- •Учебно-методические материалы для лабораторных занятий по курсу «Технология изготовления современных ис, мэмс и нэмс»
- •Критерии применимости фоторезистов
- •Лабораторная работа № 2 «Термическое окисление кремния»
- •Механизм роста и кинетика окисления
- •Факторы, влияющие на скорость термического окисления
- •Определение толщины оксидного слоя
- •Структура и дефекты оксидной пленки
- •Методы осуществления диффузии
- •Лабораторное задание
- •Порядок выполнения работы
- •Требования к отчету
- •Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа 4 «Изучение процесса плазмохимического травления»
- •Совмещение
- •Лабораторное задание
- •1. Изучение подложек гис
- •2. Изучение конструкций гис
Лабораторное задание
Домашнее задание.
1. Ознакомиться с описанием лабораторной работы.
2. Подготовить начальную часть отчета, содержащую титульный лист, цель работы и краткие теоретические сведения.
3. Подготовить форму табл. 1 и 2 приложения, расположив их вдоль широкой стороны листа.
4. Подготовить один лист миллиметровки формата А4 ( машинописный лист), карандаш, резинку.
5. Подготовиться к ответам на контрольные вопросы.
Работа в лаборатории.
1. Изучить подложки ГИС.
2. Изучить конструкции ГИС.
АППАРАТУРА
Для выполнения работы используется следующая аппаратура:
Лабораторный макет, состоящий из кассеты с образцами, лупы и микроскопа.
Номер кассеты состоит из двух групп цифр: 1-ая цифра в 1-ой группе цифр обозначает номер лабораторной работы, 2-ая цифра обозначает номер кассеты в данной лабораторной работе; 1 -ая цифра во второй группе цифр обозначает номер варианта, 2-ая цифра обозначает номер образца.
Внимание!
Пластины с образцами очень хрупки. После рассмотрения пластин сразу же ставьте их в кассету.
При выполнении лабораторной работы недопустимо касаться поверхности микросхем. О замеченных неисправностях необходимо сообщить преподавателю.
ПОРЯДОК ВЫПОЛНЕНИЯ РАБОТЫ
1. Изучение подложек гис
В кассете представлены образцы подложек с номерами от 01 до 05 выполненные из следующих материалов:
01 -ситалл(СТ38-1 );
02 – керамика «Поликор»;
03 – керамика марки 22ХС;
04 - металлическая (титалан);
05 – полиимидная пленка.
Запомните характерные признаки внешнего вида подложек ( матовая или зеркальная поверхность, цвет).
Укажите область применения подложек, параметров и характеристики подложек, определяющие их применение ( s, tg а, ТКЛР, Х).
Параметры подложек приведены в табл. 1, характеристики, определяющие их свойства,- в тексте описания. Результаты анализа занесите в форму таблицы 1 приложения.
2. Изучение конструкций гис
Внимательно рассмотрите каждый образец микросхемы или микросборки.
Определите тип микросхемы — пленочная или гибридная, тонко- или толстопленочная. По обозначению ИС определите номер серии. Функциональное назначение ИС приведено в табл. 2.
Найдите на микросхеме или микросборке (МСБ) ключ, пассивные, активные, технологические и конструктивные элементы. Определите количественные параметры ИС или МСБ степень интеграции К и интегральную плотность и. Для расчета используйте данные таблицы 2.
Результат занесите в форму таблицы 2 приложения.
Выполните эскиз топологии в варианте, указанном в таблице и обозначьте на топологии элементы принципиальной электрической схемы.
Топологию выполняйте на миллиметровке формата А4. Найдите на микросхеме ключ. На топологии он должен находиться в левом нижнем углу платы. Выберите масштаб 10:1. Размеры подложки приведены в табл.2. Точное соблюдение размеров элементов не требуется. Для толстопленочных микросхем необходимо выполнить топологию обеих сторон платы. Заштрихуйте элементы так, как это показано на примерах, приведенных на рис. 9-11.
Покажите результаты преподавателю. По его указанию определите отношение номиналов двух резисторов и емкостей конденсаторов.
Таблица 2. Функциональное назначение ИМС.
