Руководство пользователя (NV8200P)

3. Задачи, не связанные с имплантацией

Системный журнал регистрации (продолжение)

Поля

Ниже окна New Entry располагаются поля считывания Operator (Оператор), Screen (Экран) и Date (Дата). Эти поля идентифицируют текущего пользователя (вас, если вы зарегистрированы в данный момент в системе в качестве пользователя), экран, из которого вы вошли в системный журнал регистрации, и текущие время и дату. Эта информация будет автоматически указываться перед вашей записью в журнал.

Кнопки

Используйте кнопку Accept для сохранения вашей новой записи. Ваше сообщение после этого исчезает из экрана. После выхода из программы, каждый раз, когда кто-либо другой регистрируется в программе, это сообщение будет показываться в окне History.

Используйте кнопку Person Log (Персональный журнал регистрации) для вывода на дисплей персонального журнала регистрации.

Другие кнопки в нижней части экрана «System Log» могут не функционировать.

Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

3-77

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Системный журнал регистрации (продолжение)

Считывание записей

Для чтения записей в системном журнале регистрации прокрутите окно вверх или вниз или в сторону, если требуется. Записи организованы в хронологическом порядке, самая последняя запись находится в конце списка.

Выполнение записи

Для внесения записи в системный журнал регистрации выполните следующие действия:

Шаг

Действие

1Кликните по окну New Entry, чтобы выбрать его.

2Введите свои замечания.

Если вам требуется больше места, увеличьте окно New Entry, как показано на странице 3-75. Информацию по исправлению ошибок см. в подразделе «Исправление опечаток» ниже.

3Для сохранения своей записи кликните по кнопке Accept. Ваше сообщение сохранено.

Примечание: Ваше сообщение исчезает из экрана, но появится в окне History в следующий раз, когда кто-то зарегистрируется и выведет на дисплей системный журнал регистрации.

Исправление опечаток

Можно использовать следующие способы для исправления ошибок в любом журнале регистрации:

•Нажимайте клавишу <Backspace> до удаления ошибки, затем повторите ввод.

•Наведите курсор и выделите символ или цепочку символов, затем перенаберите их с клавиатуры для замещения правильным текстом. Чтобы сянть выделение, просто кликните в любом другом месте экрана.

•Кликните дважды по слову для выделения слова полностью, затем нажмите клавишу <Backspace> для удаления слова.

•Кликните трижды по слову для выделения всего абзаца, затем нажмите клавишу <Backspace> для удаления абзаца.

3-78	4640-0137-0001 Ред. A

3. Задачи, не связанные с имплантацией

Персональный журнал регистрации

Введение

Персональный журнал регистрации представляет собой файл, в котором вы вводите примечания или напоминания для себя. Эти комментарии можете читать только вы и лицо с уровнем пользователя

Supervisor.

Доступ к персональному журналу регистрации

Для доступа к персональному журналу регистрации выполните следующие шаги:

Шаг

Действие

1Выберите опцию Logbook в ниспадающем меню Operator. Появляется системный журнал регистрации.

2Кликните по кнопке Personal Log (Персональный журнал регистрации) в нижней части системного журнала регистрации.

Окно

Экран «Personal Log» имеет единственное окно для чтения ваших предшествующих записей и создания новых записей. Самая последняя запись находится в нижней части списка.

Рисунок 3-16. Экран «Personal Log»

Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

3-79

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Персональный журнал регистрации (продолжение)

Поля

Поля считывания Operator, Screen и Date в персональном журнале регистрации показывают информацию, но эта информация не предшествует записям, которые вы делаете.

ПОДСКАЗКА

В отличие от системного журнала регистрации, персональный журнал регистрации не регистрирует дату и время записи сообщений. Возможно, вы возьмете себе за правило начинать каждое сообщение в персональном журнале регистрации с указания даты и, возможно, времени.

Кнопки

Используйте кнопку Accept для сохранения своей новой записи. Используйте кнопку System Log для вывода на дисплей экрана «System Log».

Другие кнопки в нижней части экрана «Personal Log» могут не функционировать.

Чтение записей

Для чтения записей в персональном журнале регистрации прокрутите окно вверх или вниз или из стороны в сторону, если требуется. Сообщения располагаются в хронологическом порядке, с самым последним сообщением в конце.

Продолжение на следующей странице

3-80	4640-0137-0001 Ред. A

3. Задачи, не связанные с имплантацией

Персональный журнал регистрации (продолжение)

Выполнение записи

Чтобы записать примечание в персональный журнал регистрации, выполните следующие действия:

Шаг		Действие
1	Поместите текстовый курсор в нужное место в окне.
2	Введите свои комментарии.
	Информацию по исправлению ошибок см. в подразделе «Исправление опечаток» на этой
	странице.
3	Кликните по кнопке Accept.

Исправление опечаток

Можно использовать следующие способы для исправления ошибок в любом журнале регистрации:

•Нажимайте клавишу <Backspace> до удаления ошибки, затем повторите ввод.

•Наведите курсор и выделеите символ или цепочку символов, затем перенаберите их с клавиатуры для замещения правильным текстом. Чтобы снять выделение, просто кликните в любом другом месте экрана.

•Кликните дважды по слову для выделения слова полностью, затем нажмите клавишу <Backspace> для удаления слова.

•Кликните трижды по слову для выделения всего абзаца, затем нажмите клавишу <Backspace> для удаления абзаца.

