Руководство пользователя (NV8200P)
.pdf
1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250
Кнопки экстренной остановки
Введение
В случае экстренной ситуации нажмите ближайшую кнопку экстренной остановки (которые иногда обозначаются наклейкой EMO). Этим полностью отключается питание установки имплантации.
См. местонахождение кнопок экстренной остановки на странице 1-10.
Внимание!
ВНИМАНИЕ
Если вы заметите серьезные электрические проблемы в установке имплантации, типа искр, пламени или дыма, немедленно нажмите из кнопок экстренной остановки и уведомите своего руководителя.
Наклейка EMO
ПРИМЕЧАНИЕ
На отдельных машинах Выключатель экстренной остановки обозначен как EMO.
Осторожно
ОСТОРОЖНО
Нажатие кнопки экстренной остановки может привести к закрытию защитных экранов приемной станции. При наличии объектов, препятствующих движению защитных экранов, возможно повреждение оборудования.
По этой причине запрещается загораживать посторонними предметами поверхности приемной станции.
Продолжение на следующей странице
4640-0137-0001 Ред. A |
1-9 |
Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250
Кнопки экстренной остановки (продолжение)
Места расположения
По одной кнопке экстренной остановки (или EMO) располагается на каждой стороне установки имплантации. Еще несколько кнопок экстренной остановки находятся внутри корпуса установки имплантации. Все кнопки экстренной остановки обозначены как EMERGENCY STOP (ЭКСТРЕННАЯ ОСТАНОВКА) или EMO.
Кнопки экстренной остановки, расположенные снаружи корпуса, показаны на Рисунке 1-4 и описываются под рисунком.
Рисунок 1-4 Местонахождение внешних кнопок экстренной остановки
Внешние кнопки экстренной остановки
Кнопки экстренной остановки размещены следующим образом:
•передняя часть приемной станции, слева от окошек приемной станции
•левая сторона приемной станции, справа от дверцы приемной станции
•правая сторона приемной станции, слева от дверцы приемной станции
•задняя сторона установки имплантации, на правой стороне, если стоять лицом к задней стороне машины
1-10 |
4640-0137-0001 Ред. A |
1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250
Главный выключатель
Введение
Основным средством контроля питания для установки имплантации является главный выключатель, расположенный на правой стороне установки имплантации. Если этот выключатель находится в выключенном положении, электрическое питание установки имплантации отключено полностью. В качестве оператора вам вряд ли потребуется использование главного выключателя.
Главный выключатель служит также в качестве основного прерывателя цепи для установки имплантации. Все остальные прерыватели цепи размещаются внутри корпуса установки имплантации.
Главный выключатель может обозначаться как «Главный выключатель / Выключатель CB1» или вовсе не иметь наклейки.
Осторожно
ОСТОРОЖНО
В случае срабатывания главного выключателя или любого иного прерывателя цепи немедленно уведомите своего руководителя.
Местонахождение
Как показано на Рисунке 1-5, главный выключатель установлен над кнопкой экстренной оста-
новки на правой стороне оконечного терминала.
Рисунок 1-5 Местонахождение главного выключателя
Главный выключатель
4640-0137-0001 Ред. A |
1-11 |
Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250
Выключатель высоковольтного питания с ключом
Введение
Выключатель высоковольтного питания с ключом соединен последовательно с концевыми вы-
ключателями, установленными на дверцах защитных кожухов. В выключенном положении он полностью деактивирует высоковольтное питание. Чтобы высоковольная часть могла работать, нужно по-
вернуть Выключатель высоковольтного питания с ключом в положение «включено», (“on”).
Внимание!
ВНИМАНИЕ
Выключатель высоковольтного питания выключен, не поворачивайте его в положение «включено», пока:
-не определите, почему он выключен,
-не убедитесь, что все дверцы, панели и крышки установки имплантации закрыты/закреплены на своих местах,
-не проверите, что весь персонал находится вне корпуса установки имплантации
-не получите указание повернуть его
Местонахождение
Как показано на Рисунке 1-6, выключатель высоковольтного питания с ключом установлен под монитором слева.
Рисунок 1-6 Местонахождение выключатель высоковольтного питания с ключом
Выключатель высоковольтного питания с ключом
1-12 |
4640-0137-0001 Ред. A |
1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250
Кнопка остановки робота
Введение
В случае неправильной подачи полупроводниковой пластины, или если вы понимаете, что macobot (робот для подачи и перемещения полупроводниковых пластин) подаст пластину неверно, можно нажать кнопку остановки робота для немедленной остановки операций macobot. Поскольку состояние кнопки остановки робота контрольируется программным обеспечением, она не защищина от возможных сбоев и её использование не обеспечивает безопасности персонала.
Местонахождение
Как показано на Рисунке 1-7, кнопка остановки робота установлена ниже кнопки экстренной остановки слева от кассетных дверец.
Рисунок 1-7 Местонахождение кнопки остановки робота
Кнопка остановки робота
Возобновление работы
Информацию о порядке возобновления работы после нажатия кнопки остановки робота см. в подразделе «Возобновление работы Macobot» на странице 5-34.
4640-0137-0001 Ред. A |
1-13 |
Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250
Общее описание программного обеспечения
Введение
Программное обеспечение, используемое для обеспечения взаимодействия с установкой имплантации серии NV-8200/8250, включает две среды: интерфейс оператора и командную среду ICS.
