Дегтяренко Свойства дефектов и их ансамблей, радиационная 2011
.pdf
тельно большеK= Полное дифференциальное сечение образования= первично-выбитых атомов с энергией= q (dσ L dq ) равно сумме дифJ
ференциальных сечений в упругих и неупругих= (dσ L dq )n |
процессах= |
||||||
взаимодействия потока частиц с веществом= |
|
||||||
dσ |
æ dσ ö |
æ dσ ö |
|
||||
= |
Z ç |
|
÷ |
Hç |
|
÷ |
= |
|
|
||||||
dq |
è dq øe |
è dq øn ===============================EPKNQF |
|||||
Потери энергии и вклад каждого из процессов взаимодействия= потока частиц с веществом в создание смещенных атомов зависят от= энергииI=заряда и массы бомбардирующих частицI=а также от заряда= и массы ядер мишениK=В соответствии с принятой в настоящее время= терминологией бомбардирующие частицы условно делят в зависиJ мости от массы на легкие= МN< =Мp= EМp= – =масса протонаF =и тяжелые= МN> =МpI= от заряда= –= на нейтральные и заряженныеI= от энергии на= медленные= EbNY =l =кэВFI =промежуточные= EN =кэВ= Y =ЕN= Y= NMMкэВF= и= быстрыеX=EЕN= [=NMM=кэВFK=Ядра мишени в зависимости от массы подJ разделяются на легкие=EАO=Y=ORFI=промежуточные=EOR=Y=АO=Y=8MF=и тяJ
желые=EАO=[=8MFK=
Материалы термоядерных установок подвергаются действию= потока различных частиц и электромагнитных излученийK=ОсновныJ ми из них являются нейтроныI=заряженные частицы и=g-квантыK=
=
P.O.O. Взаимодействие нейтронов с веществом
=
Основной вклад в создание дефектов вносит упругое рассеяние = нейтроновK=Максимальная энергияI=которую способны передать атоJ му нейтроны с энергией=ЕNI имеет вид=
ˆ |
QA |
bNI =======================EPKNRF= |
qNO ZαNO bNZ |
EAHNFO |
|
|
|
где= А= Z =МN/МO= –= приблизительно равно массовому числу мишениK= Средняя энергияI= переданная атомам при упругом рассеянии= нейтронов=
|
|
|
ˆ |
|
|
|
|
||
|
|
Z |
qNO |
Z |
αNO bN |
Z |
OA |
b K ======================EPKNSF= |
|
q |
|||||||||
|
|
|
|||||||
|
NO |
O |
O |
EAHNFO |
N |
||||
|
|
|
|
||||||
NQN=
=
Для большинства атомных ядер в широком интервале энергий= нейтронов=EMIMO=¸=R=МэВF=дифференциальное сечение передачи энерJ гии можно записать такW=
σd EqIbFZ const K=============================EPKNTF=
αNO bN
С увеличением энергии растет вероятность неупругого рассеяJ ния нейтроновK= При неупругом рассеянии ядром поглощается некоJ торая часть энергии падающего нейтронаI= и ядро переходит в возJ бужденное состояниеK= Возврат возбужденного ядра в равновесное= состояние сопровождается вторичным излучением= Eиспусканием= gJ квантовFK=Средняя энергияI=переданная атомам при неупругом рассеJ янии=
|
|
|
OAb |
bγ |
|
||
|
|
|
|
||||
q Z |
N |
J |
|
|
I =======================EPKN8F= |
||
|
|
|
|||||
|
NO |
EAHNFO |
AHN |
|
|||
|
|
|
|
||||
где=Еg=–=энергияI=израсходованная на возбуждение ядраI=испускаемая= со вторичным излучениемK=
При ядерных реакциях на нейтронах=xEnI=βF;=EnI=aF;=EnI=fF;=EnI=gFz= ядра отдачи иногда получают энергиюI= достаточную для смещения= атомовK= Число смещенийI= вызываемых атомом при испускании= g= J квантаI=определяется из формулы=
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
öO |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
N |
|
|
|
æ q |
|
|
||||||
|
|
νEq FZ |
|
|
|
ç |
|
γ |
÷ I =================== |
EPKNVF= |
