Руководство пользователя (NV8200P)
.pdf
4. Автоматические имплантации
Режимы работы автоматической настройки (продолжение)
Описание режимов работы (продолжение)
Режим |
|
Определение |
Описание |
|
Ready |
Отслеживание пучка и пита- |
Настройка пучка успешно завершена, и функ- |
||
(Готов) |
ния (пуск пучка произведен). |
ция Autotune в данный момент отслеживает ток |
||
|
|
|
пучка. Функция Autotune может выполнять |
|
|
|
|
подстройку пучка в случае его отклонения от |
|
|
|
|
заданного значения. Функция Autotune отсле- |
|
|
|
|
живает также питание, чтобы можно было вы- |
|
|
|
|
полнить автоматическое восстановление пита- |
|
|
|
|
ния в случае перегрузки источника питания |
|
|
|
|
экстрагирования или сбоя питания. |
|
Implant |
Отслеживание питания. |
(Доступен только из режима Ready) |
||
(Имплантация) |
|
|
Выполняется имплантация. |
|
Trim |
Выполняется восстановление |
(Доступен только из режима Ready или пока |
||
(Подстройка) |
питания и/или подстройка |
функция Autotune находится в периодах паузы в |
||
|
пучка. |
имплантации) |
||
|
|
|
Функция Autotune выполняет подстройку тока |
|
|
|
|
пучка. Вхождение в этот режим зависит от те- |
|
|
|
|
кущего состояния цикла загрузки / выгрузки |
|
|
|
|
полупроводниковой пластины. Если должна |
|
|
|
|
начаться имплантация, производительность |
|
|
|
|
обычно поддерживается выполнением под- |
|
|
|
|
стройки пучка при следующем цикле загрузки / |
|
|
|
|
выгрузки полупроводниковой пластины. Функ- |
|
|
|
|
ция Autotune входит также в режим подстройки |
|
|
|
|
для восстановления после сбоя питания, про- |
|
|
|
|
изошедшего во время нахождения функции Au- |
|
|
|
|
totune в режиме готовности Ready. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Продолжение на следующей странице |
|
4640-0137-0001 Ред. A |
4-25 |
Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250
Режимы работы автоматической настройки (продолжение)
Описание режимов работы (продолжение)
Режим |
|
|
Определение |
Описание |
||
Режим E-Hold + |
Пауза из-за ошибки автомати- |
Функция Autotune переключается в режим O- |
||||
или режим O-Hold |
ческой настройки (E) или пау- |
Hold при выборе опции паузы Hold в диалого- |
||||
+ |
за, |
включенная |
оператором |
вом окне «Autotune». Можно выбрать Hold при |
||
|
(O). |
Можно |
выполнить |
нахождении функции Autotune в режимах |
||
|
настройку пучка вручную. |
Source Startup, Full Startup, Shutdown, Shut- |
||||
|
|
|
|
|
down/Startup и Trim. |
|
|
|
|
|
|
Функция Autotune переключается в режим E- |
|
|
|
|
|
|
Hold для приостановки действия по управлению |
|
|
|
|
|
|
пучком в случае необратимой ошибки. |
|
|
|
|
|
|
После переключения функции Autotune на пау- |
|
|
|
|
|
|
зу операторы с доступом к экрану «Beam Con- |
|
|
|
|
|
|
trol» могут вручную выполнить настройку пуч- |
|
|
|
|
|
|
ка. Однако изменения, выполненные в ручном |
|
|
|
|
|
|
режиме в управлении пучком в режиме Hold, |
|
|
|
|
|
|
могут войти в конфликт с автоматической |
|
|
|
|
|
|
настройкой. В случае внесения существенных |
|
|
|
|
|
|
изменений в управление пучком или изменения |
|
|
|
|
|
|
состояния любого источника питания (управле- |
|
|
|
|
|
|
ния, источника или экстрагирования) прервите |
|
|
|
|
|
|
процедуру и запустите ее заново. |
|
|
|
|
|
|
Можно выполнять возобновление или прерыва- |
|
|
|
|
|
|
ние из любого состояния паузы. В случае воз- |
|
|
|
|
|
|
обновления из состояния E-Hold функция Auto- |
|
|
|
|
|
|
tune продолжит работу, повторяя шаг, вызвав- |
|
|
|
|
|
|
ший ошибку. В случае возобновления из состо- |
|
|
|
|
|
|
яния O-Hold функция Autotune продолжит с |
|
|
|
|
|
|
точки, в которой она была переключена на пау- |
|
|
|
|
|
|
зу. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Продолжение на следующей странице |
|
4-26 |
4640-0137-0001 Ред. A |
4. Автоматические имплантации
Режимы работы автоматической настройки (продолжение)
Команды, доступные в каждом режиме
В нижеследующей таблице показаны команды, доступные в каждом режиме.
