Руководство пользователя (NV8200P)

4. Автоматические имплантации

Выполнение автоматической имплантации (продолжение)

Процедура (продолжение)

Шаг			Действие
	Кликните по опции Split Lot (Разделить партию), если хотите начать имплантацию
		полупроводниковых пластин после первой пластины. Кликните по опции Batch (Пар-
		тия), если хотите выполнить имплантацию серии полупроводниковых пластин или кас-
		сет, начиная с первой пластины в кассете.
	В случае выбора опции Split Lot кликните по полю Starting Wafer # (№ начальной полу-
		проводниковой пластины) и введите номер начальной пластины.
				ОСТОРОЖНО
		Не выбирайте опцию Split Lot, за исключением случаев, когда требуется выполне-
		ние малых партий со специальной обработкой. Выбор опции Split Lot отключает
		отдельные функции безопасности имплантации полупроводниковых пластин				.
	Кликните по полю Batch Size и введите с клавиатуры размер партии. Размер партии из-
		меряется числом полупроводниковых пластин или числом кассет, в зависимости от со-
		стояния параметра конфигурации «Batch Size In Numbers of Cassettes».
	Кликните по каким-либо или по всем кассетам: Cassette 3, Cassette 2 и/или Cassette 1.
	Примечание: Кассеты нумеруются справа налево, если стоять лицом к приемной
			станции, номер 1 относится к крайней левой стороне консоли оператора.
	Кликните по полю Material ID и введите ID материала.
	Выберите рецепт из списка.
	Кликните по кнопке Accept.
				Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

4-15

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Выполнение автоматической имплантации (продолжение)

Процедура (продолжение)

Шаг			Действие
4	Добавьте кассету (кассеты) с пластинами, которые вы хотите пролегировать, выполнив сле-
	дующие шаги:
	Шаг		Действие
	a	Кликните по кнопке Remove Cassette (Удалить кассету) общей панели управления.
		Появляется диалоговое окно «Remove Cassette».
	b	Кликните по опции открытия дверцы Open Door 3, Open Door 2 или Open Door 1.
		Примечание: Подобно кассетам, дверцы пронумерованы справа налево.
		Выбранная стеклянная дверца опускается вниз, открывая доступ.
	c	Поместите кассету на кассетный стол.
	d	Повторяйте шаги b и c, пока не поместите все кассеты.
	e	Кликните по кнопке закрытия дверцы Close Door на общей панели управления. Ро-
		бот macobot начинает загрузку и перемещение полупроводниковых пластин.
			Продолжение на следующей странице

4-16	4640-0137-0001 Ред. A

4. Автоматические имплантации

Выполнение автоматической имплантации (продолжение)

Процедура (продолжение)

Шаг	Действие
5	По желанию вы можете теперь добавить еще одну партию, для выполнения после заверше-
	ния первой партии. См. информацию в подразделе «Организация очередности партий» на
	странице 4-18.
6	Если вы не можете поместить все кассеты партии на стойку до начала выполнения партии
	(из-за размера партии, ограничений кассетной стойки или по другой причине), вы можете
	поместить другие кассеты после начала выполнения партии. Для этого выполните шаг 4 и
	удалите все кассеты со статусом Finished (Готово), прежде чем помещать новую кассету. По-
	сле обработки всех имеющихся кассет, в случае обнаружения системой управления, что ко-
	личество полупроводниковых пластин или кассет, помещенных на стойку, недостаточно для
	выполнения требований по размеру партии requirements, появляется следующий запрос опе-
	ратору:
	Waiting for cassette to be placed или exchanged.
	(В ожидании помещения или замены кассеты)

7После завершения обработки кассеты (поле состояния ниже порта кассеты в экране «End Station Control» показывает Finished), удалите или замените кассету, кликом по кнопке Remove Cassette, задав дверцу в диалоговом окне и убрав или заменив реальную кассету.

Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

4-17

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Выполнение автоматической имплантации

Подсказка: Мониторинг имплантации

ПОДСКАЗКА

В процессе выполнения имплантации вы можете отслеживать ход ее выполнения следующими способами:

Используйте экран «End Station Control» для отслеживания хода выполнения имплантации полупроводниковой пластины (см. подраздел «Отслеживание из экрана «End Station Control»», начинающийся на странице 5-16).

Для понимания основных этапов последовательности действий по обработке полупроводниковых пластин используйте схемы в подразделе «Последовательность обработки полупроводниковых пластин» на странице 5-9.

Следите за стабильностью тока пучка, отслеживая показания осцилографа (см. подраздел «Дисплей осцилографа» на странице 1-37).

Следите за сообщениями о предупреждениях и состоянии в постоянном окне предупреждений (см. подраздел «Постоянное окно предупреждений» на стра-

нице 2-32).

