Руководство пользователя (NV8200P)

2. Пользовательский интерфейс

Выпадающее меню Detail (продолжение)

Экраны и позиции меню Detail (продолжение)

	Экран		Позиции меню Detail
	Engineering Implant		Show/Hide End Station (Показать / скрыть приемную станцию)
	(Разработка процесса		Show/Hide Load Process (Показать / скрыть процесс загрузки)
			Update Recipe Limits (Обновить пределы рецепта)
	имплантации)
			Show/Hide Auto Tune (Показать / скрыть автоматическую настройку)
			Show/Hide Auto Clean (Показать / скрыть автоматическую очистку)
	Vacuum Control		Show/Hide Purge Controls (Показать / скрыть управление продувкой)
	(Управление вакуумом)		Show/Hide Valve Texts (Показать / скрыть обозначения клапанов)
			Show/Hide Cooling System (Показать / скрыть систему охлаждения)
			Vac Sequence Reset (Сброс последовательности вакуумирования)
			Show/Hide Gas System (Показать / скрыть газовую систему)
			Vacuum Safe State (Безопасное состояние вакуума)
	Beam Control		Show/Hide E. Shower (Показать / скрыть нейтрализатор)
	(Управление пучком)		Show/Hide Beam Param’s (Показать / скрыть параметры пучка)
			Show/Hide Beam Spectrum (Показать / скрыть спектр пучка)
			Show/Hide Correction Factor (Показать / скрыть поправочный коэффици-
			ент)
			Show/Hide Energy Slit (Показать / скрыть энергетическую диафрагму)
			Show/Hide Scanner (Показать / скрыть сканер)
			Show/Hide Ang. Suppr. (Показать / скрыть угловое подавление)
			Show/Hide CF Options (Показать / скрыть опции CF)
			Show/Hide Dark Current (Показать / скрыть темновой ток)
			Show/Hide Beam Noise (Показать / скрыть шум пучка)
			Show/Hide Divergence Mask (Показать / скрыть маску отклонения)
			Show/Hide Ion Gauges (Показать / скрыть ионные датчики)
	Endstation Control		Show/Hide Door Control (Показать / скрыть контроль состояния дверец)
	(Управление	премной	Show/Hide Cass Control (Показать / скрыть управление кассетой)
	стинцией)		Show/Hide Wafer Counts (Показать / скрыть счетчики пластин)
			Show/Hide Auto Tune (Показать / скрыть автоматическую настройку)
			Update Recipe Limits (Обновить пределы рецепта)

4640-0137-0001 Ред. A

2-17

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Выпадающее меню Status (Состояние)

Введение

Рисунок 2-10. Выпадающее меню Status

Выпадающее меню Status предлагает следующие опции:

•Show System Status (Показать состояние системы)

•Show Implant Status (Показать статус имплантации)

•Show Active Passive (Показать активный / пассивный)

•Show Batch Queue (Показать очередь партий)

Все пользователи могут просматривать эти опции в любом экране.

Разделы меню и их функции

Разделы выпадающего меню Status и их функции представлены в следующей таблице:

Позиция меню		Использование
Show System Status		Предоставляет список систем и блокировок, который должен быть вы-
(Показать состояние си-		полнен, прежде чем может начаться имплантация.
стемы)
Show Implant Status		Показывает текущий статус имплантации.
(Показать статус имплан-
тации)
Show Active Passive		Показывает диалоговое окно «Активное / пассивное управление уста-
(Показать активный / пас-		новкой имплантации». Эта функция позволяет только рабочей станции
сивный)		Sun одновременно управлять установкой имплантации (работать в ак-
		тивном режиме); другие рабочие места могут только отслеживать функ-
		ционирование машины (работать в пассивном режиме).
		Эта функция доступна только при установке в конфигурации «Актива-
		ция активного / пассивного управления установкой имплантации» на
		экране «Configuration Editor» опции «Yes» (Да).
Show Batch Queue		Показывает диалоговое окно «Batch Queue» (Очередь партий). Это диа-
(Показать очередь партий)		логовое окно показывает информацию обо всех партиях в очереди. Оно
		позволяет вам также переорганизовать или удалить партии из очереди.
		При отсутствии у вас доступа к какому-либо из экранов «Implant» в ин-
		терфейсе оператора у вас не будет доступа к средствам управления ре-
		организацией или удалением в этом диалоговом окне.
		Продолжение на следующей странице