Обозначение |
Выполняемая функция |
Общее количес- |
Размеры под- |
Размеры кор- |
микросхемы |
|
тво элементов |
ложки, MM |
пуса, мм |
ЧИМ-1-012-С |
|
49 |
|
|
ЧИМ-6-12.100М-В |
|
64 |
|
|
ЧИМ-1-009-У, 010У |
|
56 |
|
|
ЧИМ-7-22.910М-36 |
импульсный |
66 |
32х20 |
39х29 |
ЧИМ-1-013-У |
модулятор |
56 |
|
|
ЧИМ-1-14УВ |
|
56 |
|
|
ЧИМ-1-15-В |
|
63 |
|
|
230ИК |
Цифровое устройство комби |
30 |
34х23 |
36х24 |
|
комбинированное |
|
|
|
221ЛР1 |
Логический эл-т И-ИЛИ-НЕ |
19 |
16х9 |
16,2х9,2 |
218ТК1 |
Триггер с кккомбинированнымкомбинированным |
26 |
16х8 |
19,5х14,5 |
|
комбинированным запуском |
|
|
|
218АГ1 |
Формирователь
прямоуголь |
19 |
16х8 |
19,5х14,5 |
|
прямоугольных импульсов |
|
|
|
МЦ-Э-081-001 ВУ |
Видеоусилитель |
20 |
21х16 |
30х20 |
МЦ-Э-027 ГУ |
Генератор универсальный |
20 |
22х16 |
30х20 |
МЦ-Э-081-0020П |
Ограничитель поднесущей частоты |
41 |
22х16 |
30х20 |
МЦ-Э-081-007МЗ |
Модулятор звуковой |
32 |
22х16 |
30х20 |
МЦ-Э-081-008УЧ |
Усилитель |
41 |
22х16 |
30х20 |
МЦ-Э-081-660ЧД |
Частотный детектор |
69 |
22х16 |
30х20 |
ТРЕБОВАНИЯ К ОТЧЕТУ
Отчет должен содержать:
1) титульный лист;
2) цель работы;
3) короткие теоретические сведения;
4) результаты выполнения п. 1,2 задания, сведенные в табл. 1,2;
5) эскиз топологии микросхемы своего варианта с обозначенной на ней элементами принципиальной электрической схемы;
6) значения визуальной оценки отношения сопротивлений резисторов или емкостей конденсаторов микросхемы своего варианта.
КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ
1. Какими параметрами характеризуются микросхемы?
2. Как обозначаются микросхемы?
3. Какие конструкции пленочных резисторов, конденсаторов и индуктивных элементов вам известны?
4. Какими параметрами характеризуются пленочные резисторы, конденсаторы и индуктивные элементы?
5. Что такое топология интегральной микросхемы?
6. Дать определение интегральной микросхемы.
7. Что такое активные и пассивные элементы ИМС"?
8. Дать определение Тонкопленочной и толстопленочной микросхемы. Характерные признаки этих микросхем.
9. Дать определение гибридной микросхемы. Характерные признаки гибридных микросхем.
10. Каким требованиям должны удовлетворять подложки микросхем? Каково назначение различных типов подложек?
11. Каким образом реализуется изоляция элементов в микросхемах?
12. Какими параметрами характеризуются ИС? Как они определяются?
13. Дать определение серии ИС.
14. Как обозначаются ИС, каковы основные элементы обозначения?
15. Указать различие в определениях "плата" и "кристалл". К каким типам ИС относятся эти понятия?
16. Что называется контактной площадкой и корпусом ИС? Для чего они предназначены?
17. На каких исходных данных основывается разработка топологии интегральных микросхем?
18. Приведите примеры технологических требований и ограничений.
19. Приведите примеры схемотехнических требований и ограничений.
20. Приведите примеры конструктивных требований и ограничений.
21. Оцените сопротивление пленочного резистора, указанного преподавателем, при заданном поверхностном сопротивлении .
22. Оцените отношение сопротивлений двух пленочных резисторов.
ЛИТЕРАТУРА
ГОСТ 17021-88 «Микросхемы интегральные. Термины и определения.»
Коледов Л. А. Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок. М., Радио и связь, 1989.
Конструирование и технология микросхем. М., Высшая школа, 1984. Под ред. Коледова Л.А.
Симонов Б. М., Заводян А. В., Грушевский А. М. Конструкторско-технологические аспекты изготовления интегральных схем и микросборок. – М.: МИЭТ, 1998.
Схемы электрические принципиальные
Варианты заданий для выполнения топологии
Номер варианта |
Микросхема |
Элементы микросхемы, топология которых выполняется |
1 |
218ТК1 |
С1 -R4 –VD1 |
2 |
|
R2-R6- VT3 |
3 |
|
R2-VT2- R5 |
4 |
|
R5-C2- VT3 |
5 |
|
C4-R7- VT4 |
6 |
|
R8 - R12 - VD3 |
7 |
221ЛР1 |
VD1- VD2-R1 |
8 |
|
VD5 -R2 – VT1 |
9 |
|
VD5 - R2 - VT4 |
10 |
|
R6-C2- VT3 |
11 |
|
R7-VT3- R5 |
12 |
|
VT1 -D7-R4 |
|
|
|