Следите за цветом кнопок на кнопочной строке состояния. Если какая-либо из кнопок имеет красный цвет, возможно присутствие проблемы с соответствующей подсистемой (см. подраздел «Цвета кнопок» на странице 2-30).

Используйте экран «Implant» для отслеживания состояния машины, имплантации, систем и кассет (см. подраздел «Использование экрана «Implant»», начиная со страницы 4-5).

Выведите на дисплей диалоговое окно «Implant Status» (Состояние имплантации) для отслеживания таких показателей, как состояние имплантации, расчетное время, процент выполнения, ток пучка и давление источника (см. подраздел «Состояние имплантации» на странице 2-20).

4-18	4640-0137-0001 Ред. A

4. Автоматические имплантации

Организация очередности партий

Введение

Можно задать программному обеспечению системы управления инструкцию выполнить новую партию даже во время выполнения партии или процедуры автоматической настройки Autotune. Новая партия включается в очередь. Можно вводить максимум три партии одновременно – одна активная партия и две в очереди ожидания.

Выбор положения кассет

Обычно можно выбрать положение только для кассет, которые активированы в текущей партии или каких-либо партиях в очереди. Исключением является выполнение партий с разделением на лоты (Split Lot). Партия с разделением на лоты может использовать повторно те же кассеты, при условии, что начальная полупроводниковая пластина и размер партии выбраны таким образом, что не возникает наложения.

Процедура

Для выполнения новой партии при наличии партии или выполнения автоматической настройки следуйте процедуре в подразделе «Выполнение автоматической имплантации», начиная с шага 2.

Что происходит при помещении партии в очередь

Когда вы помещаете партию в очередь, в памяти сохраняется информация партии, и появляется предупреждение состояния, указывающее, что «Batch Has Been Placed In The Queue» (Партия помещена в очередь).

Информацию по партиям в очереди при прерывании имплантации см. в подразделе «Прерывание имплантации при наличии других партий в очереди» на странице 4-42.

Где найти дополнительную информацию

Имеются другие функции Batch Queue (Очередь партий), которые не обсуждаются здесь. См. дополнительную информацию в вашей интерактивной справке (Online Help).

4640-0137-0001 Ред. A

4-19

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Использование автоматической настройки Autotune

Введение

Автоматическая настройка Autotune представляет собой функцию, которая автоматически выполняет настройку ионного пучка по спецификациям в выбранном вами технологическом рецепте. Autotune осуществляет также регистрацию параметров успешной настройки пучка и подстройки пучка. Она использует эти значения для ускорения процесса настройки пучка при следующем использовании рецепта.

С помощью Autotune можно выполнить весь процесс настройки пучка от начала до конца (лица с привилегиями доступа для выполнения этой операции могут контролировать настройку пучка в любой точке процесса Autotune. См. информацию по теме «Ручная настройка пучка» в интерактивной справке).

Вданном подразделе

Вданном подразделе содержится информация по следующим темам:

Тема	См. страницу
Диалоговое окно «Autotune»	4-20
Режимы работы автоматической настройки	4-23
Настройка пучка с помощью автоматической настройки	4-27
Приостановка, возобновление и прерывание автоматической	4-29
настройки
Диагностирование ошибки автоматической настройки посред-	4-34
ством вставки маркера

4-20	4640-0137-0001 Ред. A

4. Автоматические имплантации

Диалоговое окно «Autotune»

Введение

При выполнении автоматической имплантации, как описывается на странице 4-12, для выполнения партии автоматически используется функция Autotune. При желании вы может осуществлять доступ к Autotune непосредственно через ее диалоговое окно, чтобы использовать здесь отдельные функции. Например, возможно, вы хотите указать только запуск источника, вместо полного запуска.

Диалоговое окно «Autotune» включает поля считывания и кнопки, по которым вы кликаете для управления функцией Autotune.

Рисунок 4-5. Диалоговое окно «Autotune»

Доступ к Autotune

Для доступа к диалоговому окну «Autotune» выберите опцию Show Auto Tune (Показать автоматическую настройку) в меню Detail, пока на дисплее присутствует экран Automatic Implant или Implant (лица с привилегиями доступа могут выполнить этот выбор также в экране «Engineering Implant» (Разработка процесса имплантации) или экране «End Station Control».)

4640-0137-0001 Ред. A

4-21

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Диалоговое окно «Autotune» (продолжение)

Поле считывания состояния автоматической настройки

Поле считывания Auto Tune Status (Состояние автоматической настройки) сообщает о текущем режиме работы функции Autotune. См. объяснение режимов в подразделе «Режимы работы автоматической настройки» на странице 4-23.

Поле считывания текущего процесса

Поле считывания Current Process (Текущий процесс) сообщает имя текущего рецепта.