1-18	4640-0137-0001 Ред. A

2. Пользовательский интерфейс

Выпадающее меню Status (продолжение)

System Status (Состояние системы)

Рисунок 2-11. Диалоговое окно «System Status»

Диалоговое окно «System Status» предоставляет список систем и блокировок, выполнение которого является обязательным до того, как сможет начаться имплантация. Зеленые поля считывания указывают, что конкретная система готова к имплантации, а красное или серое указывает на неготовность системы.

Допустимые значения в поля считывания переключаются при изменений соответствующего параметра системы, например: Открыто или Закрыто, Включено или Выключено, Да или нет.

Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

2-19

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Выпадающее меню Status (продолжение)

Implant Status (Статус имплантации)

Рисунок 2-12. Диалоговое окно «Implant Status»

Поля считывания

Диалоговое окно «Implant Status» содержит следующую считываемую информацию относительно текущего функционирования установки имплантации.

Поле	Определение
Implant Status	Текущий статус имплантации, как одно из следующих состояний: Idle
(Статус имплантации)	(Простой), Starting (Запуск), Implanting (Выполняется имплантация),
	Terminating (Завершение), Hold (Пауза) или Abort (Прервана).
Estimated Time	Расчетная длительность времени, которое потребуется для завершения
(Расчетное время)	текущей имплантации.
Elapsed Time	Количество времени, прошедшее после начала имплантации.
(Истекшее время)
Percent Complete	Процент имплантации, выполненной на данный момент (Истекшее вре-
(Процент выполнения)	мя / Расчетное время, умноженное на 100).
Calculated Scans	Расчетное число сканирований для имплантации.
(Расчетные сканирования)
Beam Current	Фактический ток пучка.
(Ток пучка)

Продолжение на следующей странице

1-20	4640-0137-0001 Ред. A

2. Пользовательский интерфейс

Выпадающее меню Status (продолжение)

Поля считывания (продолжение)

Поле		Определение
Source Prs		Давление в области источника.
(давление источника)
Beamline Prs		Давление в области канала пучка.
(Давление в канале пучка)
Endstation Prs		Давление в области технологической камеры.
(Давление в приемной станции)
Recipe		Имя выполняемого рецепта или имя рецепта со списком процес-
(Рецепт)		сов (только для рецептов со списком процессов).
Sub-Process		Эта функция в данный момент не поддерживается.
(Подпроцесс)
List Index of Total		Эта функция в данный момент не поддерживается.
(Указатель списков в целом)
Species		Имплантируемая легирующая добавка.
(Имплантируемый элемент)
Dose		Число имплантируемых ионов/см2.
(Доза)
Energy		Общая энергия ионного пучка.
(Энергия)
Batch Size		Число полупроводниковых пластин или кассет в текущей пар-
(Размер партии)		тии.
Wafer Number		Номер полупроводниковой пластины, находящейся в данный
(Номер пластины)		момент в подложкодержателе, в последовательности от 1 до x,
		где x – размер партии.

Active Passive (Активное / Пассивное)

Опция меню Show Active Passive выводит на дисплей диалоговое окно «Активное / пассивное управление установкой имплантации». Эта функция позволяет только одной рабочей станции Sun одновременно управлять установкой имплантации (работать в активном режиме); другие подключенные рабочие станции могут только отслеживать функционирование машины (работать в пассивном режиме).

Функция «Активное / пассивное управление установкой имплантации» доступна только при задании в конфигурации «Активация активного / пассивного управления установкой имплантации» в экране

«Configuration Editor» опцию «Yes» (Да).

Подробнее о функции «Активное / пассивное управление установкой имплантации» см. в подразделе «Задание активного или пассивного управления установкой имплантации» на странице 3-5.

Batch Queue (Очередь партий)

При выборе меню Show Batch Queue выводит на дисплей диалоговое окно «Batch Queue». Диалоговое окно «Batch Queue» показывает информацию обо всех партиях в очереди. Это диалоговое окно позволяет также выполнять реорганизацию или удаление партий из очереди. При отсутствии у вас доступа к какому-либо из экранов «Implant» в интерфейсе оператора у вас не будет доступа к средствам управления реорганизацией или удалением в этом диалоговом окне.