|||||||||
Qj |
|
b |
|
|
|
c |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
NO |
O |
|
ç |
|
÷ |
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
d è |
|
|
ø |
|
|
|
||||
где= qγ =–=энергия=g-квантаI= |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
O Z Oj |
b |
|
|
|
cO I ===============================================EPKOMF= |
||||||||||
|
|
q |
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
γ |
2 отд |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
для некоторых= |
||||||||||||||||
где Еотд=–=энергия ядра отдачиK=Значения=Еотд и= νEqγ F |
|||||||||||||||||||
элементов приведены в таблK=PKPK=
Радиационный захват вносит ощутимый вклад в создание= смещений только на медленной составляющей нейтронного потокаK=
При плотности потока тепловых нейтронов= jТ и сечении= sТ= реакции=EnI=gF скорость повреждения=
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
öO |
|
|
|
|
|
N |
|
|
æ q |
|
|
||||
h |
γ |
Zσ |
φ |
|
|
ç |
|
γ |
÷ K ================ |
EPKONF= |
|||
|
|
b |
|
|
c |
||||||||
|
q |
q Qj |
O |
ç |
|
÷ |
|
||||||
|
|
|
|
|
|
d è |
|
|
ø |
|
|||
NQO=
=
При испускании=β-частиц ядра отдачи также обладают энерJ гиейI=достаточной для смещения атомовK=В этом случае==
|
|
|
|
|
|
|
|
|
æ |
|
|
β öO |
|
|
|
|
|
|
|
N |
|
|
b |
||||
νEq |
|
|
FZ |
|
|
||||||||
β |
|
|
|
|
ç |
|
|
|
÷ I =========================EPKOOF= |
||||
Qj |
|
b |
|
|
c |
||||||||
|
|
|
O |
ç |
|
÷ |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
d è |
|
|
ø |
|||
где= b β –=энергия=β-частицI=
h β Z φ×σ nIβ νEqβ FK =============================EPKOPF=
=
Таблица=PKP= Энергия ядер отдачи при испускании ядрами=g-кванта=EnI=gF=и=
среднее число смещений в каскаде для некоторых элементов=
Элемент= |
bотдI=xэВz= |
nET |
g F = |
bотд÷sTI=xэВ·бz= |
|
|
|
|
|
АN= |
TTMK=S= |
|
NS= |
NTT= |
ce= |
P8VK=O= |
8= |
V8R= |
|
Со= |
PMR= |
|
S= |
===NNKP÷NMP= |
ki= |
RST= |
|
NO= |
OTOO= |
Си= |
P8NK=V= |
|
T= |
NQQM= |
Zr= |
OMN= |
|
Q= |
PSKO= |
Ti= |
QOTK=S= |
|
J= |
OQ8M= |
jo= |
NQ8K=R= |
|
J= |
QMN= |
s= |
QPP= |
|
J= |
OONM= |
_e= |
N8PNK=O= |
|
J= |
J= |
jg= |
QNR= |
|
J= |
OS= |
|
|
|
|
|
=
Ядерные реакцииI= в которых образуются высокоэнергетичные= ионыI= могут рассматриваться как внутренние источники бомбардиJ рующих частицI= и число возникающих при этом смещений рассчиJ тывается по формулам для расчета числа смещенийI= образуемых= иономI=замедляющимся в твердом теле до полной остановкиK=
Для определения скорости образования смещений при реакJ торном облучении материалов необходимо знать реальный энергеJ тический спектр нейтроновK= Обычно оценка повреждающей способJ ности реакторного облучения сводится к расчету скорости образоваJ ния смещений для нейтронов средней энергииK= Одно смещение на=
NQP=
=
атом достигается в нержавеющих сталяхI=напримерI=при облучении в=
реакторе БОРJSM=при флюенсе=NK8∙NMOR н/мOI=в реакторе=b_oJП=–=при=
2∙NMOR н/мOI=в реакторе=ecfo=–=при=T∙NMOQ н/мOK=
Если сечения процессов взаимодействия нейтронов реакторноJ го спектра с веществом для материалов известныI=то расчет скорости= образования смещений при нейтронном облучении не вызывает= принципиальных затрудненийK=
=
P.O.P. Взаимодействие ускоренных ионов с веществом
