3.3.6. Металлизация.

Техпроцесс металлизации предназначен для создания омического контакта структуры с электрическими выводами приборы и заключается в создании на структуре металлической пленки в области анода и катода.

Первая операция металлизации – подготовка пластины к химическому никелированию. Операция производится в боксе 25П2-ОС. Пластины погружают в раствор NH₄F, HCl и Au (0.1 г/л) на 20-60 секунд. Золото вступает в качестве активатора. Оно улучшает качество осаждения никеля.

Потом пластины без промывки погружают в электролит следующего состава:

NiCl – 30 г/л

NH₄Cl – 50 г/л

NaH₂PO₂ – 10 г/л

C₆H₈O₇ – 60 г/л

Смешанный с лимонной кислотой.

Обработка ведется при температуре (85-90)⁰C в течении 5 минут. Затем пластины сушат 30 минут при температуре (18020)⁰C.

На следующей операции производят вжигание никеля. Для этого используют вакуумную горизонтальную печь. Температура процесса –

(45010) ⁰C. Время вжигания – 30 минут.

После первой металлизации пластины подвергают электронному облучению. Эта операция необходима для создания в кристалле ловушек, которые уменьшают время жизни ННЗ. Перед облучением пластины обрабатывают в царской водке. Потом пластины помещают в специальные кассеты и они поступают на облучение электронами с энергией 5-10 МэВ, дозой (5-7)10⁴ эл/см²

После облучения пластины подвергают 2-й металлизации.

Вначале проводят 2-е никелирование, таким же образом, как и первое. Затем пластины готовят к кадмированию. Для этого их обезжиривают в растворе Na₃PO₄ и ОП-10 и обрабатывают в активаторе HCl:H₂O = 1:1 в течение 2-5 минут. Для кадмирования используют раствор электролита

СdSO₄ – 45-60 г/л

NaSO₄ – 40-50 г/л

H₂SO₄ – 20-30 г/л

Вспомогательное средство ОП-10 6-8 г/л

Плотность тока в электролите 2А/дм²

После кадмирования пластины подвергают серебрению. Раствор электролита имеет следующий состав:

К[Ag(CN)₂] – 74-92 г/л

KCNC – 200-250 г/л

(K₂CO₃5H₂O) – 20-30 г/л

Плотность тока 0.5 А/дм²

После этих процессов пластины подвергают термообработке Т=180 – 200ºC в течение 1 часа.

3.3.7. Скрайбирование, облуживание.

Производится разделение пластин на структуры. Для этого пластины наклеивают на стекло глифталиевой замазкой, и после застывания подвергают вырезке. После вырезки пластины отмывают в диметилформамиде и сушат.

При подготовке деталей к пайке их обрабатывают в НСl и промывают в деионизированной воде.

После этого к структуре припаивают электрод. Для осуществления данной операции используется печь водородная, припой Ср-2.5, водород технический, марки А. После пайки структуры подвергают операции снятия фаски. Эта операция необходима для уменьшения утечки тока по поверхности, в нарушенном слое. Далее структуры промывают в воде и сушат.

После обработки в НСl и УЗМ производится операция пайки вывода аналогично операции пайки нижнего электрода.

3.3.8. Травление.

На следующих операциях производится травление фаски в 20% растворе КОН и защита фаски в КЛТ-30. После обоих процессов проводят контроль ВАХ.

3.3.9. Пайка арматуры.

Производится пайка элемента к основанию используется электропечь конвеерная водородная ВСКМ 1.36 0.7/9.