Режим |
Определение |
Доступные команды |
Idle |
Функция Autotune не используется. |
Source Startup |
|
|
Full Startup |
|
|
Shutdown |
Source Startup |
Функция Autotune выполняет настройку только |
Hold |
|
ионного источника. |
|
Full Startup |
Выполняется пуск пучка, и функция выполняет |
Hold |
|
настройку пучка. |
|
Shutdown |
Выполняется выключение пучка. |
Hold |
Shutdown/ Startup |
Выполняется выключение пучка для следующего |
Hold |
|
пуска процесса. |
|
Ready |
Отслеживание пучка и питания (пуск пучка за- |
Abort |
|
вершен). |
|
Implant |
Отслеживание питания. |
Н/П |
Trim |
Выполняется восстановление питания и/или под- |
Hold |
|
стройка пучка. |
|
Режим E-Hold + или |
Пауза из-за ошибки автоматической настройки |
Resume |
режим O-Hold + |
(E) или пауза, включенная оператором (O). Опе- |
Abort |
|
раторы с доступом в экран «Beam Control» могут |
|
|
выполнить настройку пучка вручную. |
|
4640-0137-0001 Ред. A |
4-27 |
Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250
Настройка пучка с помощью автоматической настройки
Введение
Функция Autotune выполняет автоматическую настройку ионного пучка по параметрам в выбранном вами технологическом рецепте. Функция Autotune регистрирует также параметры успешной настройки пучка и подстройки пучка. Она использует эти значения для ускорения процесса настройки при следующем использовании рецепта.
Можно выполнить настройку пучка автоматически, от начала до конца, используя функцию Autotune. Это можно сделать в порядке выполнения автоматической имплантации в диалоговом окне «Run Batch» (см. подраздел «Выполнение автоматической имплантации» на странице 4-12) или непосредственно в диалоговом окне «Autotune», описываемом ниже.
Предостережение относительно ручной настройки
Лица с доступом к экрану «Beam Control» могут использовать функцию Autotune также для частичной настройки пучка, с выполнением автоматической настройки сначала и окончательной настройки вручную. Эти способы рассматриваются в теме «Autotune» в интерактивной справке. Соблюдайте следующие предосторожности.
ОСТОРОЖНО
Не пытайтесь выполнить настройку вручную, если только вы не прошли подготовку для этого. Неверная настройка пучка может привести к повреждению полупроводниковых пластин.
Продолжение на следующей странице
4-28 |
4640-0137-0001 Ред. A |
4. Автоматические имплантации
Настройка пучка с помощью автоматической настройки (продолжение)
Запуск функции Autotune из диалогового окна «Autotune»
Для запуска процесса автоматической настройки в диалоговом окне «Autotune» выполните следующие действия:
Шаг |
Действие |
1Когда на дисплее открыт экран Automatic Implant или Implant, выберите опцию Show Auto Tune (Показать автоматическую настройку) в ниспадающем меню Details.
Появляется диалоговое окно «Autotune».
Информацию по кнопкам в диалоговом окне см. на странице 4-21.
2Выберите рецепт в списке прокрутки.
3Выберите опцию Source Startup для настройки источника на нужный ток пучка, или выберите Full Startup для настройки источника, фокусировки и центровки пучка, а также создания поправочных коэффициентов.
Автоматически выполняется запуск и настройка пучка по спецификациям в рецепте, с автоматическим сохранением хронологии.
4640-0137-0001 Ред. A |
4-29 |
Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250
Приостановка, возобновление и прерывание автоматической настройки
Введение
Все действия по управлению пучком функции Autotune могут быть приостанавлены посредством перевода в режим «пауза». Существует два способа переключения функции Autotune на паузу:
•автоматически из-за необратимой ошибки (называется E-hold)
•по инициативе оператора (называется O-hold)
При нахождении функции Autotune на паузе, будь то E-hold или O-hold, можно возобновить выполнение функции Autotune или отменить ее. В случае возобновления после E-hold функция Autotune продолжает работу повторением шага, вызвавшего ошибку. В случае возобновления после O-hold функция Autotune продолжит с места ее перевода на паузу.
