Руководство пользователя (NV8200P)

3. Задачи, не связанные с имплантацией

Типы фильтров Group

Введение

Фильтры Group позволяют показывать только те предупреждения, что были сгенерированы одной или несколькими группами (конкретными узлами или системами).

Рисунок 3-7 Диалоговое окно «Alarms Group Filters» (Фильтры групп предупреждений

Определения

В нижеследующей таблице определены типы фильтров Group:

Тип группы		Определение
ALM TEST		Отсутствуют на серии NV-8200/8250.
ALARM		Ввод/вывод файла журнала регистрации предупреждений (программное
		обеспечение не может внести изменения в файл журнала регистрации
		предупреждений).
AUTO TN		Автоматическая настройка.
VACUUM		Вакуумная система.
FACLTY		Системы инженерного обеспечения.
IMPLANT		Управление имплантацией.
DOSE		Контроллер измерителя дозы.
INIT		Инициализация (обмен данными между логическим контроллером и
		компьютером).
		Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

3-17

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Типы фильтров Group (продолжение)

Определения (продолжение)

Тип группы		Определение
OP INTF		Интерфейс оператора.
SDLC		Передача данных SDLC.
MAN BEAM		Пучок.
WAF HAN		Подача и транспортировка полупроводниковых пластин.
AMU		Контроллер AMU.
ALIGNER		Устройство выравнивания (называемое выравнивателем полупроводни-
		ковых пластин).
SECS2		Особые предупреждения, полученные с хоста.
ESHOWER		Нейтрализатор
FOCUS		Фокусировка и центровка пучка.
ICS		Система управления имплантацией.

3-18	4640-0137-0001 Ред. A

3. Задачи, не связанные с имплантацией

Добавление фильтров Status или Group

Введение

Можно добавить один или несколько фильтров состояния или группы в экран «Alarm Filters». В экране «Alarm Database» будут показываться только предупреждения, удовлетворяющие всем выбранным вами критериям.

Процедура

Для добавления фильтров состояния или группы в список выполните следующие шаги:

Шаг	Действие
1	Кликните по кнопке Status Filter или Group Filter в экране «Alarm Filters».

Появится диалоговое окно «String Filters» (Фильтры цепочек) или «Фильтры групп» (Group Filters).

Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

3-19

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Добавление фильтров Status или Group (продолжение)

Процедура (продолжение)

2Кликните по нужному фильтру в колонке Status или Groups. Этот фильтр добавляется в список Selected Status (Избранное состояние) или Selected Groups (Избранные группы). См. определения фильтров в подразделах «Типы фильтров Status» на странице 3-16 или «Типы фильтров Group» на странице 3-17.

3Повторите по желанию. Можно добавить также фильтры цепочек или фильтры времени.

4Когда вы будете удовлетворены выбранными фильтрами, кликните по кнопке Accept (Принять). Вы вернетесь в экран Alarm Filters.

5Добавьте фильтры в любой другой категории по желанию и кликните по кнопке Accept.

Примечание: Убедитесь, что правильно активировали поиск по нужным вам категориям фильтров. См. подраздел «Активация поиска» на странице 3-33.

3-20	4640-0137-0001 Ред. A

3. Задачи, не связанные с имплантацией

Исключение фильтров Status или Group

Введение

В экране «Alarm Filters» можно исключать ранее добавленные фильтры состояния или группы.

Процедура

Для исключения одного или нескольких фильтров состояния или группы выполните следующие шаги:

Шаг	Действие
1	Кликните по кнопке Status Filter или Group Filter в экране «Alarm Filters».

Появится диалоговое окно «String Filters» или «Group Filters».

Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

3-21

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Исключение фильтров Status или Group (продолжение)

Процедура (продолжение)

2Если вы хотите исключить один или несколько конкретных фильтров, выберите фильтр для исключения в списке Selected Status или Selected Groups, затем кликните по кнопке Delete.

Этот фильтр исключается из списка Selected Status или Selected Groups. При желании повторите операцию.

3Если вы хотите исключить все выбранные фильтры, кликните по кнопке очистки Clear.