Для описания процесса рассеяния ионов на атомах решетки= обычно пользуются простым кулоновским потенциалом= Eпри= l= …= ~I= где= l =– =расстояние максимального сближения атомовI= а= –= радиус= экранированияFI=экранированным кулоновским потенциалом при=l=»= а и экранированным кулоновским потенциалом с учетом потенциала= Борна-Майера при=а=<=l=<=NMаK=
NK=При кулоновском рассеянии ион с энергией=ЕN передает поJ
|
ˆ |
|
|
коящемуся атому энергию от=M=до= qNO W= |
|
||
ˆ |
QjNj O |
bNI ==============================EPKOQF= |
|
qNO ZαNO bN Z |
|
||
EjN Hj O FO |
|||
|
|
||
где=МN и=МO=–=массовые числа взаимодействующих частицK== Средняя энергияI=переданная атомам частицей с энергией=ЕNI=
|
|
Z |
qd lnEαNO bN L bd F |
K===================== |
EPKORF= |
|
q |
||||||
|
||||||
|
NO |
NJ bd L αNO bN |
|
|||
|
|
|
|
|||
Полное сечение образования смещений при кулоновском расJ сеянии частиц вычисляется по формуле=
|
|
|
Qπ~Oj |
N |
Z OZ O bO |
|
|
|
|
|
σ |
d |
Z |
M |
N O o |
ENJ b |
d |
L α |
b FI== |
EPKOSF= |
|
|
|
|
||||||||
|
|
j O bNbd |
NO |
N |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
||||
где=bo=–=энергия Ридберга=ENPISMR=эВFI=ZNI=ZO=–=атомные номера взаиJ модействующих частицK=
Облучение ионами с энергией= ЕN вызывает смещение атомов= со скоростью=
|
|
|
|
Oπ~Oj |
N |
Z O Z O bO |
α b |
||
|
|
|
|
||||||
hZσ |
Eq F×φ=φ× |
M |
N O o |
×ln |
NO N |
K ===============EPKOTF= |
|||
|
|
|
|
||||||
|
d NO |
j O bNbd |
bd |
||||||
|
|
|
|
||||||
NQQ=
=
РезультатыI= приведенные вышеI= применимыI= когда всеми= скользящими столкновениями=El=[=аF=можно пренебречь=Eони не дают= ощутимого вклада в создание смещенийFK=Как предельный критерий= применимости простой кулоновской модели используется условие= ЕN»ЕbI=Еb= –= энергия ионовI= при которой для обычного кулоновского= потенциала=El=Z=аF=
|
eO~ bO |
|
|
|
|
|
b Z |
NO ~ |
I =======================================EPKO8F= |
||||
|
||||||
b |
Qbd |
|
|
|
|
|
где= Еа= –= энергия ионовI= при которой для экранированного кулоновJ |
||||||
ского потенциала=El=Z=аF= |
|
|
|
|
|
|
|
T S æ jNHjO |
ö |
|
|||
b~ ZObo EZNZO F |
ç |
|
÷K |
EPKOVF= |
||
ej O |
||||||
|
|
è |
ø |
=================== |
||
OK=Для ионов с энергией меньше=Еb=EЕ~=<=bN<=bbF наряду с лоJ бовыми столкновениями=El=…=аFI=следует учесть и скользящие столкJ новения для которых=l=»=аK= Наиболее приемлемой для расчета спекJ тров ПВА в этом случае является модель экранированного кулоновJ ского взаимодействия в аппроксимации ЛиндхардаK=
На расстояниях между атомами=r ≤=MKTǺ наилучшую точность= дает потенциал Томаса-Ферми-ФирсоваW=
sErFZ ZNZOeO χEr L ~FI =========================EPKPMF=
r
где= ZNI =ZO= –= атомные номера иона и атома мишениI= r= –= расстояние=
между |
ядрами |
сталкивающихся |
атомныхI= |
~ZMI88×~M ( |
ZN H ZO |
O P |
|
I = ~M= –)= боровский радиусI= c(хF= –= функция= |
|||
экранирования Томаса-ФермиI= при= х= … =N = =c ≈= N–NIR8x и потенциал= sErF переходит в кулоновскийK=
PK=При=ЕN ≤ Е~ нельзя пренебрегать лобовыми столкновениямиI= но также необходимо учитывать скользящие столкновения с Jпри цельным параметром вплоть до= NMаI =тK =еK =при= ЕN ≤ Е~ представляют= интерес столкновенияI=для которых=а=<=l=<NMаK=