Подсказка: Получение информации о восстановлении
ПОДСКАЗКА
При возникновении ошибки посмотрите на текст ошибки в постоянном окне предупреждений. Если справа от ярлыка предупреждения отображается иконка +, кликните по иконке, чтобы вывести на дисплей информацию по восстановлению. Несмотря на то, что потребуется, вероятно, обратиться к администратору для выполнения инструкций по восстановлению, вы можете узнать о том, как избежать проблем в будущем или исправить их.
Подсказка: Создание файла для диагностики ошибки
ПОДСКАЗКА
При возникновении непредвиденной ошибки можно создать файл диагностики, который поможет инженерам корпорации «Eaton» в анализе проблемы. См. подраздел «Диагностирование ошибки автоматической настройки посредством вставки маркера» на странице 4-34.
Продолжение на следующей странице
4-30 |
4640-0137-0001 Ред. A |
4. Автоматические имплантации
Приостановка, возобновление и прерывание автоматической настройки (продолжение)
Включение функции Autotune на паузу
Для перевода функции Autotune в режим паузы выполните следующие шаги:
Шаг |
Действие |
1Когда на дисплее открыт экран Automatic Implant или Implant, выберите опцию Show Auto Tune в ниспадающем меню Details.
Появляется диалоговое окно «Autotune».
2Кликните по кнопке Hold.
Операции приостанавливаются, поле считывания состояния автоматической настройки
«Auto Tune Status» Изменяется на «0-Hold/Startup».
Продолжение на следующей странице
4640-0137-0001 Ред. A |
4-31 |
Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250
Приостановка, возобновление и прерывание автоматической настройки (продолжение)
Прерывание автоматической настройки
Соблюдайте следующие предосторожности, если решите прервать функцию Autotune:
ОСТОРОЖНО
Не прерывайте функцию Autotune без основательной причины или указания сделать это, полученного от администратора.
В случае необходимости прервать функцию Autotune выполните следующие действия:
Шаг |
Действие |
1Пока на дисплее отображается экран Automatic Implant или Implant, выберите опцию
Show Auto Tune в ниспадающем меню Details.
Появляется диалоговое окно «Autotune».
Продолжение на следующей странице
4-32 |
4640-0137-0001 Ред. A |
4. Автоматические имплантации
Приостановка, возобновление и прерывание автоматической настройки (продолжение)
Прерывание автоматической настройки (продолжение)
Шаг |
Действие |
2Кликните по кнопке Hold (Пауза).
Операции приостанавливаются, поле считывания Auto Tune Status изменяется на O- Hold/Startup.
3Кликните по кнопке Abort (отмена).
Нажатие Abort отменяет действие Startup (Пуск) или Trim (Подстройка), которые были поставлены на паузу, и переключает функцию Autotune в режим ожидания. Из режима ожидания можно снова кликнуть по кнопке Full Startup или Source Startup или выбрать другой рецепт, а затем кликнуть по одной из кнопок Startup.
ПРИМЕЧАНИЕ
В случае прерывания автоматической настройки, которая выполняется при подготовке обработки партии, вы прерываете и выполнение партии.
Возобновление автоматической настройки
Если только вы не прошли специальную подготовку, самый безопасный для вас образ действий после паузы E-hold – обратиться к администратору. Соблюдайте следующие меры предосторожности, если вы решаете возобновить автоматическую настройку:
ОСТОРОЖНО
Не возобновляйте прерванную функцию Autotune, пока не определите, почему она переключилась на паузу, и если у вас нет специальной подготовки. Возобновление прерванной автоматической настройки может привести к созданию дефектного файла, который будет использоваться в следующий раз при запуске текущего рецепта. Кроме того, возобновление прерванной функции Autotune затрудняет анализ отказа.
Продолжение на следующей странице
4640-0137-0001 Ред. A |
4-33 |
Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250
Приостановка, возобновление и прерывание автоматической настройки (продолжение)
Возобновление автоматической настройки (продолжение)
Для возобновления автоматической настройки, поставленной в данный момент на паузу, выполните следующие шаги:
Шаг |
Действие |
1Когда на дисплее отображается экран Automatic Implant или Implant, выберите опцию Show Auto Tune в ниспадающем меню Details.
Появляется диалоговое окно «Autotune», в поле считывания статуса автоматической настройки Auto Tune Status отображается состояние паузы Hold.
2Кликните по кнопке Resume (Возобновить).
В случае инициации паузы функцией Autotune она продолжает работу с повторения шага, вызвавшего ошибку. Если пауза была инициирована вами, функция Autotune продолжает выполняться с момента, в который вы переключили ее на паузу.
4-34 |
4640-0137-0001 Ред. A |