4640-0137-0001 Ред. A

2-21

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Выпадающее меню Help (Справка)

Введение

Выпадающее меню Help доступно всегда, обеспечивая информацию об установке имплантации серии NV-8200/8250, когда она требуется.

В данном подразделе

Данный подраздел включает следующие темы:

Тема	См. страницу
Вход в Help	2-23
Навигация по Help	2-25
Функции экрана Help	2-26
Печать Help	2-28

1-22	4640-0137-0001 Ред. A

2. Пользовательский интерфейс

Вход в Help

Введение

Рисунок 2-13 Меню «Help»

Для входа в опцию интерактивной справки выберите одну из опций в нижеследующей таблице в ниспадающем меню Help.

Позиция меню		Определение
Current Screen		Справка, относящаяся к экрану, в котором вы находитесь в дан-
(Текущий экран)		ный момент.
Topic List		Список тем, в котором кликом можно вызвать справку.
(Список тем)
Using Help		Гипертекстовая информация, описывающая порядок использо-
(Использование справки)		вания системы интерактивной справки.
Hide/Show Help		Помечает текущую страницу справки для последующего обра-
(Скрыть / показать справку) (По-		щения и скрывает ее, или показывает скрытую страницу справ-
является только после вывода на		ки.
дисплей экрана «Topic List» или
«Using Help»)
		Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

2-23

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Вход в Help (продолжение)

Topic List (Список тем)

При выборе опции Topic List появляется следующий экран справки:

Рисунок 2-14 Список тем в экране «Help»

Использование списка тем

Кликните по кнопке Next Page (Следующая страница) для просмотра продолжения списка тем. Кликните по подчеркнутому слову для доступа к информации по этой теме.

1-24	4640-0137-0001 Ред. A

2. Пользовательский интерфейс

Навигация по «Help»

Введение

После вывода на дисплей интерактивного экрана «Help» можно перемещаться по справке, выбирая активные ссылки или используя кнопки в нижней части каждой страницы.

Использование активных ссылок для доступа к информации

Активными ссылками являются подчеркнутые слова, которые можно выбирать для вывода информации на дисплей. Активные ссылки чаще всего используются в списках тем.

Кнопки навигации

Рисунок 2-15 Кнопки навигации экрана «Help»

Кнопка Retrace (Возврат) перемещает вас назад по информации, в обратном порядке ее просмотра. В случае выхода на информацию посредством выбора активного слова или позиции в списке тем кнопка Retrace вернет вас к активному слову или в список тем. Однако кнопка Retrace не возвращает вас в исходную точку в случае использования для достижения цели кнопок Previous Page (Предыдущая страница) или Next Page (Следующая страницf).

Кнопка Previous Page перемещает вас на предыдущую страницу экрана «Help». Кнопка Next Page перемещает вас на следующую страницу.

Кнопка Close (Закрыть) закрывает интерактивную справку.

ПРИМЕЧАНИЕ

Кнопки Previous Page и Next Page не работают, если страница не имеет точного положения на экране. Для точного позиционирования страницы используйте стрелки вверх и вниз.

4640-0137-0001 Ред. A

2-25

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Функции экрана «Help»

Введение

Рамка экрана «Help» содержит функции, показанные на нижеследующей иллюстрации:

Рисунок 2-16. Рамка экрана «Help»

Процент исходного размера	Кнопки изменения страницы
страницы

Увеличение и уменьшение

Возможности увеличения содержатся в кнопках, показанных ниже:

Рисунок 2-17. Увеличение и уменьшение экрана «Help»

Процентное поле и кнопки позволяют увеличивать и уменьшать размеры страницы. Кнопка с маленькой буквой z уменьшает размер страницы, а кнопка с большой буквой Z увеличивает размер страницы.

В случае выбора процентного поля появляется всплывающее меню увеличения. Можно выбрать одно из значений процента в списке или выбрать Set (Задать)... для задания новых значений в процентах (от 25% до 1600%) для вывода на дисплей экрана «Help».

Продолжение на следующей странице

1-26	4640-0137-0001 Ред. A