2.3.7 Техпроцесс изготовления п-п структуры и сборки прибора т-142

Техпроцесс изготовления полупроводникового элемента и сборки прибора Т-142 представлен в таблице 2.8

Таблица 2.8 – Техпроцесс сборки прибора Т-142

Рисунок	Наименование операции	Параметры	Режимы	Материалы
	Наклейка пластин		T = (110-140) ^0C	Глифталиевая замазка
	Вырезка	16-0.11 мм
	Отмывка		кипение t = 25-35 мин Cушка фильтрами	диметилформа-мид
	Подготовка деталей к пайке		tдекопир1 мин промыть до нейтр. реакции Тсуш=(13010) ^0C t = 10 мин	HCl H2О r ³ 18 МОм
	Пайка с нижним электродом		Загрузка кассеты: электродная структура навеска припоя Пайка: I-III зоны = (52010) ^0C IV – зона = (47010) ^0C V-VIII зоны = (41010) ^0C v ленты = 11–13 см/сек точка росы H2 -60^0C росы азота  -50 ^0C	ПСр – 2.5 припой H2 технический марки А азот газообразный
	Снятие фаски	D = 16-0.11 мм d = 13­­-0.27 мм Rсферы = 35 мм		Микропорошок М 14

Продолжение таблицы 2.8

Рисунок	Наименование операции	Параметры	Режимы	Материалы
	УЗМ		T = 50-70 ^0C t = 5мин 2 раза Сушка ИК Т = (12010) ^0C t = 5-10 мин	H2О r ³ 18 МОм
	Подготовка элемента п/п к пайке с выводами		tдекон.  1 мин. промыть до нейтр. реакции УЗМ Тсушки = (13010) ^0C t = 10 мин		НСl H2О r ³ 18 Мом
	Пайка вывода		Загрузка: вывод, кольцо посер. электрод I зона = (40010) ^0C II зона = (48010) ^0C III зона= (76010) ^0C IV зона=(82010) ^0C V зона= (82010) ^0C VI зона=(70010) ^0C VII зона=(55010)^0C Скорость движения конвейерной ленты 18-20 см/мин		ПСр-2.5 припой

Продолжение таблицы 2.8

Рисунок	Наименование операции	Параметры	Режимы	Материалы
	Травление фаски (линия щелочного травления)	Проверка ВАХ Ud=750 В Iут Iобр.0.1 мА проверка цепи управления Iупр.  135 мА Uупр.  3.0 В	Кипение t = 4 мин. промыть до нейр. реакции Тводы = (5010) ^0C 2-3 раза окунуть в раствор и промыть в горячей Тводы = (5010) ^0C и холодной Тводы = (1820) ^0C воде tсуш = 20 с., в I центрифуге 2-3 раза окунуть сушка t = 30 с в II центрифуге Сушка t = 1 ч. в печи Т = (13010) ^0C	20 % КОН H2О r ³ 18 МОм H2О r ³ 18 МОм С6Н8О7 – 5 % раствор Н2О r ³ 18 МОм С2Н5ОН
	Защита фаски (камера ламинарная Ш6у-14) Печь конвейерная терморадиацион. АМ.762.000.000 ОМ 827.0000 ОМ. 1447.0000 установка защиты ОМ 1567.0000)	Замер ВАХ U = 1000 В Iут  0.1 мА	Сушка на воздухе Т = (18-25) ^0C, t = 12 ч Сушка в печи T = (7010) ^0C, t = 2 ч T = (19010) ^0C t = 10 ч	Компаунд КЛТ-30

Продолжение таблицы 2.8

Рисунок	Наименование операции	Параметры	Режимы	Материалы
	Пайка п/п элемента к основанию (электропечь конв.-водородная ВСКМ – 1.36 0.7/9 х15)		I-III зоны 350 ^0C IV – VIII зоны 320 ^0C IX зона 300 ^0C V ленты = 11-13 см/мин Точка росы H2  -60 ^0C N2  -50 ^0C	Припой ПР-1.5 ПОССУ 61­­-0.5 Водород технический А азот газообразный
	Флюсовая пайка на печи ОМ 1037.0000		Т пайки = (23010)^0C Промывка Tводы = (60-80) ^0C t = 10-15 мин Сушка Т = (11010) ^0C t = 15-20 мин	Припой ПР-1.5 ПОССУ 61­­-0.5 H2О r ³ 18 МОм
	Герметизация 1. Одевание корпуса 2.Конденсатор-ная сварка (полуавтомат сварочный ПРК-4001 ПРК-12001 МТК-8002) 3. Обжим штенгеля (пресс К2114; К2318; КД2114А; КД2322Э; К100) 4.Проварка штенгеля силового вывода (машина точечной сварки МТ-1222;МТ6-4002; МТ-1613; МТ-1213) 5. Обжим штенгеля управляющего вывода (пресс К-100)

