6. Порядок выполнения работы Настройка микроинтерферометра
1. Включить лампу и положить на предметный столик интерферометра МИИ-4 (рис. 6) объект исследуемой поверхностью вниз (к объективу).
Повернуть рукоятку (1) так, чтобы стрелка на ней стояла вертикально.
2. Сфокусировать интерферометр на резкое изображение исследуемой поверхности с помощью микрометрического винта (2).
Поворотом рукоятки (1) включить правую часть головки микроинтерферометра (стрелка на рукоятке должна стать в горизонтальное положение), при этом в поле окуляра должны быть видны интерференционные полосы.
3. (Выполнять только в присутствии преподавателя).
Добиться наиболее резкого изображения интерференционных полос и исследуемой поверхности с помощью кольца (3).
Если при произведенной фокусировке на объект наиболее резкие и контрастные интерференционные полосы получились не в центре поля окуляра, следует отвернуть контргайку (4) и вращением винта (5) привести интерференционные полосы в центр поля окуляра. После этого необходимо проверить фокусировку на исследуемой поверхности, после чего винт (5) закрепить контргайкой (4).
Винтом (5) и контргайкой (4) разрешается пользоваться только в случае, описанном выше. В других случаях трогать винт и контргайку не рекомендуется!
Повернуть кольцо (6) для уменьшения отверстия апертурной диафрагмы (для получения большей контрастности интерференционных полос).
4. Установить штрихи на исследуемой поверхности горизонтально вращением предметного столика (7), после чего столик зажать винтом (8).
5. (Выполнять только в присутствии преподавателя).
Установить интерференционные полосы перпендикулярно штрихам на исследуемой поверхности вращением кольца (9).
6. (Выполнять только в присутствии преподавателя).
Установить необходимый для работы интервал между интерференционными полосами вращением винта (10) в поле зрения наблюдателя должно быть (10-15 полос).
Измерения на интерферометре
Измерение глубины канавок (следов от инструмента) можно проводить двумя способами: на глаз и с помощью винтового окулярного микрометра.
При правильной настройке микроинтерферометра в его поле зрения должны быть видны одновременно исследуемая поверхность и интерференционные полосы, изогнутые в местах, где проходят канавки или царапины, причем интерференционные полосы должны быть ориентированы перпендикулярно направлению царапин или рисок.
Приближенное измерение глубины канавок
При измерении глубины царапины или риски на глаз следует определить, на какую долю интервала между полосами или на сколько интервалов изгибается полоса в месте прохождения царапины.
Глубина царапины или риски Н определяется по формуле
,
(5)
где
– величина изгиба полосы в долях
интервала или в числе интервалов;
– длина волны
зелёного светофильтра, равная 0,532 мкм.
Измерение с помощью винтового окулярного микрометра мов-1-16х
Для измерения с помощью окулярного микрометра МОВ-1-16х следует повернуть его так, чтобы одна из нитей перекрестья совпала с направлением интерференционных полос, а другая с направлением неровностей на исследуемой поверхности. После этого закрепить окулярный микрометр зажимным винтом.
Для определения величины неровности необходимо измерить величину интервала между полосами, величину изгиба полос и вычислить высоту неровности.