковалентной связью: а — элементы группы ivb;
- •Дефекты реальных кристаллов
- •Внедрения (а) и замещения (б)
- •Диффузия в твердых телах
- •Два соседних узла решетки, один из которых занят атомом а, другой вакансией в
- •Распределение примеси в частных случаях диффузионного процесса
- •1. Диффузия из источника с постоянной поверхностной концентрацией.
- •2. Диффузия из тонкого слоя с фиксированным количеством примеси.
- •Температурная зависимость коэффициента диффузии.
- •Поверхностная диффузия.
- •Деформационные свойства кристаллических тел
- •Рекристаллизация
- •Дислокации
- •Перпендикулярной линии дислокации
- •Явления упрочнения
- •Физические свойства пленок и покрытий
- •Адгезия пленок и покрытий
- •Формирование адгезионной связи.
- •1. Пластичные металлы в месте соприкосновения подвергаются сильной пластической деформации (рис. 2.12), при которой полностью сминаются все неровности. Так осуществляется холодная сварка.
- •Тела жидкостью
- •Функции распределения невырожденного и вырожденного газов
- •Ферми — Дирака для вырожденного газа при абсолютном нуле.
- •Влияние температуры на распределение ферми — дирака.
- •Тепловые свойства твердых тел. Понятие о нормальных колебаниях решетки
- •Элементы зонной теории твердых тел зонный характер энергетического спектра кристаллов
- •Образование энергетических зон.
- •Эффективная масса электрона
- •Заполнение зон электронами; деление на проводники, диэлектрики и полупроводники
- •Собственные полупроводники
- •Примесные уровни в полупроводниках
- •Статистика носителей заряда в полупроводниках.
- •Положение уровня ферми и концентрация свободных носителей заряда в собственных и примесных полупроводниках
- •Основные и неосновные носители.
- •Неравновесные носители
- •Электропроводность твердых тел
- •Электропроводность металлов и сплавов
- •Электропроводность металлических сплавов.
- •Эффекты сильного поля
- •Явление сверхпроводимости
- •Температуры
- •Потенциального барьера при эффекте Шоттки
- •Контактная разность потенциалов
- •Электронно-дырочный переход. Методы получения р-п-перехода
Образование энергетических зон.
Взаимодействие атомов при образовании кристаллической решетки приводит к превращению энергетических уровней свободных атомов в энергетические зоны кристалла.
В системе, состоящей из N изолированных атомов, каждый уровень повторяется N раз. При сближении атомов возникает сильное взаимодействие, которое приводит к образованию энергетической зоны, содержащей N состояний.
Энергетические зоны отделены областями запрещенных энергий — запрещенными зонами Eg (рис. 5.2, а).
Рис. 5.2. Расщепление энергетических уровней и образование энергетических зон в кристалле (а)
В кристаллах с решеткой типа алмаза нижнюю разрешенную заполненную зону называют валентной, верхнюю пустую зону — зоной проводимости.
Рис. 5 4. Кривые, ограничивающие зону проводимости и валентную зону кристалла арсенида галлия
Минимумов кривой зоны проводимости у арсенида галлия один (основной) и несколько побочных.
Принято называть минимум кривой дном энергетической зоны, максимум — потолком зоны.
ΔE = Emах — Emin представляет собой ширину энергетической зоны.
Эффективная масса электрона
Под действием внешней силы F электрон в периодическом поле кристалла движется так, как двигался бы свободный электрон, если бы он обладал эффективной массой m*.
Эффективная масса может быть и больше, и меньше массы покоя электрона.
Эффективная масса электрона существенно зависит от ширины энергетической зоны.
Электроны в полупроводниках с широкой валентной зоной имеют эффективную массу, практически равную эффективной массе свободного электрона.
Электроны в полупроводниках с узкой зоной имеют колоссальную эффективную массу, на много порядков превышающую массу свободного электрона.
Эффективная масса электрона у потолка валентной зоны является величиной постоянной, но отрицательной по знаку, электрон ускоряется в направлении, противоположном действию внешней силы.
Заполнение зон электронами; деление на проводники, диэлектрики и полупроводники
Каждая энергетическая зона содержит по крайней мере N уровней, на которых могут размещаться электроны, где N — число атомов в кристалле. Для кристалла размером 1 см3 N 1022.
При ширине зоны порядка единиц электрон-вольт расстояние между уровнями в ней составляет 10‑22 эВ. Это расстояние столь ничтожно, что зоны можно считать практически непрерывными.
Так как на каждом уровне может разместиться не более двух электронов с противоположными спинами, то при ограниченном числе электронов, содержащихся в твердом теле, заполненными окажутся лишь несколько наиболее низких энергетических зон.
По характеру заполнения электронами верхних зон все тела можно разделить на две большие группы.
К первой группе относятся тела, у которых над целиком заполненными зонами располагается зона, заполненная лишь частично (рис. 5.5, а). Такая зона возникает в том случае, когда атомный уровень, из которого она образуется, заполнен в атоме неполностью. Она может возникать также при наложении заполненных зон на пустые или частично заполненные зоны (рис. 5.5, б). Наличие частично заполненной зоны присуще металлам.
Рис. 5.5. Зонная структура твердых тел: а, б — металлы; в — полупроводники и диэлектрики
Ко второй группе относятся тела, у которых над целиком заполненными зонами располагаются пустые зоны (рис. 5.5, в). Типичным примером таких тел являются алмаз, кремний, германий.
Электрические свойства могут различаться сильно. Например, у металлов электропроводность 107— 108 Ом‑1·cм‑1 , у хороших диэлектриков – 10‑14 Ом‑1·cм‑1.
По величине запрещенной зоны тела второй группы условно делят на диэлектрики и полупроводники. К диэлектрикам относят тела с широкой запрещенной зоной. У типичных из них Eg > 3 эВ. Так, у алмаза Eg = 5,2 эВ, у нитрида бора 4,6 эВ, у Аl2О3 7 эВ . К полупроводникам относят тела с Eg ≤ 3 эВ. У германия Eg = 0,65 эВ, у кремния 1,08 эВ, у арсенида галлия 1,4 эВ, у антимонида индия 0,17 эВ.