Продолжение таблицы 2.8

Рисунок	Наименование операции	Параметры	Режимы		Материалы
	6. Обрезка управляющего вывода 7. Проварка штенгеля управляющего вывода (машина сварочн. МТ-1222У4;МТ1613;МТ-1213) 8. Отсечка штенгеля силового вывода и пробивка отверстия (пресс К2114; К2318; КД2114А) 9.Приварака лепестков (сварочный стол СС-1; СС-7; ССП-5; машина сварочная ТКМ –7) 10.Зачистка заусениц (обдирочно-шлифовочный станок 36694)
	11.Проверка ВАХ (установка проверки силовой и управляющей цепи КС 394.0000) 12. Проверка на герметичность (установка проверки герметичности ОП.1180.00.00)	Uпр – 300 в Uобр – 300 в Iут  5 мА	Т = (1205) ^0C t = 1 мин промывка Т = (7010) ^0C t  1 мин Сушка T = (1255) ^0C t = 30 мин	Глицерин H2О

Продолжение таблицы 2.8

Рисунок	Наименование операции	Параметры	Режимы	Материалы
	Никелирование приборов 1. Монтаж приборов 2. Обезжиривание приборов химическое 3. Промывка приборов (ванна ОМ 1377.0000) 4. Обезжиривание приборов электрохимическое (ванна ОМ 1377.0000) 5.Промывка приборов (ванна ОМ 1377.0000) 6. Декопирование (Шкаф вытяжной Ш2-НЖ) 7. Химическая активация (Шкаф вытяжной Ш2-НЖ) 8. Промывка приборов (Шкаф вытяжной Ш2-НЖ)	hNi = 9 мкм	Т = (8010) ^0C t = 7- 10 мин Т = (6010) ^0C окунуть 5-6 раз Т = (8010) ^0C t = 7- 10 мин Т = (6010) ^0C окунуть 5-6 раз до н.р в холодной H2О Т = (1525) ^0C t = 2-5 мин Т = (1525) ^0C t = 5-10 сек	проволока медная  0.3 – 0.5 мм Na3PO4 ­ 25-30 г/л Na2CO3- 20-25 г/л NaOH- 25-30 г/л H2О r ³ 2 МОм Na3PO4 ­ 25-30 г/л Na2CO3- 20-25 г/л стекло жидкое натриевое 5-10 г/л в-во (вещество) вспомогатель 3-5 г/л H2О r ³ 2 МОм Питьевая H2О HCl H2SO4 –25-50 г/л HCl – 25-50 г/л Питьевая H2О H2Оr ³ 2 МОм

Продолжение таблицы 2.8

Рисунок	Наименование операции	Параметры	Режимы			Материалы
	9. Никелирование (ванна НО. 1957) 10. Демонтаж		Дк = 4-4.5 А/дм^2 Т = (6560) ^0C t = 8-10 мин Промыть до н.р Сушка: Т = (100110) ^0C			NiSO4–250-300 г/л NiCl2- 80-100 г/л H3BO3 – 30-40 г/л сахарин – 0.5 г/л водный р-р 1,4 бутандиола - 0.2 мл/л (рн – 3.5 – 4) H2О питьевая
	Облуживание штенгелей силового и управляющего выводов 1. Проверка герметичности 2. Облуживание (рабочее место лудильщика ЗНП. 996.000)			Т = (1205) ^0C t = 1 мин промывка Т = (7010) ^0C t  1 мин Сушка T = (1255) ^0C T = (28010) ^0C выдержать t3c Промывка T = (28010) ^0C t = 3 - 5 мин Сушка T = (11010) ^0C t = 20-35 мин	Глицерин H2О Припой ПОСУ 61-05 флюс безкислотный ZnCL2 – 400 г NH4Cl – 100 г глицерин – 54 г
	Выдержка приборов 3 суток
	Испытания 1. Проверка внешнего вида (стол рабочий КС-4100.00)

Продолжение таблицы 2.8

2. Определение максимально допустимого действующего тока в открытом состоянии и измерение импульсного напряжения в открытом состоянии (УППИ – 4.94.2) 3.Проверка промежуточного напряжения в открытом состоянии (УППИ 4.94.4) 4. Определение класса (УПКСТ – 94-2)