Кнопки

Ниже описываются кнопки диалогового окна «Autotune».

Эта кнопка...		Делает следующее...
Full Startup		Запускает функцию настройки Autotune, фокусировку и центрирование
(Полный запуск)		пучка. Функция Autotune проверяет нахождение держателя пластин в
		должном положении перед настройкой.
		Генерирует поправочные коэффициенты и проверяет расчетную неодно-
		родность
Source Startup		Настраивает только ионный источник на нужный ток пучка.
(Запуск источника)
Hold (Пауза)		Приостанавливает действие по управлению пучком.
Shutdown		Выключает пучок, за затем выключает экстрагирование, ускорение, ис-
(Выключение)		точник и управляющее питание.
		Используется в любой момент применения пучка, когда нужно выклю-
		чить машину (для технического обслуживания, например) или выполнить
		сброс на машине.
		Перед выключением запускает аргоновый пучок очистки.
History		Сохраняет текущие параметры машины в файл хронологии. Функция Au-
(Хронология)		totune использует этот файл для настройки пучка при следующем исполь-
		зовании данного рецепта.
		Сохранение выполняется в рецепте, показываемом в диалоговом окне
		«Autotune».
Abort		Отменяет функцию Autotune, находившуюся в режиме готовности, или
(Прервать)		отменяет запуск, установленный на паузу, и переключается в режим
		ожидания (Idle). Если в поле считывания «Auto Tune Status» указывается
		режим Idle, можно вновь кликнуть по кнопке Full Startup или Source
		Startup или можно выбрать другой рецепт, а затем кликните по одной из
		кнопок Startup.
		Продолжение на следующей странице

4-22	4640-0137-0001 Ред. A

4. Автоматические имплантации

Диалоговое окно «Autotune» (продолжение)

Кнопки

Эта кнопка...	Делает следующее...
Resume (Возобновить)	Возобновляет функцию Autotune, установленную на паузу. Если пауза
	была инициирована функцией Autotune, при клике по кнопке операция
	продолжается с повторения шага, вызвавшего ошибку. Если пауза была
	инициирована вами, при клике по этой кнопке функция Autotune про-
	должает выполняться с точки, в которой она была приостановлена в
	начале паузы.
Marker (Маркер)	Вставляет маркер в файл диагностики. Это может помочь инженерам
	корпорации «Eaton» при анализе причин сбоя функции Autotune и под-
	сказать корректирующее действие.
Burnoff Cancel	Если по рецепту требуется использование испарителя после выполнения
(Отмена отжига)	технического обслуживания ионного источника, функция Autotune вы-
	полняет последовательность отжига для удаления оксидов, скопившихся
	после процедуры перезарядки. При клике по кнопке Burnoff Cancel по-
	следовательность отжига отменяется.

4640-0137-0001 Ред. A

4-23

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Режимы работы автоматической настройки

Введение

При выполнении функция Autotune проходит через несколько различных режимов. Текущий режим Autotune mode отображается в поле считывания Autotune Status (Состояние автоматической настройки) в диалоговом окне «Autotune».

Описание режимов работы

Режимы работы автоматической настройки описываются в нижеследующей таблице. Выделение полужирным шрифтом указывает на режимы, доступ к которым возможен кликом по кнопке в диалого-

вом окне «Autotune».

Режим	Определение		Описание
Idle (Режим ожи-	Функция Autotune не исполь-		Функция Autotune не используется. Лица с до-
дания)	зуется.		ступом в экран «Beam Control» могут выпол-
			нить настройку пучка и имплантацию в ручном
			режиме, но функция Autotune не будет отсле-
			живать последовательность имплантации или
			выполнять подстройку пучка и восстановление
			питания.
Source Startup	Функция Autotune выполняет		Выполняется пуск пучка, и функция Autotune
(Пуск источника)	настройку только ионного ис-		настраивает источник на нужный ток пучка.
	точника.
Full Startup	Выполняется пуск пучка, и		Функция Autotune выполняет настройку, фоку-
(Полный пуск)	функция Autotune выполняет		сировку, центрирование пучка и генерирует по-
	настройку пучка.		правочные коэффициенты. Она проверяет, что-
			бы держатель пластины находился в положении
			Load (Загрузка) или Park (Исходное положение)
			перед настройкой.
Shutdown	Выполняется	выключение	Функция Autotune выключает пучок. В конце
(Выключение)	пучка.		режима выключения выключаются экстрагиро-
			вание, ускорение, источник и питание управле-
			ния.
Shutdown/ Startup	Выполняется	выключение	Функция Autotune выполняет выключение для
(Выключение /	пучка для следующего пуска		подготовки к настройке другого ионного пучка
Пуск)	процесса.		с другим материалом источника.

Продолжение на следующей странице

4-24	4640-0137-0001 Ред. A