На расстояниях=r ≥=MIT=ǺI=которые играют основную роль при= энергиях взаимодействия меньше нескольких сотен эВI= лучшее соJ гласие дает потенциал Борна-Майера===sErFZ AexpEJbrFI b=Z=PKRP,=
NQR=
=
( |
Z |
N |
H |
Z |
O |
Q P |
) |
~Z8TKT= |
|
|
эВK ==================EPKPNF= |
Для этого класса столкновений средняя энергияI= переданная= атомамI=и полное сечение рассеяния приближенно имеют вид=
|
|
|
|
αNO bN bd I ===================================EPKPOF= |
|||
qNO Z |
|||||||
|
|
|
nO~O b |
~ |
|
|
|
σd Z |
|
~ |
NO |
K |
=========================EPKPPF= |
||
|
|
|
|||||
|
|
|
Q |
bNbd |
========= |
||
Если знаем потенциал взаимодействия атомных частицI= то по= |
|||||||
известным формулам классической механики можно найти диффеJ ренциальное сечение рассеяния иона на заданный угол или диффеJ ренциальное сечение передачи энергии=Т неподвижному атомуK==
В общем случае интегралыI =входящие в выражения для дифJ ференциальных сечений с потенциалами= EPKPMF=и= EPKPNFI= не выражаJ ются через элементарные функцииK=Поэтому для большинства пракJ тических расчетов используют степенные аппроксимации потенциаJ
лов=EPKPMF=и=EPKPNF=sErF~ r JN
m I =M=<=m=≤=NI=при этом дифференциальное= сечение передачи энергии=Т хорошо аппроксимируется выражением=
dσ Z Cm ×b Jm ×q JNJm I ==M=<=Т=<=ТmI======= =========================EPKPQF=
====ds=Z=MI========================q=>=qmI==========================================
где= q Z QjNj O b = –= максимально возможная передаваемая энерJ m EjN Hj O FO N
гияK=
Передаваемая энергия= Т= связана с углом рассеяния в системе= центра инерции соотношением= q Zqm sinO (Θ L O K=) Константы= Cm= имеют видW==
|
|
|
π |
|
~O æ |
jN |
ö |
m æ |
OZNZOe |
O öOm |
|
C |
|
Z |
λ |
ç |
|
÷ I ==m>NLQX==========EPKPRF= |
|||||
m |
|
|
÷ |
|
|
||||||
|
|
O |
m |
ç |
|
ç |
~ |
÷ |
|||
|
|
|
|
è j O ø |
è |
ø |
|||||
|
π |
|
O æ jN |
öm |
Om |
I===m<NLQK== |
||
Cm Z |
|
λmb |
ç |
|
÷ |
E OΛF |
|
|
O |
|
|
||||||
|
|
è j O |
ø |
|
|
|
||
Потенциал= s :rJN
m при= m= <= NLQ= аппроксимирует потенциал= Борна-Майера=EPKPNFI=а при=m=>NLQ=–=потенциал Фирсова=EPKPMFI=приJ
NQS=
=
чем при=NM=<=rLа=<=PM==–==m=≈=NLPI=при=N=<=rLа=<=NM=–==m=Z=NLOI=при=MKO= <=rLа=<=O=–=mZ=OLPI=при=rLа=<=MKO==J=m=Z=NK= Константы=lm убывают с=
ростом=mI=lM=Z=OQI==lNLP=Z=NIPMVI==lNLO=Z=MKPOTK=
Вид потенциала=EPKPMFI=а также аппроксимации=EPKPQF=при=m=>= NLQ=позволяет ввести безразмерную энергию==
εZ |
b |
;==bi Z |
ZNZOeO jNHj O |
K = |
EPKPSF= |
||||||
b i |
~ |
|
|
j O |
|||||||
|
|
|
|
|
|
====== |
|
||||
Множитель= EjNHjO FL jO в выражении= Еi |
введен для переJ |
||||||||||
вода безразмерной энергии в лабораторную системуK= Как можно= |
|||||||||||
увидеть в дальнейшемI=многие важные результаты в теории взаимоJ |
|||||||||||
действия атомных частиц с твердым телом выражаются в виде униJ |
|||||||||||
версальных функций от безразмерной энергииK= |
|
||||||||||
Упругие |
столкновения ионов |
с атомами мишени приводят= |
|||||||||
во-первыхI=к рассеиванию ионовI=а во-вторыхI=к потере энергии= |
|||||||||||
|
|
|
|
æ db |
ö |
|
|
qm |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
ò qdσEqFK ===========================EPKPTF= |
||||
|
|
|
|
ç |
|
÷ Z kpn Z k |
|||||
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