4Примечание: Если вы исключили все фильтры Status или Group, убедитесь, что не

выбрана кнопка Enable Search (Активировать поиск) ниже колонки фильтров Status или Group, прежде чем кликнуть по кнопке Accept в экране «Alarm Filters» (см. подраздел «Активация поиска» на странице 3- 33).

3-22	4640-0137-0001 Ред. A

3. Задачи, не связанные с имплантацией

Фильтры цепочек

Введение

Фильтры цепочек позволяют выводить на дисплей только те предупреждения, которые содержат указанные вами конкретные слова или текстовые цепочки. Например, вы можете осуществлять поиск предупреждений, содержащих полностью или частично имя предупреждения. Это может помочь в поиске всех предупреждений по конкретному событию или серии событий. Это может также помочь в поиске предупреждения, которое, как вам известно, имело место, однако вы не уверены в его группе или статусе.

Поиск с использованием фильтра цепочки, дает все предупреждения, в которых содержится указанная текстовая цепочка.

Фильтры множественных цепочек

Добавление дополнительных текстовых цепочек в фильтр может вывести на дисплей больше предупреждений, чем вы рассчитывали. Дополнительные текстовые цепочки расширяют поиск, вместо его сужения. Будут показаны все предупреждения, содержащие любую из добавленных вами цепочек.

Пример: Поиск с использованием отдельных текстовых цепочек «slit» и «lock» показывает все предупреждения, содержащие слово slit, плюс все предупреждения, содержащие слово lock; это не сужает поиск до предупреждений, связанных только с «slit lock».

Вданном подразделе

Вданном подразделе содержится информация по следующим темам:

Тема	См. страницу
Добавление фильтров цепочек	3-24
Исключение фильтров цепочек	3-26

4640-0137-0001 Ред. A

3-23

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Добавление фильтров цепочек

Введение

Можно добавить один или несколько фильтров цепочек для вывода на дисплей только тех предупреждений, что содержат указанные вами слова или текстовые цепочки.

Процедура

Для добавления фильтров цепочек выполните следующие шаги:

Шаг	Действие
1	Кликните по кнопке String Filter в экране Alarm Filters.

Появится диалоговое окно «String Filters».

Продолжение на следующей странице

3-24	4640-0137-0001 Ред. A

3. Задачи, не связанные с имплантацией

Добавление фильтров цепочек (продолжение)

Процедура (продолжение)

Шаг

Действие

2Кликните по полю Enter String (Ввести цепочку), введите нужную текстовую цепочку, затем кликните по кнопке Add или нажмите клавишу <Return> на клавиатуре.

Цепочка появится в окне, а курсор останется в поле «Enter String field».

3Повторите шаг 2, если хотите добавить еще текстовые цепочки.

4Если вы удовлетворены добавленными цепочками, кликните по кнопке Accept. Вы вернетесь в экран «Alarm Filters».

5Добавьте фильтры в любой другой категории по желанию и кликните по кнопке Accept.

Примечание: Убедитесь, что вы правильно активировали поиск по нужным категориям фильтров. См. подраздел «Активация поиска» на странице 3-33.

4640-0137-0001 Ред. A

3-25

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Исключение фильтров цепочек

Введение

В экране «Alarm Filters» вы можете исключать фильтры цепочек, ранее добавленные в список в экране «Alarm Filters».

Процедура

Для исключения фильтров цепочек выполните следующие шаги:

Шаг	Действие
1	Кликните по кнопке String Filter в экране Alarm Filters.

2Если вы хотите исключить одну или несколько конкретных цепочек, добавленных ранее, кликните по текстовой цепочке, которую хотите исключить, затем кликните по кнопке Delete. При желании повторите.

3Если вы хотите удалить все ранее добавленные цепочки, кликните по кнопке Clear.

4Если вы удовлетворены удалением текстовых цепочек, кликните по кнопке Accept. Вы вернетесь в экран «Alarm Filters».

Примечание: Если вы удалили все фильтры цепочек, убедитесь в том, что не выбрана кнопка Enable Search под колонкой фильтров цепочек, прежде чем кликнуть по кнопке Accept (см. подраздел «Активация поиска» на стра-

нице 3-33).

3-26	4640-0137-0001 Ред. A