Лекции МГУ / EM05

движение не прекратится – образец сейчас в эвцентрической плоскости гониометра. Выключить FOCUS AID.

Подстройка входа пучка. (эта операция очень важна для случая единого конденсорнообъектного поля: в случае наклонного освещения возникает асимметричная дифракционная картина). Деактивировать режим AIS. Выбрать FOCUS PAR в меню PARAMETER и активировать WOBBLE OBJECTIVE (Æ детали образца в центре осциллируют, см. рис.5.9). Переключить на TILT/DEFL на панели ILLUMINATION. Минимизировать движение изображения инкодерами X и Y на панели ILLUMINATION (Æвход пучка оптимизирован и дифракционная картина симметрична). Переключить на SHIFT/DEFL (нормальное положение) на панели ILLUMINATION. Выключить WOBBLE OBJECTIVE и вернуться в главное меню, активировать режим AIS в главном меню.

Настройка AIS (!требует базовой юстировки ПЭМ. Не изменять интенсивность освещения в течение подстройки AIS, поскольку изменение температуры краев может приводить к дрейфу апертуры AIS, что может влиять на дальнейшую процедуру!). Процедура включает следующие операции: Выбрать увеличение 3.150х и установить угол освещения в 1 мрад. Центрировать центральную апертуру (37.5 мкм, 3я позиция). Переключить на режим AIS, и увеличить размер пятна до 100 нм (если яркость велика, то сначала увеличить увеличение). Увеличить увеличение до 125.000х, удерживать пятно в центре инкодерами X,Y в SHIFT/DEFL на панели ILLUMINATION. Переключить на режим TEM и центрировать апертуру AIS на большом экране. Переключить на режим DIFF и центрировать дифракционное пятно на индексную точку. Вставить желаемую апертуру объектной линзы и центрировать ее по дифракционному пятну. Переключить на режим IMAGE и активировать меню AIS ADJ в меню PARAMETER. Уменьшить увеличение на 3 позиции (63.000х). Активировать ADJUST STIG CORR и корректировать астигматизм инкодерами X,Y на панели ILLUMINATION (дифракционное пятно может смещаться при коррекции астигматизма и, если пятно смещается за пределы объектной апертуры, выполнить следующий пункт, а затем возвратиться к этому). Активировать функцию ADJUST TILT CORR и сместить дифракционное пятно в индексную точку (центр объектной апертуры) инкодерами X,Y на панели ILLUMINATION. Перейти на режим IMAGE. Аналогичным образом подстроить систему AIS на 31.500х, 16.000х 8.000х. Проверить полную юстировку и оптимизировать ее.]

Центрирование апертуры объектных линз. Выбрать режим дифракции кнопкой

IMAGE/DIFF на панели IMAGE. Подстроить яркость дифракционной картины кнопкой ILL APERTURE ∆. Центрировать дифракционное пятно инкодерами X,Y на панели IMAGE. Фокусировать дифракционную картину инкодером OBJECTIVE на панели FOCUS. Вставить желаемую апертуру объектной линзы и центрировать ее по дифракционному пятну. Переключить на режим IMAGE кнопкой IMAGE/DIFF на панели IMAGE.

Центрирование апертуры спектрометра. Ввести входную апертуру спектрометра

(1я позиция) и центрировать ее драйверами апертуры по большому экрану.

Центрирование выходной апертуры спектрометра (щели). Перейти на режим

SPEC (спектрометрия) кнопкой IMAGE/SPEC на панели SPECTROMETER (Спектр каустический вблизи центра экрана). Центрировать центр каустики на индексную точку

13

инкодерами на панели SPECTROMETER. Ввести щелевую апертуру (2я позиция) драйверами апертуры и подстроить щель так чтобы каустический спектр был в пределах щели (если используется только режим светлого поля по упругому рассеянию, ширина щели может быть увеличена так, что центр каустики выходит за пределы щели). Переключить на режим IMAGE кнопкой IMAGE/SPEC.

Корректирование астигматизма изображения. Увеличение между 125.000х и

250.000х. Откорректировать яркость током эмиссии (инкодер CURRENT) или углом апертуры освещения (кнопка ILL APERTURE ∆) (!Угол иллюминации не должен быть больше 1.6 мрад, большие углы влияют на качество изображения!). Варьировать фокус (пере-, фокус, недофокус) инкодером OBJECTIVE (наблюдая, например, за зерном углерода. Изображение астигматично, если зерно имеет выделенное направление в недофокусе и оно поворачивается на 900 в перефокусе). Перейти на STIG кнопкой SHIFT/STIG на панели IMAGE. Компенсировать астигматизм инкодерами X, Y на панели IMAGE (Астигматизм скомпенсирован если выделенного направления в зерне в недо- и перефокусе нет). Переключить вновь на SHIFT кнопкой SHIFT/STIG на панели IMAGE. Установить желаемые яркость и увеличение.

Режим низкого увеличения (LM). Установить режим LM (ключ M/LM в главном меню). Убрать щелевую апертуру. Выбрать увеличение между 80х и 2000х (MAGNIFICATION ∆ на панели IMAGE). Отрегулировать яркость (ILL APERTURE ∆ в панели BRIGHTNESS). Запомнить желаемое положение образца в меню GUN). Ввести апертуру объектной линзы и центрировать ее на индексную точку прежде, чем переключать на M в M/LM (Мера предохранения образца).

Среднее и высокое увеличение. Ввести апертуру объектных линз (если это не сделано ранее). Ввести апертуру конденсора (1я позиция для 400 мкм или 3я позиция для AIS). Выбрать M в ключе LM/M главного меню. Увеличение 3.150х – 500.000х (MAGNIFICATION ∆). Убрать апертуру конденсора при М<4.000х. Настроить яркость (ILL APERTURE ∆ в панели BRIGTHNESS). Ввести щелевую апертуру и выбрать желаемую ширину.

Фокусировка образца. Настроить бинокуляры по Вашим глазам и сфокусровать на индексную точку на малом экране. Сместить выбранные детали образца к индексной точке. Включить AID фокуса и нажать CALIBRATE на панели FOCUS. (Детали в центре движутся). Минимизировать движение деталей с помощью Z-Control и сфокусировать образец с помощью инкодера OBJECTIVE пока движение не прекратится. (Образец сейчас сфокусирован на гауссовую плоскость. Гауссовый фокус

– стартовая позиция для фотографий с автоматическим дефокусом). Выключить AID фокуса на панели FOCUS.

14