è dx |
øn |
|
M |
|
|||
Величина= pn называется упругой или ядерной тормозной споJ собностью веществаX= pnEeF= –= универсальная функция безразмерной= энергииI=она представлена на рисKPKTK=При степенной аппроксимации= EPKPMF=с=m=Z=NLP=
pn ZNIPM8π~ZNZOe |
O |
jN |
ZconstK= |
EPKP8F= |
|
jNHjO |
|||
|
|
|
|
При=NLQ ≤= e ≤= O=pn действительно слабо зависит от энергииI= и= можно пользоваться выражением=EPKP8FK=
Высокоэнергетичные ионы могут проникнуть под облако= атомных электроновI= при этом часть энергии ионов расходуется на= ионизацию и возбуждение электронной подсистемыK= Однако ион= почти не рассеивается на электронах вследствие большой разницы= масс электрона и ионаK=Поэтому можно считатьI=что на ион действуJ
ет непрерывная тормозящая силаI=направленная в сторонуI=обратную= скорости ионаK=При скоростях иона меньше скорости= электронов на= поверхности Ферми тормозная способность=EdbLdхFе пропорциональJ на скорости иона=vK=
NQT=
=
=
РисK= PKTK= Ядерные и электронные тормозные способности = в безразмерных единицах=e=и=rW==
—========–=ядерная тормозная способность= (¶ε L ¶ρ )n X=
J=J=J=======–=в приближении потенциала=s=~=rJOX=
J=∙=J=∙=J===–=электронная тормозная способность=EN=–=для протоновI=O=–= для тяжелых ионовF=
=
Выражение для неупругих потерь энергии тяжелых ионов быJ ло получено Фирсовым на основе представления об обмене электроJ нами летящим ионом и атомом мишениI= в результате которого кажJ дый электрон переносит импульсI=равный=mvI=где=m=–=масса электроJ наI= v= –= относительная скорость иона и атомаK=При этом на ион дейJ ствует сила тренияI=которая для не сильно отличающихся атомных= номеров иона и атома равна=
æ db ö |
Z kpe ZJMIOPQ×NMJPMEZNHZO FkvI= |
EPKPVF= |
||
ç |
|
÷ |
||
|
||||
è |
dx øn |
|
|
|
где=pе=–=электронная тормозная способностьK=
Эта формула впоследствии обобщаласьI=во-первыхI=для случая= сильно различающихся атомных номеров иона и атома мишениK=ВоJ вторыхI= на основе распределений электронной плотности в атомахI= полученных из квантовой механикиI= были учтены оболочечные эфJ фекты и получена не монотоннаяI=а осциллирующая зависимость= pе= от= ZN= и= ZOK =Все эти обобщенияI =однакоI =приводят к весьма громоздJ ким формуламI=поэтому мы их не приводимK=Тем болееI=что формула= EPKPVF=отличается от ее обобщений не более чем на фактор=OK=ВыраJ
NQ8=
=
жение для=EdbLdxFеI= мало отличающееся от формулы Фирсова=EPKPVFI= было дано также Линдхардом и Шарфом=
J |
æ db ö |
Z8π~ |
|
ξ |
éZ |
|
Z |
|
eO k L |
( |
Z OL P HZ OL P |
PL O ù |
v |
I = = = = = = = EPKQMF= |
|||
ç |
|
÷ |
Б |
N |
O |
ú |
|
||||||||||
|
|
|
ê |
|
|
N |
O |
|
) |
||||||||
|
è |
dx øn |
|
|
|
ë |
|
|
|
|
|
|
|
û vM |
|
||
где= ~Б и= vM= –= боровский радиус и |
скорость |
электрона на |
боровской= |
|||||
орбитеI=x=Z=N=¸=O=и меняется=~=zNLSK= |
|
|
|
|
скоростью= v =< =vc= – |
|||
Для протонаI= движущегося |
в металле |
со |
||||||
фермиевской скорости электроновI= выражение |
для потери |
энергии= |
||||||
на возбуждение электронов было получено Трубниковым и ЯвлинJ |
||||||||
скимW= |
|
|
|
|
|
|
|
|
æ db ö |
æ mэф ö |
|
|
|||||
Jç |
|
÷ ZNNIT×NMT hneN PZOO ç |
|
|
÷vI == |
EPK=QNF= |
||
|
|
|
||||||
è |
dx øn |
è m |
ø |
|
|
|||