4640-0137-0001 Ред. A

3-81

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Печать

Введение

Существует два основных способа печати:

•печать файла целиком

•печать экрана, показываемого на дисплее в данный момент

Печать файла целиком

Для печати файла полностью, например, файла IDL, который может состоять из одной страницы или нескольких страниц, выполните следующие шаги:

Шаг

Действие

1Кликните по кнопке Print (Печать).

В случае появления окошка подтверждения кликните по кнопке Yes. Кликните по кнопке OK.

Печать текущей страницы дисплея

Чтобы распечатать показываемый в данный момент экран или окно, выполните следующие действия:

Шаг

Действие

1Нажмите клавишу <Print Screen> (Распечатать экран) в верхнем ряду на клавиатуре или клавишу <PrSc> в верхней части цифровой клавиатуры.

Через мгновение курсор мыши превращается в перекрестье.

Наведите перекрестье на окно, которое хотите распечатать, и нажмите левую клавишу мыши.

Экран распечатывается на принтере установки имплантации.

3-82	4640-0137-0001 Ред. A

Раздел 4. Автоматическая имплантация

Общее описание

Введение

Установки имплантации серии NV-8200/8250 могут выполнять большую часть работы по имплантации полупроводниковых пластин автоматически. Они могут задавать условия для начала имплантации, выполнять настройку пучка, поддерживать ток пучка и выполнять имплантацию полупроводниковых пластин – все в соответствии с выбранным вами рецептом.

Вданном разделе

Вданном разделе объясняется порядок выполнения процесса автоматической имплантаций и порядок использования функции автоматической настройки пучка, Autotune.

Раздел содержит информацию по следующим темам:

Тема	См. страницу
Сравнение экранов «Automatic Implants» («Автоматическая	4-2
имплантация») и «Implant» («Имплантация»)
Использование экрана «Automatic Implant»	4-3
Использование экрана «Implant»	4-5
Просмотр технологических рецептов	4-9
Выполнение процесса автоматической имплантации	4-12
Организация очередности партий	4-18
Использование автоматической настройки	4-19
Приостановка, возобновление и прерывание имплантации	4-35

4640-0137-0001 Ред. A

4-1

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Сравнение экранов «Automatic Implants» («Автоматическая имплантация») и «Implant» («Имплантация»)

Введение

Можно выполнять процессы автоматической имплантации из экрана «Automatic Implant» или из экрана «Implant». Оба экрана содержат одинаковые функции, но они различаются в некоторых отношениях.

Сходства

Экран «Automatic Implant» и экран «Implant» содержат одинаковые функции. Из обоих экранов можно:

•выполнять процессы автоматической имплантации (см. подраздел «Выполнение автоматической имплантации» на странице 4-12)

•добавлять и убирать кассеты с полупроводниковыми пластинами (см. шаги 4-7 в подразделе «Выполнение автоматической имплантации», начинающемся на странице 4-12)

•просматривать технологические рецепты (см. подраздел «Просмотр технологических рецептов» на странице 4-9)

Процедуры вышеописанных функций выполняются одинаково из обоих экранов.

Различия

Экран «Automatic Implant» и экран «Implant» имеют следующие различия:

•Экран «Implant» включает массив полей, обеспечивающих информацию о состоянии имплантации.

•Экран «Automatic Implant» включает меню «End Station Control» (Управление приемным терминалов) в режиме «только для чтения».

4-2	4640-0137-0001 Ред. A

4. Автоматические имплантации

Использование экрана «Automatic Implant»

Введение

Из экрана «Automatic Implant» можно:

•Выполнять процессы автоматической имплантации (см. подраздел «Выполнение автоматической имплантации» на странице 4-12.)

•добавлять и убирать кассеты с полупроводниковыми пластинами (см. шаги- 7 в подразделе «Выполнение автоматической имплантации», начинающемся на странице 4-12.)

•просматривать технологические рецепты (см. подраздел «Просмотр технологических рецептов» на странице 4-9.)

•просматривать экран «End Station Control» в режиме «только для чтения» (см. подраздел «Просмотр экрана только для чтения «End Station Control»» на странице 4-4.)

Доступ к экрану «Automatic Implant»

После входа в систему интерфейс оператора открывается в экране «Automatic Implant», показанном на Рисунке 4-1.

Рисунок 4-1. Экран «Automatic Implant»

После вывода на дисплей другого экрана вернуться в экран «Automatic Implant» можно выбором раз-

дела Automatic Implant в меню Operator.

Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

4-3

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Использование экрана «Automatic Implant» (продолжение)

Просмотр экрана «End Station Control» в режиме «только для чтения»

Из экрана «Automatic Implant» можно просматривать экран «End Station Control» в рижиме «только для чтения». В этом экране можно просматривать значения полей, касающиеся приемной станиции, и отслеживать состояние обрабатываемых полупроводниковых пластин по таблицам состояния полупроводниковых пластин.

Доступ к экрану «End Station Control» в режиме «только для чтения»

Для доступа к экрану «End Station Control» в режиме «только для чтения» из экрана «Automatic Implant» выберите опцию Show End Station (Показать приемную станцию) в выпадающем меню Details.

Рисунок 4-2 Экран «End Station Control»

Свертывание экрана «End Station Control», открытого в режиме «только для чтения»

После вывода на дисплей экрана «End Station Control» в режиме «только для чтения» можно скрыть его, выбрав опцию Hide End Station (Скрыть приемную станцию) в выпадающем меню Details.

Описание экрана «End Station Control», отрытого в режиме «только для чтения»

Полное описание экрана «End Station Control» в режиме «только для чтения» и его полей, включая маркированные иллюстрации, см. в подразделе «Мониторинг с экрана «End Station Control»» на странице 5-16.

4-4	4640-0137-0001 Ред. A