Руководство пользователя (NV8200P)

4. Автоматические имплантации

Диагностирование ошибки автоматической настройки посредством вставки маркера

Введение

При возникновении ошибки в процессе выполнения функции Autotune инженеры корпорации «Eaton» могут помочь в определении причины и предложить действие по устранению, если вы вставите маркер. Маркер создает файл диагностики, включающий дату и время.

Выполните указания сотрудника или администратора относительно вставки маркера. Чем скорее вы вставите маркер после ошибки, тем больше пользы будет от него.

Процедура

Для вставки маркера в файл диагностики выполните следующие шаги:

Шаг

Действие

1В экране Automatic Implant или Implant выберите опцию Show Auto Tune в меню Detail. Появляется диалоговое окно «Autotune».

2Кликните по кнопке Marker (Маркер).

Появляется сообщение «Marker Inserted in Diagnostic File» (Маркер вставлен в файл диагностики).

4640-0137-0001 Ред. A

4-35

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Приостановка, возобновление и прерывание имплантаций

Введение

В какой-то момент может потребоваться прервать имплантацию партии, выполняемой в данный момент. В других случаях прерывание имплантации системой управления может вызвать какая-то проблема.

Прерывание имплантации является двухступенчатым процессом: сначала вы приостанавливаете имплантацию, а затем фактически прерываете ее. После приостановки имплантации имплантацию можно возобновить или прервать.

Вданном подразделе

Вданном подразделе содержится информация по следующим темам:

Тема		См. страницу
Приостановка имплантации		4-36
Возобновление имплантации		4-38
Прерывание имплантации		4-39
Прерывание имплантации при наличии других		4-42
партий в очереди

4-36	4640-0137-0001 Ред. A

4. Автоматические имплантации

Приостановка имплантации

Введение

Если вам нужно прервать выполняемую имплантацию, используйте кнопку Hold Implant (Приостановить имплантацию), которая отображается на общей панели управления во время имплантаций.

После переключения имплантации на паузу можно решить, прерывать ли имплантацию или возобновить ее.

Результаты

При нажатии кнопки Hold Implant (или в случае переключения имплантации на паузу системой управления) выполняются следующие действия:

•Появляется предупреждение «Implant Hold: Begin Hold at End of Scan» (Имплантация на паузе: пауза после окончания сканирования).

•Сразу после завершения текущего хода вертикального сканирования имплантация текущей партии прерывается.

•Кнопка Hold Implant исчезает и появляются кнопки Abort Implant (Прервать имплантацию) и

Resume Implant (Возобновить имплантацию).

•В пучок помещается цилиндр Фарадея для измерения тока пучка.

•Шлюз закрывается и вновь открывается после перемещения держателя пластины в исходное положение.

Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

4-37

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Приостановка имплантации (продолжение)

Процедура

Для переключения имплантации на паузу выполните следующее действие:

Шаг

Действие

1Кликните по кнопке Hold Implant.

Появляется сообщение «Implant Hold: Begin Hold at End of Scan».

Кнопка Hold Implant исчезает и появляются кнопки Abort Implant и Resume Implant.

Примечание: Иногда требуется нажать кнопку Hold Implant дважды, прежде чем она сработает. Если кнопки Abort Implant и Resume Implant не появляются

втечение примерно 30 секунд, нажмите снова кнопку Hold Implant. В этом случае текущая полупроводниковая пластина не получит заданную дозу; обратитесь к администратору и не предпринимайте никаких других действий.

4-38	4640-0137-0001 Ред. A

4. Автоматические имплантации

Возобновление имплантации

Введение

После перевода процесса имплантации на паузу на общей панели управления появляется кнопка Resume Implant. Используйте эту кнопку для возобновления имплантации, поставленной в данный момент на паузу.

Результаты

При клике по кнопке Resume Implant выполняются следующие действия:

•Имплантация возобновляется.

•Кнопки Abort Implant и Resume Implant заменяются кнопкой Hold Implant.

•Выбирается чашка Фарадея для дозиметрии.

•Откидной цилиндр Фарадея убирается из пучка.

Процедура

Для возобновления имплантации, приостановленной в данный момент, выполните следующие шаги:

Шаг

Действие

1Кликните по кнопке Resume Implant.

Имплантация партии возобновляется. Кнопки Abort Implant и Resume Implant заменяются кнопкой Hold Implant.

4640-0137-0001 Ред. A

4-39

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Прерывание имплантации

Введение

Прерывание имплантации является двухступенчатым процессом: сначала вы приостанавливаете имплантацию, а затем фактически прерываете имплантацию.

Результаты

При нажатии кнопки Abort Implant выполняются следующие действия:

•Партия прерывается сразу же.

