Порядок выполнения работы

1. Включить прибор через понижающий трансформатор в сеть.

2. Установить деталь на предметный столик 4 (см. рис. 3.5).

3. Сфокусировать прибор на испытуемую поверхность при помощи микровинта 9.

4. Установить с помощью микровинта одну из линий перекрестия параллельно интерференционной полосе.

5. Подвести нить перекрестия микровинтом к верхнему краю наибольшего светлого выступа N₃ (см. рис. 3.4), взять отсчет по барабану, затем нить перекрестия подвести к впадине N₂ и снова снять отсчет. Подсчитать разность отсчетова= N₂- N₃ и записать в табл. 3.1.

Таблица 3.1

Номер измерения	Искривление интерференционной полосы в делениях барабана а	Расстояние между интерференционными полосами в делениях барабана b	Половина световой волны /2, мкм	Высота неровности Rz,мкм	Среднее значение высоты неровностей Rz, мкм	Значение шероховатости по чертежу Rz, мкм	Заключение о годности
1						0,25
2
3
4
5

6. Перевести нить перекрестия на одноименный край нижележащей полосы того же цвета ( если измерение производится при белом свете), снять отсчет, подсчитать величину b= N₁- N₂и занести в табл. 3.1.

7. Вычислить величину Rz для пяти точек по формуле (3.1) и занести в табл. 3.1.

8. Подсчитать Rz = и занести полученное значение

в табл. 3.1.

9. Сравнить полученное значение Rz с заданным по чертежу и дать заключение о годности.

Описание двойного микроскопа мис-11

Двойной микроскоп МИС-11 предназначен для измерений по параметру Rz_; и фотографирования шероховатости поверхности в пределах

0,8 – 80 мкм.

Пределы измерений прибора определяются выбором соответствующих объективов в зависимости от шероховатости контролируемой поверхности.

Данные для выбора объективов, а также погрешность метода измерений в процентах от измеряемой величины приведены в табл. 3.2.

Контроль шероховатости поверхности производится по методу светового сечения, который заключается в следующем (рис. 3.6).

Таблица 3.2

Пределы изме­рений шероховатости по Rz	Шифр объектива	Фокусное расстояние объектива, мм	Апер­тура	Увеличение объектива с дополнитель­ной линзой F = 147 мм	Поле зрения	Погрешность измерений в % от измеряемой вели­чины неровности
80 – 6,3	ОС-39	25,0	0,13	5,9^Х	1,8	6 – 22
20 – 3,2	ОС-40	13,9	0,30	10,6^Х	1,0	10 – 25
10 – 1,6	ОС-41	8,2	0,37	18^Х	0,6	12 – 30
3,2 – 0,8	ОС-42	4,3	0,50	34,5^Х	0,3	25 - 32

Пусть освещенная щель S проектируется микроскопом на поверхность P₁, имеющую ступеньку Р₂, высотой h (направление падения лучей показано стрелками). Очевидно, изображение щели на поверхности Р₁ займет положение S₁, а на ступеньке Р₂ — положение S₂. В поле зрения микроскопа, ось которого расположена под углом 90° к оси проектирующего микроскопа, изображение щели будет иметь вид, показанный на рис. 3.6 (поле зрения). Величина b смещения изображения S₂ относительно S₁ служит мерой высоты ступеньки h.

Оптическая схема микроскопа показана на рис. 3.7. От источника света через щель S проходят лучи, которые собираются в фокальной плоскости объектива O₁. Изображение щели проектируется на поверхность детали P, видимой как бы в разрезе, и вторым объективом О₂ визуального микроскопа проектируется на сетку М окуляра К. Изображение щели будет деформированным (рис. 3.8), причем величина смещения щели будет зависеть от высоты неровностей поверхности.

Двойной микроскоп типа МИС-11 изображен на рис. 3.9. Салазки корпуса микроскопов 1 перемещаются по направляющим кронштейна 2 при помощи реечной передачи вращением винта 3. В корпусе помещены два микроскопа — осветительный 4 и визуальный 5.

Вмикроскопе4 имеется прямолинейная щель, освещаемая источником света. Изображение щели на детали рассматривается при помощи микроскопа 5, снабженного окулярным микрометром 6, с увеличением 15^х. При фотографировании вместо окулярного микрометра устанавливается фотонасадка МФН-1 с обычным окуляром. Для того, чтобы иметь возможность установить изображение щели в середине поля окуляра, осветительный тубус снабжен винтом 7. Кольцо 11 служит для регулирования ширины щели. Микрофокусировка осуществляется поворотом винта 8.

Контролируемая деталь 9 устанавливается на столе 10, снабженном микрометрическими головками, при помощи которых можно перемещать

стол в двух взаимно перпендикулярных направлениях.

Поворот стола осуществляется при отпущенном винте 14.

Для установки цилиндрических деталей служит накладной столик с призмой.