- •Физические основы получения информации
- •Р. А. Ахмеджанов, а. И. Чередов физические основы получения информации
- •Введение
- •1. Общие вопросы получения информации
- •1.1. Основные понятия и определения
- •1.3. Виды и методы контроля
- •1.4. Основные характеристики средств измерений
- •1.5. Погрешности измерений и средств измерений
- •1.6. Обеспечение единства измерений
- •2. Взаимодействие поля с веществом
- •2.1. Взаимодействие электрического поля с веществом
- •2.1.1. Взаимодействие электрического поля с диэлектрическими веществами
- •2.1.2. Взаимодействие электрического поля с проводниковыми веществами
- •2.1.3. Взаимодействие электрического поля
- •2.2. Взаимодействие электромагнитного поля с веществом
- •2.3. Взаимодействие магнитного поля с веществом
- •2.3.1. Общие сведения о магнитных веществах
- •2.3.2. Основные характеристики магнитных материалов
- •2.4. Взаимодействие акустического поля с веществом
- •2.4.1. Общие сведения об акустических волнах
- •2.4.2. Основные параметры акустических волн
- •2.4.3. Распространение акустических волн в среде
- •3.Физические эффекты, использующиеся для получения информации
- •3.1. Физические эффекты с электрическими результатами воздействия
- •3.1.1. Тензорезистивный эффект
- •3.1.2. Терморезистивный эффект
- •3.1.3. Магниторезистивный эффект (эффект Гаусса)
- •3.1.4. Эффект Зеебека Эффект Зеебека– возникновение эдс в цепи, состоящей из двух разных проводников (или полупроводников), соединенных концами при различной температуре мест их соединений.
- •3.1.5. Пьезоэлектрический эффект
- •3.1.6. Эффект Холла
- •3.2. Физические эффекты с магнитными результатами воздействия
- •3.3. Физические эффекты с оптическими результатами воздействия
- •3.3.1. Фотоупругий эффект
- •3.3.2. Эффект Фарадея
- •3.3.3. Эффект Керра
- •3.3.4. Эффект Поккельса
- •3.3.5. Эффект Доплера
- •3.3.6. Голографический эффект
- •3.4. Физические эффекты с тепловыми результатами воздействия
- •4. Первичные измерительные преобразователи
- •4.1. Общие сведения и основные характеристики пип
- •4.2. Динамические модели пип
- •4.2.1. Механические элементы
- •4.2.2. Тепловые элементы
- •4.2.3. Электрические элементы
- •4.2.4. Электрические аналогии
- •4.3. Классификация первичных измерительных преобразователей
- •4.4. Резистивные пип
- •4.4.1. Терморезистивные датчики
- •4.4.2. Магниторезистивные датчики
- •4.4.3. Тензорезистивные датчики
- •4.4.4. Фоторезистивные пип
- •4.4.5. Измерительные цепи резистивных пип
- •4.5. Емкостные пип
- •4.5.1. Конструкции и основные характеристики емкостных датчиков
- •4.5.2. Погрешности емкостных пип
- •4.5.3. Измерительные цепи емкостных датчиков
- •4.6.1. Области применения и материалы термоэлектрических пип
- •4.6.2. Характеристики термоэлектрических преобразователей
- •4.6.3. Погрешности термоэлектрических преобразователей
- •4.7.1. Материалы и основные характеристики пьезоэлектрических датчиков
- •4.7.2. Погрешности пьезоэлектрических датчиков
- •4.7.3. Измерительные цепи
- •4.8. Электромагнитные пип
- •4.8.1. Индуктивные пип
- •4.8.2. Трансформаторные (взаимоиндуктивные) пип
- •4.8.3. Магнитоупругие пип
- •4.8.4. Индукционные пип
- •4.8.5. Магнитомодуляционные пип
- •4.8.6. Вихретоковые пип
- •Библиографический список
- •Основные термины в области метрологии: словарь-справочник / м.Ф. Юдин и др.; под ред. Тарбеева. – м.: Изд-во стандартов, 1989. – 113 с.
- •Ложников, в.Я. Введение в специальность «Информационно-измерительная техника»: учеб. Пособие / в.Я. Ложников. – Омск: Изд. ОмПи, 1987. – 83 с.
- •Физические основы получения информации Учебное пособие
3.1. Физические эффекты с электрическими результатами воздействия
К электрическим результатам воздействия относятся электрическое сопротивление, емкость, заряд, напряжение и др.