В данном подразделе
Данный подраздел включает следующие темы:
Тема |
См. страницу |
Интерфейс оператора |
1-15 |
Командная среда ICS |
1-17 |
1-14 |
4640-0137-0001 Ред. A |
1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250
Интерфейс оператора
Введение
Интерфейс оператора – другое название для основной программной среды, с которой вы взаимодействуете через рабочую станцию. Это программное обеспечение обеспечивает все функции, необходимые для выполнения и контроля имплантаций. Оно включает несколько графических интерфейсных окон, в которых можно выбирать опции, вводить и считывать данные.
Уровни доступа
Интерфейс оператора рассчитан на три уровня доступа:
•Оператор
•Инженер
•Администратор
В качестве оператора установки имплантации вы обычно получаете доступ к интерфейсным окнам и опциям уровня оператора. По решению администратора, вам может быть также предоставлен доступ к отдельным интерфейсным окнам или опциям на уровне инженера или администратора.
Кнопки на экране, к которым вы не имеете доступа, отсутствуют или показываются с затененными надписями.
Функции интерфейса оператора
Здесь перечислены опции программного обеспечения интерфейса оператора в соответствии с их функциями: операционные, административные и контрольные / диагностические.
К операционным опциям относятся:
•графический полноцветный интерфейс оператора, управляемый мышью
•полностью автоматизированные контроль вакуума, контроль пучка, настройка пучка (автоматическая настройка), загрузка и транспортировка полупроводниковых пластин
•дисплей процедур восстановления работы после ошибок и предупреждений
•поддержка GEM и SECS (стандартов интерфейсов передачи данных между оборудованием и головным компьютером)
•
Продолжение на следующей странице
4640-0137-0001 Ред. A |
1-15 |
Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250
Интерфейс оператора (продолжение)
Функции интерфейса оператора (продолжение)
К административным опциям относятся следующие:
•активное или пассивное управление рабочей станцией
•журнал регистрации замечаний для себя и других операторов
•возможность печати
•гипертекстовая интерактивная справка
Опции мониторинга / диагностики включают следующее:
•журналы данных имплантаций, с возможностью поиска
•журнал предупреждений (ошибок) в помощь при диагностике проблем, с возможностью поиска
•экран состояния системы и параметров процесса имплантаци
•кнопки с цветовым кодом для отображения состояния систем в реальном режиме времени
•автоматическая проверка предельных значений параметров оборудования и процесса
•таблицы состояния полупроводниковых пластин для отслеживания и контроля полупроводниковых пластин
•отслеживание полупроводниковых пластин по идентификационным кодам для правильной обработки партий
Более подробная информация
Конкретную информацию по использованию интерфейса оператора см. в подразделе «Интерфейс оператора» на странице 2-4.
1-16 |
4640-0137-0001 Ред. A |
1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250
Командная среда ICS
Введение
Помимо интерфейса оператора, среда ICS (система управления имплантацией) обеспечивает еще один набор команд (действий), которые можно выполнять. Эти действия, в меньшей степени связанные с фактическим процессом имплантации, включают представление отчета об ошибках, исключение задач по выводу на печать и перезапуск интерфейса оператора.
Не смотря на то, что она называется командной, среда ICS содержит меню, в которых пользователь делает выбор.
Можно переключаться между командной средой ICS и интерфейсом оператора, закрывая интерфейс оператора или используя горячие клавиши на клавиатуре. Горячие клавиши клавиатуры обеспечивают функции доступа к командной среде ICS, при этом интерфейс оператора остается видимым
.
Уровни доступа
Командная среда ICS доступна для любого пользователя. Доступ к отдельным функциям регулируется таким же уровнем пользователя и комбинацией пароля, как для самого интерфейса оператора.
Более подробная информация
Подробнее об использовании командной среды ICS см. в подразделе «Командная среда ICS» на странице 2-44.
4640-0137-0001 Ред. A |
1-17 |
Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250
Общее описание системы управления
Введение
Система управления представляет собой сочетание аппаратных и программных средств, позволяющее управлять установкой имплантации серии NV-8200/8250. Она состоит из следующих компонентов:
•программное обеспечение (интерфейс оператора и командная среда ICS), работающее на рабочей станции Sun Microsystems
•логический контроллер главной шины с предустановленной программой, связанный линией Ethernet с рабочей станцией и её программным обеспечением
•интерфейсы устройств, соединенных друг с другом и с контроллером по средством оптоволоконных соединений
Как это работает
При отсылании команды (выбором опции или вводом текста) через программное обеспечение рабоей станции (интерфейс оператора или команды ICS) информация в этой команде передается в логический контроллер. (Логический контроллер представляет собой устройство, подобное компьютеру, управляющее функционированием установки имплантации.)
Рисунок 1-8 Общее описание системы управления
|
Рабочая станция Sun |
|
|
|
включает ЦП, монитор, |
|
|
|
клавиатуру, мышь, жест- |
|
|
|
кий диск, ленточный нако- |
|
|
|
питель и контроллер Ether- |
|
|
|
Сеть коммуни- |
|
|
|
кации Ethernet |
|
|
Вторая рабо- |
|
Пользователь- |
|
чая станция |
Повторитель Ethernet |
||
ский интерфейс |
|||
Sun (опция) |
|
||
|
|
Логический контроллер |
|
|
включает ЦП, 2 коммуникацион- |
Контроллер |
|
ные платы, контроллер Ethernet, |
||
Macobot |
||
ОЗУ с аккумулятором |
||
|
Продолжение на следующей странице
1-18 |
4640-0137-0001 Ред. A |