Руководство пользователя (NV8200P)

	Глоссарий
Торр	Единица измерения давления, сохраняющегося в камере после отка-
(Torr)	чивания большей части газа. Один Торр равен 1/760 атмосферного
	давления на уровне моря. См. вакуум (vacuum).
ТУУИ (точка управления	Рабочее место Sun, находящееся в данный момент в режиме активного
установкой имплантации)	управления установкой имплантации. Часть функции активного / пас-
(POIC (Point of Implanter	сивного управления.
Control))
	У
угловой энергетический	Конечный фильтр пучка, используемый для фильтрования частиц, по-
фильтр	терявших энергию, перед имплантацией полупроводниковой пласти-
(angular energy filter)	ны.
устройство выравнивания	Компонент приемной станции, поворачивающий полупроводниковую
(aligner)	пластину на угол, указанный в рецепте, используя плоскость или мет-
	ку в качестве ориентира (называется также плоским устройством вы-
	равнивания (flat aligner) или устройством выравнивания полупровод-
	никовых пластин (wafer aligner)).
	Ф
подвижный цилиндр Фа-	Графитовая мишень, используемая для определения и отслеживания
радея	пучка.
(flag faraday)
	Х
хост	В производстве полупроводниковых пластин, центральный компью-
(host)	тер, контролирующий большую часть или все оборудование и пере-
	мещение полупроводниковых пластин на предприятии по производ-
	ству интегральных схем.
	Ц
цепочки или текстовые це-	Последовательность символов клавиатуры (букв, цифр, символов и
почки	пробелов). Пример: BF2+100; интерфейс оператора может осуществ-
(strings или text strings)	лять поиск файлов IDL, файлов регистрации предупреждений и фай-
	лов конфигурации по введенным пользователем цепочкам и показы-
	вать любые соответствующие цепочки в файлах.

4640-0137-0001 Ред. A

G-9

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Ш

шлюз

(lock)

шлюз загрузки

(load lock)

экстрагирование

(extraction)

электрон

(electron)

Шлюз представляет собой промежуточную область, в которой осуществляется транспортировка полупроводниковых пластин из атмосферы в вакуум технологической камеры, а после имплантации из технологической камеры обратно в атмосферу. Существует два типа шлюзов: шлюз серии NV-8200P (называемый иногда шлюзом загрузки) и щелевой шлюз серии NV-8250. Описание и иллюстрацию этих шлюзов см. на страницах 5-6 и 5-7 соответственно.

См. шлюз (lock).

Э

Процесс извлечения пучка ионов из разрядной камеры и его ускорения.

Частица с отрицательным зарядом, обращающаяся вокруг ядра атома.

G-10	4640-0137-0001 Ред. A