•Кнопки Abort Implant и Resume Implant исчезают.

Осторожно: После прерывания

Соблюдайте следующие меры предосторожности:

ОСТОРОЖНО

Не прерывайте имплантацию без должных оснований. После прерывания полупроводниковая пластина, которая обрабатывалась, вероятно, будет имплантирована частично; при возобновлении имплантации возможно нарушение дозировки. По этой причине ваш администратор должен использовать калькулятор частичной дозировки, описываемый в теме «Использование калькулятора частичной дозировки» в интерактивной справке, доступ к которой возможен через список тем в меню ICS Engineer.

Продолжение на следующей странице

4-40	4640-0137-0001 Ред. A

4. Автоматические имплантации

Прерывание имплантации (продолжение)

Процедура

Для прерывания имплантации выполните следующие шаги:

Шаг		Действие
1	Если вы еще не сделали этого, кликните по кнопке Hold Implant на общей панели управле-
	ния.
	Появляются кнопки Abort Implant и Resume Implant.
	Примечание: Иногда требуется нажать кнопку Hold Implant дважды, прежде чем она
		сработает. Если кнопки Abort Implant и Resume Implant не появляются
		в течение примерно 30 секунд, нажмите снова кнопку Hold Implant.
2	Кликните по кнопке Abort Implant.
	Примечание: Если диалоговое окно сообщает о присутствии партий в очереди, клик-
		ните по кнопке Yes для удаления всех партий, ожидающих в очереди,
		или кликните по кнопке No для подготовки запуска следующей партии
		в очереди.
	Кнопки Abort Implant и Resume Implant исчезают.
3	В экране Automatic Implant выберите опцию Show End Station в ниспадающем меню
	Details.
4	Кликните по иконке закрытия и пометьте исходное положение полупроводниковой пласти-
	ны и состояние на таблице состояния полупроводниковых пластин. Это позволит позднее
	проверить, была ли полупроводниковая пластина имплантирована частично.
	Подсказка: Введите эту информацию и информацию со следующего шага в систем-
		ном журнале регистрации.
		Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

4-41

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Прерывание имплантации (продолжение)

Процедура

Шаг		Действие
5	В меню Status выберите опцию Implant Status.
6	Пометьте и зарегистрируйте имя рецепта и процент выполнения имплантации.
7	Извлеките все полупроводниковые пластины из приемной станции кликом по кнопке Clear
	End Station (Очистка приемной станции).
	Примечание: Если кнопка Clear End Station не работает должным образом, обрати-
		тесь к администратору.
8	По возможности обратитесь за помощью в диагностике и устранении причины прерывания
	имплантации.
9	Примечание: Прежде чем продолжить имплантацию партии, ваш администратор
		выполнит инструкции из раздела «Использование калькулятора ча-
		стичной дозировки» в интерактивной справке.

4-42	4640-0137-0001 Ред. A

4. Автоматические имплантации

Прерывание имплантации при наличии других партий в очереди

Введение

При наличии партий в очереди во время нажатия кнопки Abort для прерывания выполняемой в данный момент партии диалоговое окно информирует вас о партиях в очереди и запрашивает о вашем желании прервать и их.

Примечание: Эта процедура не работает в диалоговом окне Autotune. См. подраздел «Прерывание в автоматической настройке при наличии других партий в очереди» после данного подраздела.

Рисунок 4-6 Диалоговое окно «Abort Batches»

Ответ в диалоговом окне

При клике по кнопке Yes все партии, ожидающие в очереди, удаляются. При клике по кнопке No следующая партия в очереди готовится к имплантации.

Независимо от выбора кнопки Yes или No, в обязательном порядке выполните шаги с 1 по 9 на странице 4-40, прежде чем продолжить.

4640-0137-0001 Ред. A

4-43

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Прерывание имплантации в окне автоматической настройки при наличии других партий в очереди

Введение

В данной процедуре объясняется порядок прерывания имплантации в диалоговом окне «Autotune».

О данной процедуре

Если вы находитесь в диалоговом окне «Autotune» и в очереди имеются партии при нажатии кнопки Abort, текущая партия будет прервана только в том случае, если партия находится на этапе калибровки чашки (cup cal).

После нажатия кнопки Abort появляется кнопка Start Implant (Запустить имплантацию) на экране приемной станции. Нажмите эту кнопку для запуска следующей партии в очереди партий.

Примечание: Если текущая партия НЕ находится на этапе калибровки чашки при нажатии кнопки Abort, прерывания текущей партии не произойдет. Нажатие кнопки Resume Implant (Возобновить имплантацию) возобновляет автоматическую настройку текущей партии.

4-44	4640-0137-0001 Ред. A