где= ne= – =плотность свободных электроновI =~ =mэф= –= их эффективная= массаK= Эта формула была получена из рассмотрения поляризации= среды движущимся зарядом с помощью формализма диэлектричеJ ской проницаемостиK=
Неупругие потери энергии достигают максимума при скорости= иона= ~ vM Z OOL P I=а затем уменьшаются с ростом скорости иона согласJ но формуле Бете-Блоха==
æ db ö |
|
QπZNOeQ |
||
Jç |
|
÷ |
Z |
|
|
mvO |
|||
è |
dx øe |
|
||
æ Om vO ö |
|
|||
ZO k ×ln ç |
e |
÷I = |
EPKQOF= |
|
f |
||||
ç |
÷ |
|
||
è |
|
ø |
|
|
где= f= –= средний потенциал ионизацииI= который в модели ТомасаJ Ферми равен=NPIR=эВK=
|
На рисK=PKT=приведена для сравнения также неупругая тормозJ |
ная |
способность= pе для некоторого ионаK= Безразмерная энергия= eсI= |
при |
которой сравниваются упругие и неупругие потериpnE=ecF= Z= |
peEecFI составляет=eс=Z=N=¸=O=для=ZN=>=ZOK=При=ZN=<=ZO==eс=<NI=а для проJ тонов и других изотопов водорода практически всегда=pе=>pnK=
Полный пробег иона в веществе определяется суммой тормозJ ных способностей=p=Z=pn=H=pe и равен=
N M db
oZ k bò pn Hpe K =======================================EPKQPF=
NQV=
=
Однако практически наибольший интерес представляет = не полный пробег ионаI=а расстояние от места начала движения до меJ стеI= где ион останавливаетсяK= НапримерI= важно знать глубинуI= на= которую проникают ионыI= падающие на поверхность мишениI= или= расстояниеI=на которое смещается атомI=выбитый из узла кристаллиJ ческой решеткиK=Расстояние от места начала движения до остановки=
в твердом теле всегда меньшеI =чем полный пробегI =поскольку ион= движется по=…ломаной траектории»I=вследствие рассеяния на атомахK= Если начальный импульс иона не ориентирован вдоль плотноJ упакованных атомных рядов в кристаллеI= то эффект каналирования= не существен для движения ионаI= его столкновения с атомами миJ шени не коррелированыK= В этом случае мишень можно считать= аморфнойK= Для большинства процессовI= рассмотренных нижеI= приJ
ближение аморфной мишени вполне достаточноK=
По мере проникновения вглубь мишени уменьшается энергия= ионовI= изменяются механизм и сечение их взаимодействия с атомаJ ми мишениI=что вызывает изменение скорости повреждения по глуJ бине пробега ионовK=Для расчета профилей повреждения созданы= программы и атласыI= которые следует использовать как стандарты= на расчет уровня повреждений при ионном облученииK= С помощью= этих программ рассчитывается также уровень повреждений при реJ акторном и электронном облученииK=
P.O.4. Распределение по глубине проникновения внедренных ионов и дефектов, созданных ионами
=
Для исследования большинства процессовI=которые проходят в= облученном твердом телеI= важно знать распределение по глубине= проникновения= EилиI= как его называютI= …профиль»F= внедренных= ионовK=
Распределение внедренных ионов по глубине проникновения= изучалось многоI= разными методамиI= как экспериментальноI= так и= теоретическиK= Ряд экспериментальных методов определения профиJ ля= основан на анализе поверхности= EнапримерI= методами оже-спекJ= троскопииI= масс-спектрометрииI= рентгеновской спектроскопии =и т.пKFI= которому сопутствует послойное стравливание поверхностных= слоевK= Существуют и неразрушающие методы измерения профиляI=
NRM=
=