3.1.1. Тензорезистивный эффект
Тензорезистивный эффект– изменение
удельного электрического соп-ротивления
проводниковых и полупроводниковых
материалов при их деформации. Структурная
схема тензорезистивного эффекта имеет
вид, показанный на рис. 3.2. При деформации
проводниковых материалов происходят
деформационные сдвиги в кристаллической
решетке, обусловливающие изменения
межатомных расстоний и ее колебаний.
При деформации полупроводниковых
материалов происходит изменение
структуры энергетических зон в кристалле
и ширины запрещенной зоны, что приводит
к изменению концентрации носителей
тока, их эффективной массы, перераспределение
их между максимумами в зоне проводимости
и минимумами в валентной зоне. Деформация
также влияет на процессы рассеяния
носителей [11]. Это обусловлено изменением
амплитуды колебаний узлов кристаллической
решетки. При растяжении материала
увеличивается
амплитуда колебаний узлов кристаллической
решетки. Увеличение амплитуды колебаний
препятствует направленному перемещению
электронов, при этом средняя длина
свободного пробега электрона уменьшается,
а у
Рис. 3.2
Чувствительность материалов к деформации в определенном направлении характеризуется деформационным коэффициентом электрического сопротивления материала αε [20], определяемым как отношение относительного изменения удельного сопротивления материала ερк относительной деформации εlв данном направлении:
. (3.2)
В узком диапазоне деформаций зависимость удельного сопротивления от деформации аппроксимируется полиномом первой степени:
, (3.3)
где 0– удельное сопротивление проводника при отсутствии деформации.
Проявление тензорезистивного эффекта существенно зависит от вида деформации. При деформации всестороннего сжатия симметрия кристалла не меняется. Мало изменяется и подвижность носителей заряда. Поэтому при всестороннем сжатии тензорезистивный эффект проявляется слабо [11].
Чувствительность полупроводниковых материалов к деформации в десятки раз превосходит чувствительность проводниковых материалов. В полупроводниках величина αεзависит от кристаллографического направления, удельного сопротивления, типа полупроводника: в полупроводникахn-типа тензочувствительность отрицательная, в полупроводникахр-типа – положительная.Для жидких и текучих материалов (ртуть, электролиты в эластичной изоляционной оболочке, пластически деформируемые металлы), в которых напряжения отсутствуют, Δρ/ρ = 0 и деформационный коэффициент равен нулю.
В табл. 3.1 приведены значения коэффициентов тензочувствительности образцов из некоторых материалов.
Таблица 3.1
Материал |
Коэффициент тензочувствительности |
Удельное электрическое сопротивление ρ. 106, Ом.м |
Рабочая температура, К |
Константан |
2 |
0,44–0,52 |
673 |
Нихром |
2,1–2,3 |
1,0–1,1 |
1273 |
Платина |
4,1–6,1 |
0,09–0,11 |
1573 |
n - Германий |
–100 |
80 |
- |
р - Кремний |
135 |
2 |
500 |
n- Кремний |
–135 |
35 |
- |
При линейной деформации образца из данного материала (механическом растяжении или сжатии) изменяется не только его удельное сопротивление ρ, но и площадь поперечного сечения А, длина lи соответственно его электрическое сопротивлениеR. Эффект изменения электрического сопротивления проводниковых и полупроводниковых образцов при их деформации называетсятензорезистивным эффектом.
Из соотношения R=ρ.l/Aможно получить дифференциальное уравнение
. (3.4)
Изменение сопротивления проводника можно выразить в виде
.(3.5)
Учитывая связь продольной и поперечной деформации: (Δb/b) = −(Δl/l), при линейной деформации образца квадратного или круглого сечения из (3.4) и (3.5) получим
, (3.6)
где R0– сопротивление образца приεl = 0.
Удельное сопротивление большинства металлов мало зависит от деформации (коэффициент kε очень мал), коэффициент Пуассона для металлов 0,24–0,4, поэтому изменение сопротивления для большинства проводников обусловлено в основном изменением их размеров.
Деформационный коэффициент αε для полупроводников может достигать 200 и более, т. е. αε >> 1 + 2μ, и изменение сопротивления полупроводникового образца при его деформации обусловлено большим деформационным коэффициентом.
Для характеристики чувствительности образца материала используется понятие коэффициента тензочувствительности К образца, который определяется как отношение относительного изменения сопротивления образца к относительной деформации:
. (3.7)
Тензорезистивный эффект проявляется на телах различной геометрической формы и существенно зависит от вида деформации и температуры. На этом эффекте основана работа тензорезистивных ПИП (тензодатчиков), предназначенных для измерения деформации и величин, преобразуемых в деформацию.